Thermal Stability of $(HfO_2)_{1-x}(Al_2O_3)_x$ Thin Films by DC Magnetron Sputtering
(DC Magnetron Sputter로 증착한 $(HfO_2)_{1-x}(Al_2O_3)_x$ 박막의 열처리에 따른 물리적, 전기적 특성 연구)
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- Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference
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- 2003.10a
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- pp.34.2-34.2
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- 2003