• Title/Summary/Keyword: 후 열처리

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Magnetoresistance Properties of Spin Valves Using MoN Underlayer (MoN 하지층을 이용한 스핀밸브의 자기저항 특성)

  • Kim, Ji-Won;Jo, Soon-Chul;Kim, Sang-Yoon;Ko, Hoon;Lee, Chang-Woo
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.16 no.5
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    • pp.240-244
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    • 2006
  • In this paper, magnetic properties and annealing behavior of spin valve structures using Mo(MoN) layers as underlayers were studied varying the thickness of the underlayers. The spin valve structure was consisted of Si substrate/$SiO_2(2,000{\AA})/Mo(MoN)(t{\AA})/NiFe(21\;{\AA})/CoFe(28\;{\AA})/Cu(22\;{\AA})/CoFe(18\;{\AA})/IrMn(65\;{\AA})/Ta(25\;{\AA})$. Also, MoN films were deposited on Si substrates and their thermal annealing behavior was analyzed. The resistivity of the MoN film increased as the $N_2$ gas flow rate was increased. After annealing at $600^{\circ}C$, XRD results did not show peaks of silicides. XPS results indicated MoN film deposited with 5 sccm of $N_2$ gas flow rate was more stable than the film deposited with 1 sccm of $N_2$ gas flow rate. The variations of MR ratio and magnetic exchange coupling fold were small for the spin valve structures using Mo(MoN) underlayers up to thickness of45 ${\AA}$. MR ratio of spin valves using MoN underlayers deposited with various $N_2$ gas flow rate was about 7.0% at RT and increased to about 7.5% after annealing at $220^{\circ}C$. Upon annealing at $300^{\circ}C$, the MR ratio decreased to about 3.5%. Variation of $N_2$ gas flow rate up to 5 sccm did not change the MR ratio and $H_{ex}$ appreciably.

Experimental Studies on Heat Conductivity of Human Bone and Torsional Strength of Pasteurized Porcine Tibia (생체골의 열전도성 및 열처리된 골의 염전력 변화에 대한 실험적 연구)

  • Park, Il-Hyung;Kim, Sin-Gun;Shin, Dong-Kyu;Ihn, Joo-Chul
    • The Journal of the Korean bone and joint tumor society
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    • v.1 no.1
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    • pp.7-16
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    • 1995
  • In countries where confucianism is popular, it is extremely hard to get fresh cadaver bone for allograft. Therefore in Korea, the reimplantation of resected autoclaved autogenous bone segments has been increasingly performed for limb reconstruction of extremities with malignancies. To preserve the bone morphogenetic protein and mechanical strength of heated bone, many studies have reported that pasteurization of bone is far better than autoclaving over $100^{\circ}C$. Based on this assumption, replacement with a pasteurized autogenous bone graft after resection of a malignant bone tumor was deemed feasible for reconstruction. However, little is known about how high a temperature and how much time for pasteurization is needed to make tumors completely necrotic and to maintain the mechanical strength of bone. Consequantly, experimental studies were carried out to test heat conductivity of human bone and torsional strength of porcine tibia after pasteurization. First, two pairs of human proximal tibia and distal femur were used. We used T-type thermocoples to check core temperature of the bone and a computerized data acquisition system to record results. Without reaming of the medullary cavity, in a $60^{\circ}C$-thermostatic saline tub, it took 32 minutes and 50 seconds to raise the core temperature of human proximal tibia from $20^{\circ}C$ to $58^{\circ}C$, and 30 minutes for distal femur. In a $80^{\circ}C$ saline tub, it took 12 minutes and 50 seconds for proximal tibia, and 11 minutes and 10 seconds for distal femur. In contrast, using porcine tibia whose cortical thickness is similar to that of human tibia, after reaming of the medullary canal, it took less than 3 minutes and 30 seconds in a $60^{\circ}C$ saline tub, less than 1 minute and 45 seconds in a $70^{\circ}C$ tub, and less than 1 minute in a $80^{\circ}C$ tub to elevate core temperature from $20^{\circ}C$ to $58^{\circ}C$. Second, based on data of the heat conductivity test, we compared the torsional strength before and after pasteurization. Twenty matched pairs of porcine tibia were used, The left one was used as a non-heated control group and the right one as a pasteurized experimental group. Wighout reaming of the medullary cavity, there was no statistical difference in torsional strength between the pasteurization of the $60^{\circ}C$-35minute and of $80^{\circ}C$-15minute. With reaming, we also found no statistical difference among pasteurization of $60^{\circ}C$-15 minute, of $70^{\circ}C$-15 minute, and of $80^{\circ}C$-15 minute groups. In conclusion, reaming of the medullary canal is very helpful in saving pasteurization time. And, in a $60^{\circ}C$ saline tub, no significant weakness in torsional strength occurs with pasteurization of the bone for up to 35 minutes. Also no significant weakness in torsional strength occurs with an exposure of 15 minutes to the $80^{\circ}C$ saline tub.

