• 제목/요약/키워드: 211공정(工程)

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백색 LED증착용 MOCVD 유도가열 장치에서 가스 inlet위치에 따른 기판의 온도 균일도 측정

  • 홍광기;양원균;주정훈
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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    • pp.115-115
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    • 2010
  • 고휘도 고효율 백색 LED (lighting emitting diode)가 차세대 조명광원으로 급부상하고 있다. 백색 LED를 생산하기 위한 공정에서 MOCVD (유기금속화학증착)장비를 이용한 에피웨이퍼공정은 에피층과 기판의 격자상수 차이와 열팽창계수차이로 인하여 생성되는 에피결함의 문제로 기판과 GaN 박막층 사이에 완충작용을 해줄 수 있는 버퍼층 (Buffer layer)을 만든다. 그 위에 InGaN/GaN MQW (Multi Quantum Well)공정을 하여 고휘도 고효율 백색 LED를 구현 할 수 있다. 이 공정에서 기판의 온도가 불균일해지면 wafer 파장 균일도가 나빠지므로 백색 LED의 yield가 떨어진다. 균일한 기판 온도를 갖기 위한 조건으로 기판과 induction heater의 간격, 가스의 흐름, 기판의 회전, 유도가열코일의 디자인 등이 장비의 설계 요소이다. 본 연구에서는 유도가열방식의 유도가열히터를 이용하여 기판과 히터의 간격에 차이에 따른 기판 균일도 측정했고, 회전에 의한 기판의 온도분포와 자기장분포의 실험적 결과를 상용화 유체역학 코드인 CFD-ACE+의 모델링 결과와 비교 했다. 또한 가스의 inlet위치에 따른 기판의 온도 균일도를 측정하였다. 본 연구에서 사용된 가열원은 유도가열히터 (Viewtong, VT-180C2)를 사용했고, 가열된 흑연판 표면의 온도를 2차원적으로 평가하기 위하여 적외선 열화상 카메라 (Fluke, Ti-10)를 이용하여 온도를 측정했다. 와전류에 의한 흑연판의 가열 현상을 누출 전계의 분포로 확인하기 위하여 Tektronix사의 A6302 probe와 TM502A amplifier를 사용했다. 흑연판 위에 1 cm2 간격으로 211곳에서 유도 전류를 측정했다. 유도전류는 벡터양이므로 $E{\theta}$를 측정했으며, 이때의 측정 방향은 흑연판의 원주방향이다. 또한 자기장에 의한 유도전류의 분포를 확인하기 위하여 KANETEC사의 TM-501을 이용하여 흑연판 중심으로부터 10 mm 간격으로 자기장을 측정 했다. 저항 가열 히터를 통하여 대류에 의한 온도 균일도를 평가한 결과 gap이 3 mm일때, 평균 온도 $166.5^{\circ}C$에서 불균일도 6.5%를 얻었으며, 회전에 의한 온도 균일도 측정 결과는 2.5 RPM일 때 평균온도 $163^{\circ}C$에서 5.5%의 불균일도를 확인했다. 또한 CFD-ACE+를 이용한 모델링 결과 자기장의 분포는 중심이 높은 분포를 나타냄을 확인했고, 기판의 온도분포는 중심으로부터 55 mm되는 곳에서 300 W/m3로 가장 높은 분포를 나타냈다. 가스 inlet 위치를 흑연판 중심으로 수직, 수평 방향으로 흘려주었을 때의 불균일도는 각각 10.5%, 8.0%로 수평 방향으로 가스를 흘려주었을 때 2.5% 온도 균일도 향상을 확인했다.

