• The Journal of The Korea Institute of Intelligent Transport Systems
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• v.3 no.1 s.4
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• pp.13-19
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• 2004

The VCO(Voltage Controlled Oscillator) with low phase noise and high reliability is implemented using nonlinear design, and its phase noise characteristics are compared with that of Lesson's equation. The microstripline coupled with dielectric resonator is realized as a high impedance inverter to improve the phase noise, and the qualify factor of resonator circuit can be transferred to active device with the enhanced the loaded quality factor. The worst case and part stress analyses are achieved to obtain the high reliability of VCO. The developed VCO has the oscillating tuning factor of 0.56MHz/V for the control voltage range of 0$\~$12V This VCO requires the DC power of 160mW. The phase noise characteristics exhibit good performances of -96.51dBc/Hz @ 10KHz and -116.3dBc/Hz @ 100KHz, respectively. And, the output power of 7.33 dBm is measured.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2009.04b
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• pp.55-56
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• 2009

Small RFID tag antenna were fabricated on Si substrate and their physical and electrical properties were evaluated. With decreasing the size of tag antenna on Si substrate, small SMD-type RFID tags could be fabricated, which is very useful for PCB tracking. Firstly, tag antenna pattern and the electromagnetic properties were simulated with HFSS. The frequency was 13.56MHz, the line-width and line-gap were modeled in the range of $50{\sim}200{\mu}m$. S parameters, SRF, and Q value were calculated from geometry. When the line-width and line-gap were 100um and the loop-turn was 10, the SRF was 80MHZ and the Q value was ca. 9. When the microstrip antenna pattern of aluminum was fabricated by using DC sputtering, Vpp of ca. 1.6V was obtained when the reader-tag distance was 40mm.

• Korean Security Journal
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• no.21
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• pp.155-175
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• 2009

RFID that provide automatic identification by reading a tag attached to material through radio frequency without direct touch has some specification, such as rapid identification, long distance identification and penetration, so it is being used for distribution, transportation and safety by using the frequency of 125KHz, 134KHz, 13.56MHz, 433.92MHz, 900MHz, and 2.45GHz. Also it is one of main part of Ubiquitous that means connecting to net-work any time and any place they want. RFID is expected to be new growth industry worldwide, so Korean government think it as prospective field and promote research project and exhibition business program to linked with industry effectively. RFID could be used for access control of person and vehicle according to section and for personal certify with password. RFID can provide more confident security than magnetic card, so it could be used to prevent forgery of register card, passport and the others. Active RFID could be used for protecting operation service using it's long distance date transmission by application with positioning system. And RFID's identification and tracking function can provide effective visitor management through visitor's register, personal identification, position check and can control visitor's movement in the secure area without their approval. Also RFID can make possible of the efficient management and prevention of loss of carrying equipments and others. RFID could be applied to copying machine to manager and control it's user, copying quantity and It could provide some function such as observation of copy content, access control of user. RFID tag adhered to small storage device prevent carrying out of item using the position tracking function and control carrying-in and carrying-out of material efficiently. magnetic card and smart card have been doing good job in identification and control of person, but RFID can do above functions. RFID is very useful device but we should consider the prevention of privacy during its application.

• Asian Pacific Journal of Cancer Prevention
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• v.13 no.2
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• pp.737-742
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• 2012

To evaluate efficacy of microwave ablation in a primary clinical study, sixty patients (44 men, 16 women; mean age 53 years) with 96, 1-8 cm (mean $3.20{\pm}0.17$ cm) liver cancers were treated with 2,450-MHz internally cooled-shaft antenna. Complete ablation (CA) and local tumor progression (LTP) rates as well as complications were determined. CA rates in small (< 3.0 cm), intermediate (3.1-5.0 cm) and large (5.1-8.0 cm) liver cancers were 96.4% (54/56), 92.3% (24/26) and 78.6% (11/14), respectively. During a mean follow-up period of $17.17{\pm}6.52$ months, LTP occurred in five (5.21%) treated cases. There was no significant difference in the CA and LTP rates between the HCC and liver metastasis patient subgroups (P<0.05). Microwave ablation provides a reliable, efficient, and safe technique to perform hepatic tumor ablation.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.238-239
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• 2011