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Effect of Heat Treatment on Properties of Tungsten Embolization Coils (텅스텐 색전코일의 특성에 미치는 열처리 효과)

  • Son, Ung-Hui;Hong, Sun-Hyeong;Sin, Gyeong-Min;Lee, Yun-Sin;Park, Jae-Hyeong
    • Journal of Biomedical Engineering Research
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    • v.19 no.4
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    • pp.333-339
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    • 1998
  • The effect of heat treatment conditions on the properties of tungsten(W) embolization coils has been evaluated. The W embolization coils were fabricated by coiling the primary W coil with a diameter of 30.mm on a alumina rod mandrel with a diameter of 2.92mm. The secondary coils were then heat treated at 475$^{\circ}C$and 600$^{\circ}C$ for various heat treatment time ranging from 5 minutes to 36hours. The pitch distance, diameter and shape retention capability of the W embolization coils were characterized after the heat treatment. The pitch distance of the W embolization coils increased with the heat treatment time. The diameter of W emboliazation coils decreased continuously with heat treatment time. The shape retention capability of the W embolization coils increased with the heat treatment time due to an increase in elasticity by formation of tungsten oxide film on W coil surface during the heat treatment. The heat treatment condition of W embolization Col at 600$^{\circ}C$ for 20 minute was considered desirable based on the optimization of the shape retention capability, pitch distance and secondary coil diameter after heat treatment.

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Effect of the Radiation Crosslinking and Heating on the Heat Resistance of Polyvinyl Alcohol Hydrogels (PVA 하이드로겔의 내열특성에 방사선 가교와 열처리가 미치는 효과)

  • Park, Kyoung Ran;Nho, Young Chang
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.16 no.3
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    • pp.354-360
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    • 2005
  • Polyvinyl alcohol (PVA) hydrogels were prepared by the irradiation and heating. Irradiation and heating processes were carried out to improve the heat resistance of PVA hydrogels at high temperature. The physical properties such as gel content, degree of swelling and gel strength for the synthesized hydrogels were examined. The structure variations were investigated using the following techniques: differential scanning calorimetry (DSC) and X-ray diffraction (XRD). Gel content and gel strength of the hydrogels were higher when the two steps of irradiation followed by heat treatment were used rather than only with the irradiation. The hydrogels prepared by the irradiation and the two steps had good heat resistance at high temperature.

Pd/Ge/Pd/Ti/Au Ohmic Contact for Application to AlGaAs/GaAs HBT (AIGaAs/GaAs HBT 응용을 위한 Pd/Ge/Pd/Ti/Au 오믹 접촉)

  • 김일호;박성호(주)가인테크
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.11 no.1
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    • pp.43-49
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    • 2002
  • Pd/Ge/Pd/Ti/Au ohmic contact to n-type InGaAs was investigated with rapid thermal annealing conditions. Minimum specific contact resistivity of $1.1\times10^{-6}\Omega\textrm{cm}^2$ was achieved after annealing at $400^{\circ}C$/10sec, and a ohmic performance was degraded at higher annealing temperature due to the chemical reaction between the ohmic contact materials and the InGaAs substrate. However, non-spiking planar interface and relatively good ohmic contact($high-10^{-6};{\Omega}\textrm{cm}^2$) were maintained. This ohmic contact system is expected to be a promising candidate for compound semiconductor devices.

Heat Treatment Effects of Staggered Tunnel Barrier (Si3N4 / HfAlO) for Non-volatile Memory Application

