A Comparative Study of TiAlN Coatings Deposited by DC and Pulsed DC Asymmetric Bipolar Magnetron Sputtering (DC 스퍼터법과 비대칭 바이폴라 펄스 DC 스퍼터법으로 증착된 TiAlN 코팅막의 물성 비교연구)
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- Journal of Surface Science and Engineering
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- v.47 no.4
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- pp.168-173
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- 2014