기계.화학적인 연마에서 슬러리의 특성에 따른 나노토포그래피의 영향과 numerical시뮬레이션 (Effect of Slurry Characteristics on Nanotopography Impact in Chemical Mechanical Polishing and Its Numerical Simulation)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.63-63
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- 2003