  • Jo, Won-Ju;Lee, Se-Won
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.196-197
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    • 2010
  • NAND형 charge trap flash (CTF) non-volatile memory (NVM) 소자가 30nm node 이하로 고집적화 되면서, 기존의 SONOS형 CTF NVM의 tunnel barrier로 쓰이는 SiO2는 direct tunneling과 stress induced leakage current (SILC)등의 효과로 인해 data retention의 감소 등 물리적인 한계에 이르렀다. 이에 따라 개선된 retention과 빠른 쓰기/지우기 속도를 만족시키기 위해서 tunnel barrier engineering (TBE)가 제안되었다. TBE NVM은 tunnel layer의 전위장벽을 엔지니어드함으로써 낮은 전압에서 전계의 민감도를 향상 시켜 동일한 두께의 단일 SiO2 터널베리어 보다 빠른 쓰기/지우기 속도를 확보할 수 있다. 또한 최근에 각광받는 high-k 물질을 TBE NVM에 적용시키는 연구가 활발히 진행 중이다. 본 연구에서는 Si3N4와 HfAlO (HfO2 : Al2O3 = 1:3)을 적층시켜 staggered의 새로운 구조의 tunnel barrier Capacitor를 제작하여 전기적 특성을 후속 열처리 온도와 방법에 따라 평가하였다. 실험은 n-type Si (100) wafer를 RCA 클리닝 실시한 후 Low pressure chemical vapor deposition (LPCVD)를 이용하여 Si3N4 3 nm 증착 후, Atomic layer deposition (ALD)를 이용하여 HfAlO를 3 nm 증착하였다. 게이트 전극은 e-beam evaporation을 이용하여 Al를 150 nm 증착하였다. 후속 열처리는 수소가 2% 함유된 질소 분위기에서 $300^{\circ}C$$450^{\circ}C$에서 Forming gas annealing (FGA) 실시하였고 질소 분위기에서 $600^{\circ}C{\sim}1000^{\circ}C$까지 Rapid thermal annealing (RTA)을 각각 실시하였다. 전기적 특성 분석은 후속 열처리 공정의 온도와 열처리 방법에 따라 Current-voltage와 Capacitance-voltage 특성을 조사하였다.

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Behavior of Oxygen pprecippitates during SIMOX SOI Fabrication and Their Influences to the Electrical ppropperty (SIMOX SOI 제조시 산소석출물의 거동과 전기적 특성에 미치는 영향)

  • 배영호;정욱진;김광일;권영규;조찬섭;이종현
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1992.02a
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    • pp.93-94
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    • 1992
  • 2X1018 ions/cmz at 180 keV and post-implantation annealing at 12500C for 6 hours in nitrogen ambient. The oxygen redistribution process during post-implantation annealing was examined by AES and TEM. The electrical property of the structure was investigated by SRP method. We could find oxygen precipitates in SOl layer after high temperature annealing. The influence of the precipitates to the electrical property of the SOl layer was discussed. And the Iimiting factor to the decrease of the precipi tates during post-implantation anneal ing was discussed also.

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열처리 채소의 MAP에 적합한 포장재 구명

  • 강준수;조학래
    • Proceedings of the Korean Society of Postharvest Science and Technology of Agricultural Products Conference
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    • 2003.04a
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    • pp.142.2-142
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    • 2003
  • 본 연구에서는 풋고추, 대파와 깻잎에 물리적인 장해를 주지 않고 저장성을 향상시킬 수 있는 열처리 조건을 설정하고, 열처리한 채소의 MAP에 적합한 포장재를 검색하기 위한 실험을 수행하였다. 대파를 55$^{\circ}C$ 온수에서 1분 침지하고, 풋고추와 깻잎은 5$0^{\circ}C$ 온수에서 10초와 5초 각각 침지하면 저장 중 관능적 품질이 비열처리한 대조구보다 우수하게 나타났다. 열처리한 채소의 호흡속도는 비열처리 채소에 비하여 30~45%정도 상승하였다. 열처리 채소의 MAP에 적합한 포장재를 검색하기 위하여 기체 투과도가 서로 다른 포장재 LDPE, CPP, PD900, MPD2055, SM60에 열처리한 채소를 포장한 후 1$0^{\circ}C$에서 4주간 저장을 하였다. 포장 표면에 5mm의 구멍을 뚫은 대조구와 핀홀이 있는 SM60은 저장 2주 이후 부터 중량감소가 심하게 일어났다. 깻잎은 포장내부의 $CO_2$ 농도가 높게 유지되는 CPP에 포장할 때, 저장 2주부터 $CO_2$ 장해로 인하여 표면의 갈변과 연화가 심하게 일어났으며, 풋고추는 저장 3주부터 표면의 색상이 약간 붉은 색을 나타내기 시작하였다. 열처리 풋고추와 깻잎을 MDPE 포장에 저장을 하면 각각 저장 4주와 3주까지는 시장품질의 한계선으로 신선도가 유지되었다. 그러나 대파는 포장 내부의 $CO_2$ 농도가 높은 CPP에 포장할 경우 발근이 억제되며 저장 4주까지 시장품질 이상을 유지하였다.

