• 제목/요약/키워드: Advanced Technology Center

검색결과 4,712건 처리시간 0.089초

Magnetron Sputtering 법으로 증착한 ITO 박막의 저온공정에 관한 연구 (A study on the low temperature process of ITO film by magnetron sputtering)

  • 최동훈;금민종;이교웅;김갑석;한전건
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국표면공학회 2007년도 춘계학술발표회 초록집
    • /
    • pp.139-140
    • /
    • 2007
  • 본 연구에서는 ion bombardment에 의한 폴리머 기판의 손상을 줄이기 위해 FTS (Facing Target Sputtering) 장치를 이용하여 투명 전극용 ITO 박막을 합성하였다. 산소와 헬륨의 혼합비율을 변수로 하여 박막을 합성한 결과, 투명전극에 적합한 낮은 비저항과 80% 이상의 투과도를 갖는 박막을 합성할 수 있었다.

  • PDF