The effects of additives on the surface morphology and physical properties of copper electrodeposited on polyimide(PI) film were investigated here. Two kinds of additives, an activator(additive A) and a leveler(additive B),were used in this study. Electrochemical experiments, in conjunction with scanning electron microscopy(SEM), X-ray diffraction(XRD) and a four-point probe, were performed to characterize the morphology and mechanical characteristics of copper electrodeposited in the presence of the additives. The surface roughness, crystal growth orientation and resistivity could be controlled using various quantities of additive B. High resistivity and lower peel strength were observed on the surface of the copper layer electroplated onto the electrolyte with no additive B. However, a uniform surface, lower resistivity and high flexibility were obtained with a combination of 20 ppm of additive A and 100 ppm of additive B.
In this paper, Gilt-bronze Standing Avaolkiteshvara (National Treasure No. 293, M355) excavated at Gyuam-ri in Buyeo was observed with a microscope to identify the production technique applied to it. It was also analyzed with XRF and hard X-ray to identify the composition and the surface treatment techniques and casting method applied. In this statue, Avalokiteshvara is standing upright on a lotus pedestal. The lotus designs on the pedestal and those on the shawl flowing down on both sides of the statue are characteristic of Buddhist statues from the seventh century or later. The use of supports to affix the outer and inner molds and traces of injected cast were observed in the interior of the pedestal. The blisters on the arms and pedestal created during the bronze casting indicate the use of lost-wax casting, which was popularly employed for the production of mid- or small-sized gilt-bronze Buddhist statues in ancient times. The composition analysis identified a copper-tin-lead ternary alloy in the interior of the statue that was conventional used in the sixth and seventh centuries. It is likely that this simple alloy was used to facilitate casting and produce clearer expressions of designs and ornaments on the statue. Mercury (Hg) was detected on the surface of the statue, indicating the use of amalgam-plating with gold (Au) dissolved in mercury. This plating method is a common surface treatment technique used for small gilt-bronze statutes in ancient Korea.
Kim, Eun Ju;Kim, Kwang-Ho;Lee, Duk Haeng;Jung, Woon Suk;Lim, Jae-Hong
Journal of the Korean institute of surface engineering
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v.49
no.1
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pp.54-61
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2016
Screen printing of commercially available Ag paste is the most widely used method for the front side metallization of Si solar cells. However, the metallization using Ag paste is expensive and needs high temperature annealing for reliable contact. Among many metallization schemes, Ni/Cu/Sn plating is one of the most promising methods due to low contact resistance and mass production, resulting in high efficiency and low production cost. Ni layer serves as a barrier which would prevent copper atoms from diffusion into the silicon substrate. However, Ni based schemes by electroless deposition usually have low thermal stability, and require high annealing process due to phosphorus content in the Ni based films. These problems can be resolved by adding W element in Ni-based film. In this study, Ni-W-P alloys were formed by electroless plating and properties of it such as sheet resistance, resistivity, specific contact resistivity, crystallinity, and morphology were investigated before and after annealing process by means of transmission line method (TLM), 4-point probe, X-ray diffraction (XRD), and Scanning Electron Microscopy (SEM).
Lee, Jaewon;Shin, Yeong Min;Bang, Daesuk;Cho, Sung Ki
Journal of the Korean Electrochemical Society
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v.25
no.2
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pp.81-87
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2022
In this study, the effect of alkylamine on copper electroplating was analyzed using cyclic voltammetry. When water-soluble alkylamines were added to the plating solution, the reduction reaction of Cu2+ was inhibited. The inhibition effect of 1,12-diaminododecane has been investigated at various concentrations and conditions of the plating solution. 1,12-diaminododecane was protonated in the acidic plating solution, and therefore, it did not act as a complexing agent for Cu2+. Accordingly, it was confirmed that the inhibiton effect of 1,12-diaminododecane was attributed to adsorption on the Cu surface. The adsorption of 1,12-diaminododecane exhibits two characteristics: (i) protonation and subsequent electrostatic attraction with anions pre-adsorbed on Cu surface, and (ii) direct adsorption on Cu surface via amine functional group. The adsorbed 1,12-diaminododecane caused three-dimensional growth and grain refining, as well as the inhibition effect, during Cu electroplating.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.22
no.4
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pp.57-63
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2015
In order to prepare a low-cost conductive filler material possessing improved anti-oxidation property, Ag-coated Cu flakes were fabricated and the effects of an applying method of ammonium-based pretreatment solution on the Cu flakes were analyzed. The pretreatment solution was used to remove the surface oxide layer on Cu flake. During a single-stage pretreatment process, hole-shaped defects were formed on the flake surface during the pretreatment after 2 min, and the number and size increased in proportion to the pretreatment time. In the case that Ag plating solution was injected in the pretreatment solution after the pretreatment for 2 min, the defects were also formed during Ag plating. In contrast, the defects tremendous decreased in the case that the pretreatment solution was removed after the first pretreatment for 2 min and the Ag plating proceeded after the second pretratment using a low concentration pretreatment solution. As the final result, the 15 wt% Ag-coated Cu flake sample which was fabricated using the single-stage pretreatment oxidized at $166^{\circ}C$, but the sample fabricated by the double-stage pretreatment oxidized at $224^{\circ}C$, indicating definitely improved anti-oxidation property.
