X-ray grayscale lithography for sub-micron lines with cross sectional hemisphere for Bio-MEMS application (엑스선 그레이 스케일 리소그래피를 활용한 반원형 단면의 서브 마이크로 선 패턴의 바이오멤스 플랫폼 응용)
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- Journal of Sensor Science and Technology
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- v.30 no.3
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- pp.170-174
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- 2021