유기금속 화학증착에서 구리 전구체들의 기상분해반응 메카니즘과 증착속도에 관한 연구 (Study of the Gase Phase Reaction Mechanism and Deposition Rate of Copper Precursors for Metal Organic Chemical Vapor Deposition)
-
- 한국재료학회:학술대회논문집
- /
- 한국재료학회 1996년도 재료학회 추계학술발표회
- /
- pp.162-163
- /
- 1996