The effects of leveler on the copper trench filling were investigated during damascene plating process. To investigate the trench filling effect with the addition of a leveler, a cross-section images of the electroplated trenches with the width of$0.37{\mu}m,\;and\;0.18{\mu}m$ were observed by field emission scanning electron microscope (FE-SEM). Polyethylene glycol(PEG), 3-mercapto-1-propanesulfonic acid and Janus Green B were used as a carrier, an accelerator and a leveler. $0.37{\mu}m$ trenches were superfilled without voids, but there was voids formation in $0.18{\mu}m$ trenches when the leveler was not added into the electrolyte. On the other hand $0.18{\mu}m$ trenches were superfilled without voids with the addition of the leveler due to the reduction growth rate of copper at protrusions and edges, which yield smooth final deposit surface. The leverer effect becomes more significant as the width of trenches becomes smaller when trenches are filed.
Ti-Cu-N and Ti-Ag-N nanocomposite films with various copper and silver contents were synthesized by arc ion plating and magnetron sputtering hybrid system. The structure and mechanical properties of these films were found to be dependant on the copper and silver concentration. The maximum hardness of Ti-Cu-N and Ti-Ag-N films showed approximately 40 ㎬ below 2 at%Me. The role of soft metallic phase in Ti-Me-N nanosturctured films containing one hard and one soft phase is also discussed.
Park, Da Jung;Park, Chae-Min;Kang, Nam Hyun;Lee, Kyu Hwan
Journal of the Korean institute of surface engineering
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v.49
no.5
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pp.416-422
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2016
We have investigated the effects of applied potential, deposition time and electrolyte types on shapes and physical properties of Cu dendrites by potentiostatic electrodeposition. Finer shape of dendrites was observed at less cathodic potential by 100mV than at the limiting current, due to 'effective overpotential'. The shape of copper dendrite is related to the deposition time, too. The dendrite depositing for 10 min showed the finest shape. The finer dendrite has the less apparent density and the larger specific surface area. Dendrite from chloride solution has the lowest density and the largest surface area among three plating solutions, sulfate, chloride and pyrophosphate.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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v.10
no.3
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pp.71-74
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2009
Electroplated Cu is a cost efficient metallization method in microelectronic packaging applications. Typically in 3-D chip staking technology, utilizing through silicon via (TSV), electroplated Cu metallization is inevitable for the throughput as well as reducing the cost of ownership (COO).To achieve a comparable film quality to sputtering or CVD, a pre-cleaning process as well as plating process is crucial. In this research, atmospheric plasma is employed to reduce the usage of chemicals, such as trichloroethylene (TCE) and sodium hydroxide (NaHO), by substituting the chemical assisted organic cleaning process with plasma surface treatment for Cu electroplating. By employing atmospheric plasma treatment, marginally acceptable electroplating and cleaning results are achieved without the use of hazardous chemicals. The experimental results show that the substitution of the chemical process with plasma treatment is plausible from an environmentally friendly aspect. In addition, plasma treatment on immersion Sn/Cu was also performed to find out the solderability of plasma treated Sn/Cu for practical industrial applications.
Micro-sized bumps on a multi-layered build-up PCB were fabricated by pulse-reverse copper electroplating. The values of the current density and brightener content for the electroplating were optimized for suitable performance with maximum efficiency. The micro-bumps thus electroplated were characterized using a range of analytical tools that included an optical microscope, a scanning electron microscope, an atomic force microscope and a hydraulic bulge tester. The optical microscope and scanning electron microscope analyses results showed that the uniformity of the electroplating was viable in the current density range of $2-4\;A/dm^2$; however, the uniformity was slightly degraded as the current density increased. To study the effect of the brightener concentration, the concentration was varied from zero to 1.2 ml/L. The optimum concentration for micro-bump electroplating was found to be 0.6 ml/L based on an examination of the electroplating properties, including the roughness, yield strength and grain size.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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