A new dynamic RAM cell called Trench Epitaxial Transistor Cell (TETC) has been developed for 4M to 16M DRAMS. Also the fabrication process for device isolation which can decrease the narrow effect using SEG process has been developed. We verified the characteristic of the new cell structure with the PICSES simulator on VAX8450.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제3권4호
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pp.205-210
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2003
A 3-Transistor cell CMOS OTP ROM array using standard CMOS antifuse (AF) based on permanent breakdown of MOSFET gate oxide is proposed, fabricated and characterized. The proposed 3-T OTP cell for ROM array is composed of an nMOS AF, a high voltage (HV) blocking nMOS, and cell access transistor, all compatible with standard CMOS technology. The experimental results show that the proposed structure can be a viable technology option as a high density OTP ROM array for modern digital as well as analog circuits.
JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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제4권2호
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pp.106-109
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2004
A high-density 3-transistor cell one-time programmable (OTP) ROM array using standard CMOS Gate-Oxide antifuse (AF) is proposed, fabricated, and characterized with $0.18{\mu}m$ CMOS process. The proposed non-volatile high-density OTP ROM is composed of an array of 3-T OTP cells with the 3-T consisting of an nMOS AF, a high voltage (HV) blocking transistor, and a cell access transistor, all compatible with standard CMOS technology.
Based on the popular 4-transistor SRAM cell, an analytical expression of the minimum cell ratio was derived by modeling the static read operation. By analyzing the relatively simple expression for the minimum cell ratio, which was derived assuming the ideal transistor characteristics, effects of the changes in supply voltage and process parameters on the minimum cell ratio was predicted, and the minimum power supply voltage for read operation was determined. The results were verified by simulations utilizing the suggested simulation method, which is suitable for monitoring the lower limit of supply voltage for proper cell operation. From the analysis, it was shown that the worst condition for cell operation is low temperature and low supply voltage, and that the operation margin can be effectively improved by reducing the threshold voltage of the cell transistors.
We have studied the pressure-dependent liquid crystal's dynamics in a twisted nematic (TN) liquid crystal panel with thin film transistor by applying an external pressure to it. When the external pressure is applied to the panel in a dark state, the disclination lines were generated as a light leakage whereas they did not appear in a simple test cell that has only pixel and common electrodes. It was because the disclination lines were Provoked by the electric field between pixel electrode and data/gate bus line for active matrix driving. Consequently, the external pressure resulted in dynamic instability of the liquid crystal so that the disclination lines at the data/gate bus line intruded into the active area.
A CMOS direct-conversion mixer with a single transistor-level topology is proposed in this paper. Since the single transistor-level topology needs smaller supply voltage than the conventional Gilbert-cell topology, the proposed mixer structure is suitable for a low power and highly integrated RF system-on-a-chip (SoC). The proposed direct-conversion mixer is designed for the multi-band ultra-wideband (UWB) system covering from 3 to 7 GHz. The conversion gain and input P1dB of the mixer are about 3 dB and -10 dBm, respectively, with multi-band RF signals. The mixer consumes 4.3 mA under a 1.8 V supply voltage.
0.4mm Resign Rule의 Super Low Power Dissipation, Low Voltage. Operation-5- Full CMOS SRAM Cell을 개발하였다. Retrograde Well과 PSL(Poly Spacer LOCOS) Isolation 공정을 사용하여 1.76mm의 n+/p+ Isolation을 구현하였으며 Ti/TiN Local Interconnection을 사용하여 Polycide수준의 Rs와 작은 Contact저항을 확보하였다. p-well내의 Boron이 Field oxide에 침적되어 n+/n-well Isolation이 취약해짐을 Simulation을 통해 확인할 수 있었으며, 기생 Lateral NPN Bipolar Transistor의 Latch Up 특성이 취약해 지는 n+/n-wellslze는 0.57mm이고, 기생 Vertical PNP Bipolar Transistor는 p+/p-well size 0.52mm까지 안정적인 Current Gain을 유지함을 알 수 있었다. Ti/TiN Local Interconnection의 Rs를 Polycide 수준으로 낮추는 것은 TiN deco시 Power를 증가시키고 Pressure를 감소시킴으로써 실현할 수 있었다. Static Noise Margin분석을 통해 Vcc 0.6V에서도 Cell의 동작 Margin이 있음을 확인할 수 있었으며, Load Device의 큰 전류로 Soft Error를 개선할수 있었다. 본 공정으로 제조한 1M Full CMOS SRAM에서 Low Vcc margin 1.0V, Stand-by current 1mA이하(Vcc=3.7V, 85℃기준) 를 얻을 수 있었다.
16Mb DRAM을 개발하는데 필요한 주요한 기술적인 문제점으로 설계면에서는 전력소모, Noise, Vcc내부 전압강하회로를 들 수 있다. 기술적인 면은 CELL을 어떻게 형상화느냐에 따라 문제가 다르게 나타나나 단차에 따른 photo/etching, 박막의 leakage전류와 reliability, short channel에 따른 transistor특성의 안정화등이 있다. 특히 16Mb에서는 stack형, stack과 trench의 병합형이 cell의 주요형태가 될 전망이다.
This paper proposes printed organic one-time programmable read-only memory (PROM). The organic PROM cell consists of a capacitor and an organic p-type metal-oxide semiconductor (PMOS) transistor. Initially, all organic PROM cells with unbroken capacitors store "0." Some organic PROM cells are programmed to "1" by electrically breaking each capacitor with a high voltage. After the capacitor breaking, the current flowing through the PROM cell significantly increases. The memory data is read out by sensing the current in the PROM cell. 16-bit organic PROM cell arrays are fabricated with the printed organic PMOS transistor and capacitor process. The organic PROM cells are programmed with -50 V, and they are read out with -20 V. The area of the 16-bit organic PROM array is 70.6 $mm^2$.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제16권4호
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pp.187-189
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2015
A charge-trap flash (CTF) thin film transistor (TFT) memory is proposed at a low-temperature process (≤ 450℃). The memory cell consists of a sputtered oxide-nitride-oxide (ONO) gate dielectric and Schottky barrier (SB) source/drain (S/D) junctions using nickel silicide. These components enable the ultra-low-temperature process to be successfully achieved with the ONO gate stacks that have a substrate temperature of room temperature and S/D junctions that have an annealing temperature of 200℃. The silicidation process was optimized by measuring the electrical characteristics of the Ni-silicided Schottky diodes. As a result, the Ion/Ioff current ratio is about 1.4×105 and the subthreshold swing and field effect mobility are 0.42 V/dec and 14 cm2/V·s at a drain voltage of −1 V, respectively.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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