$Al_2O_3$ 기판 위에 제작된 Ta/$Ta_2O_5$ /Ta 박막 커패시터의 전기적 특성
(Electrical Properties of Ta/$Ta_2O_5$ /Ta Thin Film Capacitor deposited on $Al_2O_3$ Substrate)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2003년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1502-1504
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- 2003