$Ar/CF_{4}/Cl_{2}$ 유도결합 플라즈마에 의한 SBT 박막의 표면 손상
(The Surface Damage of SBT Thin Film Etched in $Ar/CF_{4}/Cl_{2}$ Plasma)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2001년도 추계학술대회 논문집 Vol.14 No.1
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- pp.26-29
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- 2001