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211 공정을 이용한 새로운 TFA-MOD YBCO 박막 선재 제조 (New processing technique of TFA-MOD YBCO coated conductors using the '211' process)

  • 임준형;장석헌;김규태;이진성;윤경민;박의철;주진호
    • Progress in Superconductivity
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    • 제7권2호
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    • pp.140-144
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    • 2006
  • We fabricated the YBCO films on single crystal $LaAlO_3$ substrates via a metal organic deposition (MOD) process. In the process, $Y_2Ba_1Cu_1O_x$ and $Ba_3Cu_5O_8$ powders were dissolved in trifluoroacetic acid (TFA) followed by calcining and firing heat treatments. To evaluate the effects of the firing temperature on YBCO phase formation and critical properties, the films were fired at $750^{\circ}C,\;775^{\circ}C\;and\;800^{\circ}C$ after calcining at $430^{\cric}C$. Microstructure observation indicated that a crack-free surface formed and a strong biaxial texture was developed. The FWHM of out-of-plane texture was measured to be in the range of $4.3^{\cric}-7.0^{\circ}$ for all the films. When the YBCO film was fired at $775^{\cric}C$, it had the highest critical properties: 88.5 K of critical temperature and 16 A/cm-width of critical current ($1MA/cm^2$ as critical current density). On the other hand, those properties were degraded as firing at $750^{\circ}C\;and\;800^{\circ}C$. It is considered that the improved critical values are partly owing to dense and homogeneous microstructure, strong texture, and high oxygen content.

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오존처리와 생물활성탄 공정에 의한 상수원수 중의 용존유기물 제거 (Removal of Dissolved Organic Matter by Ozone-biological Activated Carbon process)

  • 이상훈;문순식;신종철;최광근;심상준;박대원;이진원
    • KSBB Journal
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    • 제18권3호
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    • pp.211-216
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    • 2003
  • 본 연구에서는 오존과 생물활성탄 연계공정의 효율성을 비교하고자 원수, 원수오존처리, 원수오존응집 침전 공정 처리수를 생물확성탄에 유입시켜 용존 유기물질의 제거효과를 비교ㆍ연구하였다. 또한 생물활성탄의 생물학적 처리능을 조사하기 위하여 총질소, 총인, 암모니아성 질소의 제거경향을 파악하였으며 그 결과 다음과 같은 결론을 얻었다. 오존 생물활성탄 처리시의 평균 제거율은 30.7%로 다른 처리 공정에 비하여 상대적으로 높은 용존 유기물질 제거율을 나타냈는데, 이것은 생물황성탄 컬럼 상에서 용존산소의 농도를 증가시킴과 오존의 산화로 인하여 유기물의 생분해도를 증가시킴으로서 활성탄 컬럼 내의 용존 유기물질 제거를 증가시킨 것으로 사료되며, 생물활성탄 컬럼의 DOC 저감율이 가장 높은 EBCT 10분을 최적의 EBCT로 판단하였다. 또한 각 공정별 유기물의 성상변화를 살펴보기 위하여 specific ultra violet adsorbance 성상 변화를 조사하였으며 오존처리에 의해 다량의 hydrophobic 성분이 hydrophilic 성분으로 전환되었으며 생물활성탄 처리에 의해 28%의 SUVA 값의 제거가 발생하였다. 이것은 오존 처리에 의해 다량의 hydrophobic 성분이 hydrophilic 성분으로 전환되었으며, 이러한 hydrophilic 성분이 생물활성탄 처리에 의해 제거된 것으로 사료된다. 원수를 유입시킨 생물 활성탄 처리수는 45.3%, 오존 처리수를 유입시킨 컬럼에서는 44.6%, 오존응집ㆍ침전처리수를 유입시킨 컬럼에서 58.4%의 UV$_{254}$ 제거율을 나타내었으며, 암모니아성 질소의 경우 66%, 81%, 29%의 제거율을 나타내어 생물학적 제거가 활발함을 관찰할 수 있었다. 따라서 본 연구를 통하여 오존산화처리와 황성탄의 연계처리는 용존 유기물질의 저감 뿐만 아니라 생물활성탄의 생물학적 처리능을 향상시키는 효율적인 공정임을 확인할 수 있었다.id의 효과와 거의 대등한 것을 나타났다. 이것으로 쇠비름 조추출물이 항산화효과 (in vitro)가 있음이 증명되었으며, 이 항산화활성은 극성이 비교적 큰 화합물들에 의한 것임을 추정할 수 있다. 현재 쇠비름 추출물로부터 항산화활성성분을 분리하기 위한 연구가 진행 중이다.는 exp-onential phase 동안 급격한 균체성장으로 용존산소가 부족하여 NADH balance에 의해 astaxanthin 생합성 경로 중 탈수소화 단계가 저해되기 때문으로 사료되었다. 최종 세포농도는 43.3 g/L, 단위부피당 carotenoids 함량은 149.4 mg/L, astaxanthin 함량은 110.6 mg/L로서 산업적인 생산성이 있는 것으로 나타났다. 이번 연구를 통하여 개발된 변이주 B76 및 이의 대량 발효를 위한 최종조건의 정립은 향후 astaxanthin의 산업적 생산공정에 필요한 기초자료로 이용될 것으로 기대된다.색총말내에 소형의 도형, 소형의 장형 연접소포 및 DENSE CORE VESICLE의 3가지 연접소포를 가지고 있었고 출현빈도수는 촉각엽에서 가장 큰 33%이었다. 제5형 신경연접은 축색종말내에 중등도크기의 원형, 대형의 원형연접소포 및 DENSE CORE VESICLE을 포함하였고 13%의 출현빈도수로 관찰되었다. 배추횐나비의 촉각에 있는 지각신경세포가 뇌의 촉각엽으로 뻗어 들어가 위의 5가지 신경연접중 어느 형을 형성하는지를 관찰하기 위하여 좌측 촉각의 기부를 제거하여 지각신경세포를 절단하였는데 그 결과, 좌측 촉각엽에서 제4형의 신경연접이 퇴행성 변화를 나타내었다. 그러므로 촉각의 지각신경세포는 뇌의 같은 족 촉각엽에 뻗어와 제4형 신경연접을 형성한다고 결론되었다.$/ 값이 210 $\mu\textrm{g}$/$m\ell$로서 효과적인 저해 활성을 나타내었다 따라서, 본 연구에서 빈랑으로부터 분리한 phenol 성 물질은 피부

