In photolithography process, resolution enhancement techniques such as optical proximity correction (OPC) and phase shift mask (PSM) have been applied to improve resolution. Especially, sub-resolution assist feature (SRAF) is one of the most important OPC to enhance image quality including depth of focus (DOF). However, imaging performance of the mask could be varied with the diffraction order amplitude changed by inserting SRAF. Therefore, in this study, we investigated the imaging properties and process margin of attenuated PSM with SRAF. Reflectivities of attenuated PSMs at 13.5 nm were 3, 6, 9% and simulation was performed by $PROLITH^{TM}$. As a result, aerial image properties and DOF as well as diffraction efficiency were improved by increasing the reflectivity of attenuated PSM. Additionally, printed critical dimension variations depending on SRAF width and space error were also reduced for attenuated PSM with high reflectivity. However, SRAF could be printed when reflectivity of attenuated PSM is high enough. In conclusion, optimization of reflectivity of attenuated PSM and SRAF to prevent side-lobe from being printed is needed to be considered.
Kim, Myung-Soo;Baek, Tae-Hyun;Morimoto, Yoshiharu;Fujigaki, Motoharu
비파괴검사학회지
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제25권3호
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pp.171-177
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2005
Phase-shifting method using Fourier transform (PSM/FT) has been applied to measurement of in-plane displacement of a specimen. Thirty-two interference fringe patterns each of which has different phase of ${\pi}/16$ radian have been gathered from a specimen with in-plane displacement. Low-pass filtering by 2-D Fourier transform is used to suppress spatial noise of the fringe patterns. ${\alpha}-directional$ Fourier transform for PSM/FT is performed by use of the low-pass filtered 32 fringe patterns. Two kinds of specimens are used for experiment. One is a rectangular steel plate and the other one is a rectangular steel plate containing a circular hole at the center. In-plane displacement of each specimen is measured by PSM/FT, and calculated by finite element method (ANSYS) for comparison. The results are quite comparable, so that PSM/FT can be applied to measurement of in-plane displacement.
Background: Nursing intervention studies often suffer from a selection bias introduced by failure of random assignment. Evaluation with selection bias could under or over-estimate any intervention's effects. PS matching (PSM) can reduce a selection bias through matching similar Propensity Scores (PS). PS is defined as the conditional probability of being treated given the individual's covariates and it can be reused to balance the covariates of two groups. Purpose: This study was done to assess the significance of PSM as an alternative evaluation method of nursing interventions. Method: An intervention study for patients with some baseline individual characteristic differences between two groups was used for this demonstration. The result of a t-test with PSM was compared with a t-test without matching. Results: The level of HbA1c at 12 months after baseline was different between the two groups in terms of matching or not. Conclusion: This study demonstrated the effects of a quasi-random assignment. Evaluation using PSM can reduce a selection bias impact that affects the result of the nursing intervention. Analyzing nursing research more objectively to reduce selection bias using PSM is needed.
본 논문에서는 유한체 GF(2$^{m}$ )상의 $AB^2$연산을 위해 AOP(All One Polynomial)에 기반한 새로운 MSB(most significant bit) 알고리즘을 제안하고, 제안한 알고리즘에 기반하여 두 가지 병렬 세미시스톨릭 어레이를 설계한다. 제안된 구조들은 표준기저에 기반하고 기약다항식으로는 계수가 모두 1인 m차의 기약다항식 AOP를 사용한다. 먼저, 병렬 세미시스톨릭 어레이(PSM)는 각 셀 당 $D_{AND2^+}D_{XOR2}$의 임계경로를 갖고 m+1의 지연시간을 가진다. 두 번째 구조인 변형된 병렬 세미시스톨릭 어레이(PSM)는 각 셀 당 $D_{XOR2}$의 임계경로를 갖지만 지연시간은 PSM과 같다. 제안된 두 구조 PSM과 MPSM은 지연시간과 임계경로 면에서 기존의 구조보다 효율적이다. 제안된 구조는 $GF(2^m)$ 상에서 효율적인 나눗셈기, 지수기 및 역원기를 설계하는데 기본 구조로 사용될 수 있다. 또한 구조 자체가 정규성, 모듈성, 병렬성을 가지기 때문에 VLSI구현에 효율적이다. 더욱이 제안된 구조는 유한체 상에서 지수 연산을 필요로 하는 Diffie-Hellman 키 교환 방식, 디지털 서명 알고리즘과 ElGamal 암호화 방식과 같은 알고리즘을 위한 기본 구조로 사용될 수 있다. 이러한 알고리즘을 응용해서 타원 곡선(Elliptic Curve)에 기초한 암호화시스템(Cryptosystem)의 구현에 사용될 수 있다.
