RF 마그네트론 스퍼터 방법으로 제조한 Al 도핑된 ZnO 박막의 구조 및 광학적 특성에 미치는 산소 분압비의 영향 (Effect of oxygen partial pressure on the optical and structural properties of Al doped ZnO thin films prepared by RF magnetron sputtering method)
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- 대한금속재료학회지
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- 제46권4호
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- pp.249-256
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- 2008