CMMI 기반 프로젝트 관리시스템(ML2-PMS) 구축 (CMMI based Maturity Level 2 Project Management System)

  • 박상필;정일재;염희균;황선명
    • 한국정보처리학회:학술대회논문집
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    • 한국정보처리학회 2006년도 춘계학술발표대회
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    • pp.211-214
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    • 2006
  • CMMI를 적용하여 프로젝트 관리 시스템을 구성하고 산출물 관리를 위해 마르미-III의 산출물 제작에 관한 내용을 추가하여 소규모 기업에서 프로젝트 착수단계에서 완료단계까지 전체 Life Cycle공정을 관리할 수 있고 필수적인 수행활동과 생성되는 작업산출물들을 정의하고 관리하는 자동화 시스템을 제공하고자 한다. CMMI와 마르미-III에 대하여 알아보고 ML2-PMS에서 적용한 방법과 처리 등을 알아보고 모듈식 구성을 통하여 수정과 추가, 삭제등이 용이한 시스템의 구성을 알아보고자 한다.

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2차원 박판성형공정해석을 위한 강소성 외연적 유한 요소수식화 (Rigid-Plastic Explicit Finite Element Formulation for Two-Dimensional Analysis of Sheet Metal Processes)

  • 안동규;정동원;양동열
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 1993년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.206-211
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    • 1993
  • The explicit scheme for finite element analysis of sheet metal forming problems has been widely used for providing practical solution since it improves the convergency problem,memory size and computational time especially for the case of complicated geometry and large element number. In the present work, a basic formulation for rigid-plastic explicit finite element analysis of plain strain sheet metal forming problems has been proposed. The effect of some basic parameters involved in the dynamic analysis has been studied in detail. A direct trial-and-error method is introduced to treat contact and friction. In order to show the validity and effectiveness of the proposed explicit scheme, computation are carried out for cylindrical punch stretching and the computational results are compared with those by the implicit scheme as well as with a commercial code. The proposed rigid-plastic explicit element method can be used as a robust and efficient computational method for analysis of sheet method forming.

