MOCVD 법으로 성장시킨 ${Al_x}{Ga_{1-x}N}$ 박막의 특성분석
(Characterization of ${Al_x}{Ga_{1-x}N}$ Thin Film Grown by MOCVD)
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- 한국재료학회지
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- 제10권10호
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- pp.691-697
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- 2000