Rapid thermal annealing effect of IZO transparent conducting oxide films grown by a box cathode sputtering (박스캐소드 스퍼터로 성장시킨 IZO 투명 전도막의 급속 열처리 효과)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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- pp.473-474
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- 2006