최근 반도체 산업은 더 높은 성능의 회로 제작을 통해 초고집적화를 추구하고 있다. 이를 위해서 회로 설계의 최소 선폭과 소자 크기는 지속적으로 감소하고 있고 이를 위한 배선 기술들은 플라즈마 공정을 이용한 식각공정에 크게 의존하고 있다. 식각공정에 있어서 반응가스의 조성은 식각 속도와 선택도를 결정하는 중요한 요소이다. 본 연구에서는 CIS QMS (closed ion source quadrupole mass spectrometer)를 이용하여 CF4+Ar를 이용한 실리콘 산화막의 플라즈마 식각 공정 시 생성되는 라디칼과 이온 종들을 측정하였다. Ar 이온이 기판표면과 충돌하여 기판물질간의 결합을 깨놓으면, 반응성 기체 및 라디칼과의 반응성이 커져서 식각 속도를 향상 시키게 된다. 본 실험에서는 2 MHz의 RPS (remote plasma source)를 이용하여 플라즈마를 발생시키고 13.56 MHz의 rf 전력을 기판에 인가하여 식각할 웨이퍼에 바이어스 전압을 유도하였다. CF4/(CF4+Ar)의 가스 혼합비가 커질수록 식각 부산물인 SiF3의 양은 증가 하였으며, CF4 혼합비가 0일 때(Ar 100%) 비하여 1일 때(CF4 100%) SiF3의 QMS 이온 전류는 106배 증가하였다. 이때의 Si와 결합하여 SiF3를 형성하는 F라디칼의 소모는 0.5배로 감소하였다. 또한 RPS power가 800 W일 때 플라즈마에 의해서 CF4는 CF3, CF2, CF로 해리 되며 SiO2 식각 시 라디칼의 직접적인 식각과 Si_F2의 흡착에 관여되는 F라디칼의 양은 CF3 대비 7%로 검출되었고, 식각 부산물인 SiF3는 13%로 측정되었다. Ar의 혼합비를 0 %에서 100%까지 증가시켜 가면서 측정한 결과 F/CF3는 $1.0{\times}105$에서 $2.8{\times}102$로 변화하였다. SiF3/CF3는 1.8에서 6.3으로 증가하여 Ar을 25% 이상 혼합하는 것은 이온 충돌 효과에 의한 식각 속도의 증진 기대와는 반대로 작용하는 것으로 판단된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.149-149
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• 2011

아르곤 기체의 방사세기 또는 그 세기 비는 플라즈마 공정 진단에서 일반적으로 사용된다. 본 실험에서는 100 mTorr 압력 조건하의 유도결합 플라즈마(13.56 MHz)에서 E-H 모드 전이 영역, rf 바이어스(12.5 MHz) 전력 인가 및 N2 혼합 시 단순화한 충돌-방사 모델에 기초한 광방사 세기비 방법을 적용하여 플라즈마 변수를 진단하였다. 개발 프로그램 기반의 분광기를 사용하여 아르곤 기체의 특정 파장(750.4, 751.5 그리고 811.5 nm)들을 관측하였고, 동일한 조건하에서 정전 탐침법으을 이용하여 전자 에너지 분포함수의 변화도 측정 하였다. 맥스웰 전자 에너지 분포를 가정하는 일반적인 경우와 비교하여 볼 때 실제적인 전자 에너지 분포함수의 측정은 전자의 가열 메커니즘에 대한 상세한 정보를 제공함과 동시에 플라즈마 재흡수에 대한 보정을 가능하게 해준다. 광방사 세기비법에 의해 측정된 결과에 의하면, 750.4 nm/751.5 nm는 높은 에너지(>13.08 eV)의 전자들의 유효 전자온도에 대한 정보를 나타내는 반면 811.5 nm/750.4 nm는 아르곤 준안정 준위 밀도(1s5)에 대한 정보를 제공하게 된다. 수행된 실험 조건하에서, 측정된 준안정 준위 밀도는 E-H 모드 전이 영역에서 최대값을 나타내었고 바이어스 전압 및 N2 기체 혼합 비율이 증가함에 따라 감소하는 결과를 얻었다. 유효 전자온도의 경우 광방사 세기비법과 정전 탐침법 모두 같은 결과를 보여 주었는데, E-H 모드 전이 영역에서는 전자온도는 거의 일정하였고 바이어스 전압 및 N2 기체 혼합 비율이 증가함에 따라 전자온도는 증가하였다. 이러한 실험 결과는 방전 모드 전이, 바이어스 인가 그리고 혼합 기체 사용하는 공정 플라즈마를 이해하는데 있어 이들 변수의 진단이 중요한 요소임을 보여준다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1999.07d
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• pp.1699-1701
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• 1999

