Effects of deposition conditions on physical properties and stresses of $(AI, SI)_{1-x}O_x$ and Pt thin films
(증착 조건이 $(AI, SI)_{1-x}O_x$ 박막과 Pt 박막의 물성 및 응력 변화에 미치는 영향)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.6 no.9
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- pp.937-942
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- 1996