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The Effect of Synthetic Heat-treatment Temperatures on the Substitution Behavior of Lithium Ions in Potassium Tetratitanate (합성 열처리온도 변화가 Potassium Tetratitanate의 리튬 이온 치환거동에 미치는 영향)

  • 이재만;윤순길;이상훈;이재도
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.37 no.10
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    • pp.955-961
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    • 2000
  • 사티탄산칼륨을 리튬이온 전지의 양극재료로써 사용하고자 할 때 사티탄산칼륨의 합성 열처리 온도가 리튬이온 치환량에 미치는 영향에 대해 조사하였다. 사티탄산칼륨은 $K_2$O와 TiO$_2$의 몰 비를 1 : 3.91로 칭량하여 95$0^{\circ}C$, 100$0^{\circ}C$, 105$0^{\circ}C$에서 각각 합성하였다. 그 후, 사티탄산칼륨의 (Ti$_4$O$_{9}$ )$^{2-}$ 층간에 존재하는 $K^{+}$ 이온을 H$^{+}$ 이온으로 치환하고 이것을 다시 Li$^{+}$ 이온으로 치환하였다. 사티탄산칼륨의 합성 열처리 온도가 증가할수록 사티탄산칼륨의 (Ti$_4$O$_{9}$ )$^{2-}$ 층간의 거리가 감소했고 사티탄산칼륨의 길이가 증가했다. 95$0^{\circ}C$에서 열처리된 사티탄산칼륨의 리튬이온 치환량이 가장 많았다. 이는 상대적으로 낮은 합성 열처리 온도에서 사티탄산칼륨의 (Ti$_4$O$_{9}$ )$^{2-}$ 층간의 거리가 넓어져 리튬이온의 층간 이동이 쉬어졌고, 고온에서 열처리되어 길이가 긴 사티탄산칼륨에 비해 저온에서 열처리된 사티탄산칼륨은 길이가 짧아져 리튬이온이 (Ti$_4$O$_{9}$ )$^{2-}$ 층간으로 이동해 가는 거리가 짧아졌으며 아울러 짧은 사티탄산칼륨의 개수가 동일한 무게 당긴 사티탄산칼륨의 개수보다 많으므로 리튬이온의 치환량이 많아진다고 사료된다.

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The Properties of STS 630 Alloy by Plasma nitriding Treatment (플라즈마질화 처리에 따른 STS630합금의 특성)

  • Jeong, Yong-Ho;Song, Ho-Cheol;Jeong, Yeon-Ok
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2016.11a
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    • pp.138-138
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    • 2016
  • 의료용 공구로 사용되는 합금은 마르텐사이트계 스테인리스강의 대표 강종인 420스테인리스강이 사용되며, 이 합금은 고온의 오스테나이트 상태에서 ?칭하면 마르텐사이트 조직으로 변태하여 현저하게 경화하는 특징을 가지고 있으며, 오스테나이트화 후 템퍼링시 우수한 기계적 성질이 얻어진다. 그러나 템퍼링 온도의 영향으로 석출탄화물이 형성되어 기계적 성질이나 내식성이 저하되는 단점이 있다. 본 연구에서는 STS 420스테인리스강의 템퍼링 온도에 의한 내식성 문제점을 개선시키기 위해 STS630 합금을 사용하여 다양한 석출 열처리 조건 및 플라즈마 질화공정을 연구하였다. 구입한 소재의 균일한 성분 조정을 통한 미세 편석 및 물성부여를 위한 균질화 조건 도출 열처리를 실시하였으며, STS630의 고용화열처리는 오스테나이트 균일조직이 되는 온도영역으로 가열하여 급냉하는 것으로 마르텐사이트 변태시키는 열처리를 진행하였으며, 열처리온도는 $1020{\sim}1060^{\circ}C$로 설정하였다. 석출경화 열처리는 $460{\sim}480^{\circ}C$$500{\sim}520^{\circ}C$의 온도에서 실시, 제품에 따른 인성을 부여하였으며, 질화공정은 플라즈마 장비를 이용하여 플라즈마 가열 ${\rightarrow}$플라즈마 이온질화를 통하여 가장 최적의 공정을 도출하였다.- 질화가 마무리 된 시료는 내식성 및 물성 평가를 통해 제품으로서의 특성을 평가하였다. 석출경화 열처리에 의해 STS420합금에 버금가는 인장강도 및 경도값이 나타났으며, 플라즈마 질화에 따라 물성 값의 향상이 나타났다. 용출실험결과 STS420합금의 경우 Fe, Cr원소의 용출이 나타나며 변색이 형성되었으나 STS630합금의 경우 그 현상이 미미하였다.

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