Virtual metrology (VM), a critical component of semiconductor manufacturing, is an efficient way of assessing the quality of wafers not actually measured. This is done based on a model between equipment sensor data (obtained for all wafers) and the quality characteristics of wafers actually measured. This paper considers principal component regression (PCR), partial least squares regression (PLSR), kernel PCR (KPCR), and kernel PLSR (KPLSR) as VM models. For each regression model, two cases are considered. One utilizes all explanatory variables in developing a model, and the other selects significant variables using the genetic algorithm (GA). The prediction performances of 8 regression models are compared for the short- and long-term etch process data. It is found among others that the GA-KPLSR model performs best for both types of data. Especially, its prediction ability is within the requirement for the short-term data implying that it can be used to implement VM for real etch processes.
Park, Jae-Soon;Kuk, Min-Gu;Kim, Dae-Hee;Tak, Tae-Oh
Proceedings of the KSME Conference
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2007.05a
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pp.903-908
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2007
A retractor is the major component of a seatbelt system that restraints passengers by locking the movement of webbing. Recently, in order to increase the effectiveness of seatbelt systems, motorized retractors that remove slack and correct passenger posture just before airbag expansion when collision is predicted are widely used. Key component of motorized retractors is the one-way clutch that engages and disengages the winding action of webbing according to the direction of motor revolution. Analytical investigation of action of the one-way clutch mechanism has been carried out to figure out conditions for one-way locking, and to study the effect of various kinematic and dynamic design variables of one-way clutch. Using combination of ADAMS and LifeMOD soft-wares, dynamic simulation of operation of motorized retractors including Hybrid-III dummy model has been carried out to evaluate the performance of the motorized retractors in various crash scenarios.
Transactions of the Korean Society of Automotive Engineers
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v.11
no.1
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pp.25-31
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2003
There are a lot of factors influencing on the automobile fuel economy such as average speed, average acceleration, acceleration sum per kilometer, and so on. In this study, various driving data were recorded during road tests. The accumulated road test mileage in Seoul metropolitan area is around 1,300 kilometers. The data were analyzed by multivariate statistical techniques including correlation analysis, principal component analysis, and multiple linear regression analysis. The analyzed results show that the average trip time per kilometer is one of the most important factors to fuel consumption and the increase of the average speed is desirable for reducing emissions and fuel consumption.
Data storage and data communication currently pose a major problems for all parties involved with power quality and power system monitoring. The Problem aries from the tremendous amount of data involved. There is a common desire in the power industry to find new techniques for high-accuracy data compression and data storage. This paper introduces a data compression technique that is very suitable for application to power quality waveforms. The proposed technique is applied in splitting the monitored signal into two components. Those are stationary and nonstationary components. Each component is compressed and encoded.
Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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2015.05a
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pp.668-669
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2015
In this paper, we showed how to identify specific components of unit production systems. Business units were defined by the system protected, was explained by component. The security attributes based on description and was designed to create lift the examples.
From the careful analysis of the transformed dq system equations of a PWM Voltage Source Converter ( PWM - VSC ), a novel voltage control is proposed which is based on the derivative of in-phase current component of line currents and the relation between dc-link voltage and in-phase current component. A simple logical algorithm to implement the proposed scheme is also presented at transient state. The sinusoidal PWM is adopted at steady state. The simulation results show good transient characteristics.
The performance of a speech recognition system is generally degraded in telephone environment because of distortions caused by background noise and various channel characteristics. In this paper, data-driven temporal filters are investigated to improve the performance of a specific recognition task such as telephone speech. Three different temporal filtering methods are presented with recognition results for Korean connected-digit telephone speech. Filter coefficients are derived from the cepstral domain feature vectors using the principal component analysis. According to experimental results, the proposed temporal filtering method has shown slightly better performance than the previous ones.
Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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2003.04a
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pp.448-453
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2003
This paper researched about technique of Opened CNC that were able to adapt themselves to rapid development of software and hardware. It is basic research what develop a scheme whereby technic make property. This paper theorized about to realize Opened CNC Software which is developing CNC Software flow from building Windows CE operating system's image that is possible realtime acting and multitasking. And Opened CNC Software's component designed independent classified modules. Classify Opened CNC Software's component which was consisted of basic OS Kernel, NC Code parser, Servo Motor Control, Software PLC, MMI(Man-Machine Interftce). And show there's functional example
Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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2000.06a
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pp.536-542
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2000
The present paper introduces a new fixed interface component mode synthesizing technique based on the notion of higher-order field-consistency. The present technique employs higher-order residual constraint modes in addition to lower fixed interface normal modes while consistency in matching field variables at the substructure interface is maintained. The present field-consistency approach does not increase the size of the synthesized system even if higher-order residual constraint modes are included. A new field-consistent higher-order synthesis technique is first presented and a numerical example is given to verify the present method.
In this paper an application of the Monte Carlo method to optimum circuit design is discussed. T. Tsuda and T. Kiyono's algorithm based on the Monte Carlo method for solving multiple simul-taneous nonlinear equations is generalized to apply it to finding solutions of the constrained nonlinear optimization problem. The generalized algorithm derived here is directly applied to economical circuit design. In the cirsuit design, the object function is a cost function which is related to the cost of each circuit component. The constraint is the variance of the total system expressed by the variances of each circuit component. The design is to be determined so that the circuit has specified drift reliability with minimum cost. A practical example of economical circuit design and a general nonlinear function minimization is presented with food results.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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