The effects of Cu thin films sputter deposited at 5 and 100 mtorr on the adhesion between Cu/Cr film and polyimide (5, 100 mtorr의 증착압력에서 스퍼터 증착한 구리박막층이 Cu/Cr 박막과 폴리이미드 사이의 접착력에 미치는 영향)
-
- Journal of the Korean institute of surface engineering
- /
- v.29 no.3
- /
- pp.157-162
- /
- 1996