We prepared diamond thin films on WC-Co substrate in $H_2-CH_4-O_2$ gas mixture using 13.56MHz RF PACVD. Scanning electron microscopy, X-ray diffraction and Raman spectroscopy were used to analyze the nature of thin film. and Rockwell test to analyze the adhesion between thin film and substrate. The good diamond quality and adhesion was appeared with cemented tungsten carbide substrate treated with oxygen plasma.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2004.07c
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• pp.1570-1572
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• 2004

OLED(organic light-emitting diode)소자에 사용되는 ITO(Indium-tin oxide)전극에 Ar/$O_3$ 플라즈마 표면처리 함으로써 ITO전극에 표면상태의 개선에 좋은 영향을 미치는 것으로 나타났다. 13.56MHZ RF 플라즈마 장치를 이용하여 Ar/$O_3$ 플라즈마 처리한 후 AFM(atomic force microscopy)측정을 통해 표면 morphologyjroughless를 분석하고, XPS(X-Ray Photoelectron Spectroscopy)분석을 통해 표면의 화학적 조성비 분석을 수행 하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1995.07c
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• pp.1382-1384
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• 1995

In order to study the structure of RF glow discharge driven at 13.56MHz in argon, the discharge voltage, current and phase shift between them will be measured over a wide range of discharge parameters(gas pressure between 1mTorr and 50mTorr with discharge power between 20mW and 200W). In this paper, the dc glow discharge characteristics and plasma parameters of both FTS and CPMS systems are studied experimentally. It is found that for CPMS system discharge is stablized under wider ranges of magnetic field and pressure than for FTS system. The plasma density and electron temperature of the plasma for these two systems are in the range of $10^{10}{\sim}7{\times}10^{11}[cm^{-3}]$ and $3.5{\sim}6.5$[eV], respectively.

• Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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• 2005.11a
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• pp.190-192
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• 2005

USN이란 Ubiquitous Sensor Network의 약자로 모든 사물에 컴퓨팅 및 통신 기능을 부여하여 언제나, 어디서나, 어느 것으로나 통신이 가능한 환경을 구현하기 위한 것을 의미하는 것이다. 이런 USN에서 사물의 인식정보를 파악 하는데 부곽 되고 있는 기술이 RFID이다. RFID는 2차 세계대전 배행기의 식별을 위해서 만들어진 기술로 현재 국내에서는 13.56Mhz가 이미 공장의 공정관리에서 사용이 되고 있고 나머지 주파수 대역도 연구 및 실험이 진행 중이다. 하지만 태그의 가격이 높고 정책적인 면이 확정이 되지 않았으며 인식 거리의 제약으로 인하여 처음 목적 되로 실생활에 적용 하는 데는 아직 무리가 있다. 본 연구에서는 Zigbee 시스템에 RFID 모듈을 연결함으로써 Zigbee의 특징을 이용 RFID 무선통신을 위한 시스템을 설계 하였다.