A Study on Emission Characteristics of Ar, Ne Gas Using a Single Langmuir Probe Method in Radio-Frequency Inductively Coupled Plasma (13.56MHz ICP에서 단일 탐침법에 의한 Ar, Ne 가스의 발광특성 연구)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 2004.11a
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- pp.167-170
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- 2004