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광디스크용 마이크로미러의 설계 및 제작에 관한 연구 (A Study on the Design and Fabrication for the Micro-Mirror of Optical Disk System)

  • 손덕수;김종완;임경화;서화일;이우영
    • 한국정밀공학회지
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    • 제19권11호
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    • pp.211-220
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    • 2002
  • Optical disk drives read information by replacing a laser beam on the disk track. As information has become larger, the more accurate position control of a laser beam is necessary. In this paper, we report the analysis and fabrication of the micro mirror for optical disk drivers. A coupled simulation of gas flow and structural displacement of the micro mirror using the Finite-Element-Method is applied to this. The mirror was fabricated by using MEMS technology. Especially, the process using the lapping and polishing step after the bonding of the mirror and electrode plates was employed for the Process reliability. The mirror size was 2.5mm${\times}$3mm and it needed about 35V for displacement of 3.2 ${\mu}$.

Encapsulation용 silicone을 사용한 모듈제조 공정에 대한 연구 (The study on PV module development using the silicone encapsulation)

  • 정인성;이우진;이범수;양오봉;정은석;김종일
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2011년도 춘계학술대회 초록집
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    • pp.130.1-130.1
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    • 2011
  • Nowadays, the number of PV module corporation is increasing due to demand growth of silicon solar module. However almost study of module is research about increasing of efficiency for it. This study is evaluation and development for process of module using the silicone encapsulation material instead of existing EVA sheet. We are changed adding material ratio on silicone and thickness of silicone. So we get better efficiency than EVA sheet through the evaluation for silicone liquid and modulation. Also, we are test after establishing manufacture system being able to quicker than existing modules line. The result of EVA sheet is average 207.47W and silicone material is 211.32W so we think that silicone is better than EVA sheet.

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용융공정으로 제조한 $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ 산화물의 미세조직에 미치는 기공의 영향 (Effects of Pores on the Microstructure of Melt-Processed $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ Oxides)

  • 김찬중;홍계원
    • 한국분말재료학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.117-123
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    • 2001
  • Formation of pores in melt-processed $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ (123) oxides and its effect on the microstructure were studied. Spherical pores with a size of a few tens of microns were formed due to the evolution of oxygen gas during melting of a 123 oxide. Some of pores were converted into liquid pockets by liquid filling, but others remained unfilled. The liquid pockets were converted into spherical 123 regions with a lower $Y_2BaCuO_5$ (211)density through the peritectic reaction during subsequent cooling, while the pores were entrapped into the periteictically grown 123 grains. The spherical 123 regions often consists of a residual melt due to the unbalanced peritectically reaction.

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건설공사 진도관리의 현황 분석에 대한 연구 (Analysis of Construction Schedule Progress Management Practice)

  • 신윤경;윤석현;백준홍
    • 한국건축시공학회:학술대회논문집
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    • 한국건축시공학회 2010년도 춘계 학술논문 발표대회 1부
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    • pp.207-211
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    • 2010
  • As mega-sized and complex building construction projects are increased, the importance of project scheduling and control is emphasized. Project scheduling and control technic is not used widely yet in Korea, but interests in it is progressively increased. By now, most research projects mainly have focused on scheduling issues. Project progress management is also as much important as project scheduling issues. Current state about project progress management in Korea is analysed and way for improvements are suggested in this paper. At first, research projects undergone and practice are analysed and fields experts are survey about current state about project progress management. This study suggests the progress management method for quantitative and qualitative project progress analysis.

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초기공정에서 개별관측치를 이용한 EWM-MR 관리도 (EWM-MR chart for individual measurements in start-up process)

  • 지선수
    • 산업경영시스템학회지
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    • 제21권47호
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    • pp.211-218
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    • 1998
  • In start-up process control applications it may be necessary to limit the sample size to one measurement. A control chart for individual measurements is used whenever it is desirable to examine each individual value from the process immediately. A possible option would be to use an exponential weighted moving(EWM), using modifying statistics with individual measurement, chart for monitoring the process center, and using a moving range (MR) chart for monitoring process variability. In this paper it is shown that there is scheme in using the EWM procedure based on average run length. An expression for the ARL is given in terms of an integral equation, approximated using numerical quadrature. In this case, where it is reasonable to assume normality and negligible autocorrelation in the observations, provide graphs that simplify the design of EWM-MR chart and taking method of exponential smoothing constant(λ) and constant(K) are suggested. The charts suggested above evaluate using the conditional probability.

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