전세계적으로 인공지능(AI)을 활용한 디지털전환을 위해 국가적 역량을 집중하고 있는 상황에서 국내 AI 기업 육성이나 AI 산업생태계 환경조성은 더디기만 하다. 정부는 대내외적으로 힘든 경제상황을 타개하기 위해 거액의 공적자금을 투입하고 있으나 그 효과에 대한 체계적 연구는 미진하다. 이런 이유로 본 연구는 성향점수매칭(PSM)과 이중차분법(DID)을 활용하여 정부 인공지능 솔루션 바우처 지원 사업이 수혜기업의 경제적 성과에 미치는 정책효과를 살펴보고자 하였다. 실증분석을 위해 정보통신산업진흥원에서 공개한 AI 중소기업 정보 중 바우처 지원 이력이 있는 461개 기업을 대상으로 2019년 이후 매출 실적을 활용해 PSM-DID 분석을 수행하였다. 실험군과 대조군을 비교 분석한 결과 수혜기업은 정부지원 이후 자산증가, 임금, 연구개발비 등이 전반적으로 증가한 반면, 수익측면에서는 유의미한 기여도를 확인할 수 없었다. 이는 AI 바우처 정책사업이 단기적으로 기업 외형성장에 직접적인 기여를 하였으나 수익창출 여부는 중장기적 시간이 필요하다는 점을 시사한다.
본 연구의 목적은 간호대학생의 환자안전관리에 대한 태도, 지식, 수행자신감 및 중요도 인식이 환자안전관리 수행도에 미치는 영향을 확인하기 위함이다. 연구대상은 D시 소재 간호대학에 재학 중인 3,4학년 139명을 대상으로 하였으며, 자료수집은 2018년 11월 26일부터 2018년 11월 30일까지 시행하였다. 자료분석은 Descriptive statistics, Paired t-test, Independent t-test, One-way ANOVA, Scheffe 사후검증, Pearson's correlation coefficient, Multiple regression을 이용하였다. 연구결과 환자안전관리 수행도는 5점 만점에 평균 $4.25{\pm}0.48$점이었다. 환자안전관리 수행도는 태도(r=.39, p<.001), 수행자신감(r=.43, p<.001), 중요도 인식(r=.54, p<.001)과 양의 상관관계를 보였다. 환자안전관리 수행도에 미치는 영향요인은 중요도 인식(${\beta}=.43$, p<.001)과 수행자신감(${\beta}=.26$, p=.001)으로 환자안전관리 수행도에 대한 설명력은 38%로 나타났다. 따라서 간호대학생의 환자안전관리 수행도 증진을 위하여 환자안전관리에 대한 중요도와 수행자신감을 포함시켜 교육 프로그램을 개발 할 필요가 있다.
IEEE 802.16e는 수면 모드 작동기법을 사용하여 이동 단말기(Mobile Station: MS)의 제한된 에너지를 관리한다. MS는 수면 모드의 비가용 구간에 물리적인 작동 요소의 출력을 낮출 수 있다. 이 논문은 비가용 구간를 체계적으로 증가시켜 에너지 소모율을 감소시키기 위하여, MS에 I형과 II형의 활성화된 절전 클래스(PSC)가 존재할 때 강화된 절전 메커니즘(ePSM)을 제안한다. 성능 평가 결과, ePSM은 비가용 구간뿐 아니라 에너지 소비에 있어서도 기존 방식에 비해 성능을 향상시킨 것을 확인하였다.
The Ministry of Employment and Labor implemented the process safety management(PSM) system from 1996 to prevent major industrial accidents caused by chemical substances, but the number of accidents did not drastically decrease. Even in workplaces with excellent PSM ratings, large-scale chemical accidents still occur due to non-compliance with safety work procedures and insufficient safety measures during maintenance and other work. Accordingly, the chemical accident risk warning system was introduced in 2014 to supplement the PSM system and prevent accidents that may occur during regular or unexpected maintenance and repair work. In the meantime, changes in the safety management system have been checked since the introduction of the chemical accident risk warning system at chemical handling workplaces, and based on the results, a plan for upgrading this system has been proposed. The effect of the CARW system was found to directly prevent accidents through wired and on-site consulting and post-management at the workplace and indirectly contribute to the establishment of a safety and health management system at the workplace, such as improving safety culture awareness.
The newly proposed Precast Segmental Mettled (PSM), which makes use of precast elements for election, is relatively new, efficient and fast mettled for the construction of prestressed box girder bridges. A precast segment of 25m long pretensioned in the fabrication yard is transported by a special trailer and a launching truss to its final position. The segments are then connected in the site by post-tensioning to make a continuous prestressed concrete box girder bridges. The purpose of this parer is to analyze and evaluate the design of precast prestressed concrete box girder bridges. The detailed analyses including time-dependent behavior of PSM bridges are conducted. The major results and findings, which have been obtained from finite element analysis of PSM bridge, are discussed in this paper and these results will be a good base for the design and analysis of a new precast bridges.
In this paper, the performance of precoding-aided differential spatial modulation (PDSM) systems with optimal transmit antenna subset (TAS) selection is examined analytically. The average bit error rate (ABER) performance of the optimal TAS selection-based PDSM systems using a zero-forcing (ZF) precoder is evaluated using theoretical upper bound and Monte Carlo simulations. Simulation results validate the analysis and demonstrate a performance penalty < 2.6 dB compared with precoding-aided spatial modulation (PSM) with optimal TAS selection. The performance analysis reveals a transmit diversity gain of (NT-NR+1) for the ZF-based PDSM (ZF-PDSM) systems that employ TAS selection with NT transmit antennas, NS selected transmit antennas, and NR receive antennas. It is also shown that reducing the number of activated transmit antennas via optimal TAS selection in the ZF-PDSM systems degrades ABER performance. In addition, the impacts of channel estimation errors on the performance of the ZF-PDSM system with TAS selection are evaluated, and the performance of this system is compared with that of ZF-based PSM with TAS selection.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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