• 제목/요약/키워드: 회전코팅

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폴리이미드를 감지막으로 한 마이크로 정전용량형 습도센서 (Micro humidity sensor with poly imide sensitive layer)

  • 신백균;조기선;박구범;육재호;박종관;임헌찬;지승한;김진식
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2005년도 제36회 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1898-1899
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    • 2005
  • 반도체 집적회로 공정에서 사용되는 폴리이미드 포토레지스트(P12723, Dupont)를 감습막으로 사용하는 마이크로 습도센서 소자를 제작하였다. 마이크로 습도센서는 실리콘 웨이퍼 기판 위에 $SiO_2$ 박막을 건식열산화 공정으로 제작하고, Al 박막을 포토리소그라피 공정으로 패터닝 한 IDT (Interdigital Transducer)를 전극 위에 폴리이미드 포토레지스트를 공정변수를 다양하게 조절하면서 감습막으로 제작하였다. 폴리이미드 감습막은 스핀코팅법으로 제작하였으며, 회전수를 조절하여 두께를 변화시켰다. 완성된 마이크로 습도센서 소자의 상대습도 변화$(10{\sim}90% RH)$에 따른 정전용량 값 변화를 항온항습조 내에서 다양한 온도에서 HP4192A Impedance Analyzer를 사용하여 조사함으로써, 폴리이미드 포토레지스트를 사용하는 마이크로 정전용량형 습도센서의 제작 가능성을 검토하였다. 폴리이미드 정전용량형 마이크로 습도센서는 다양한 인가 전원 주파수에서 기준 센서로 사용된 상용 Vaisala Hygrometer와 유사한 감습특성 및 응답특성을 보였다.

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과채류 접목시스템 개선 연구 (A Study on Performance Improvement of Fruit Vegetables Automatic Grafting System)

  • 강동현;이시영;김종구;박민정;손진관;윤성욱;안세웅;정인규
    • 생물환경조절학회지
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    • 제26권3호
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    • pp.215-220
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    • 2017
  • 접수 및 대목 줄기의 회전 절단으로 인한 접목 불량 발생 가능성에 대한 문제점을 해결하기 위하여 수학적 분석 및 고속카메라를 이용하여 실측한 결과 칼날 회전반경 50mm이고 줄기직경이 5mm 일 때, 깊이는 0.11mm인 것으로 계산되어 줄기부 곡면 절단에 따른 문제는 없을 것으로 사료된다. 또한 접목시스템에서 모종 줄기를 잡는 그립퍼의 최적 형상 설계를 위하여 실시한 모종 줄기 압축시험 결과 대목의 경우 0.8mm 이상, 접수의 경우 0.6mm 이상의 범위에서 줄기부를 압축 할 경우 이전 형상으로 완전히 복원되지 않는 것으로 조사되어 그립퍼 형상 설계 시 그럼퍼 간격 결정에서 고려해야 할 것으로 사료된다. 또한 접목시기인 토마토 모종의 경우 줄기의 휨이 평균 10도 전후 인 것으로 조사되어 접목불량이 발생할 가능성이 있으므로 이를 개선하기 위한 추가 연구가 필요할 것으로 사료된다. 최적핑거 형상 시험에서는 모서리핑거 형상이 핑거간 거리 조정을 통해 정확한 중앙점을 잡을 수 있는 것으로 조사되었다. 핑거간 거리는 접수와 대목에 대해 각각 2.5mm와 3.0mm로 설정하고 신축성 있는 재질을 이용하여 1mm 두께로 코팅을 하면 대부분의 모종 줄기를 상처없이 파지 할 수 있을 것으로 조사되었다.

실리카 에어로겔 박막의 극저 유전특성 (Ultralow Dielectric Properties of $SiO_2$ Aerogel Thin Films)

  • 현상훈;김중정;김동준;조문호;박형호
    • 한국세라믹학회지
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    • 제34권3호
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    • pp.314-322
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    • 1997
  • 극저 유전특성을 갖는 SiO2 에어로겔의 박막화의 층간 절연막으로써의 응용성이 연구되었다. 점도가 10~14cP인 SiO2 폴리머 졸을 이소프로판을 분위기 하에서 1000~7000m으로 p-Si(111) 웨이퍼 상에 스핀코팅한 습윤겔 박막을 25$0^{\circ}C$와 1160 psing 조건에서 초임계건조하여 0.5 g/㎤ 정도의 밀도(78% 기공율) 와 4000~21000$\AA$ 범위의 두께를 갖는 SiO2 에어로겔 박막을 제조하였다. 박막의 두께와 미세구조를 제어할 수 있는 주요 인자는 졸의 농도, 회전속도 및 습윤겔 숙성시간임을 알 수 있었다. SiO2 에어로겔 박막의 유전상수 값은 giga급 이상의 차세대 반도체 소자에 충분히 응용될 수 있을 정도로 낮은 2.0 정도이었다.

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수직형 소형정미기의 벼 도정 특성 -주축회전수, 롤러의 세라믹코팅길이, 이송스크루 피치의 최적 설계조건에 대하여- (Milling Characteristics of Vertical Small Scale Milling Machine for the Rough Rice -Optimum design conditions of main spindle speed, ceramic coating length of roller and feed screw pitch-)

  • 연광석;한충수;조성찬
    • Journal of Biosystems Engineering
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    • 제26권2호
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    • pp.177-188
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    • 2001
  • This research was carried out to examine the optimum design conditions of a vertical small-scale milling machine where the rough rice is processed directly into the white rice in one pass. Effects of the main spindle speed, feed screw pitch and ceramic coating length of the roller on various milling characteristics such as white rice processing capacity, electric energy consumption, rice temperature increase, broken rice ratio, moisture reduction, outlet force and crack ratio increase were studied. The results are as follows. 1. The maximum white rice processing capacity and the lowest crack ratio increase, were obtained from a machine with specification: main spindle speed of 970rpm having a feed screw pitch of 19㎜. 2. The minimum electric energy consumption was obtained with the main spindle speeds of 900 and 970rpm respectively having a feed screw pitch of 19㎜. 3. The rice temperature was increased as the feed screw pitch decreased and the main spindle speed increased. 4. Broken rice ratio was relatively low with the range of 0.8∼1.3%. 5. Moisture content loss was with the range of 0.05∼0.4%. 6. The highest outlet force was 0.72kg$\_$f/ with 900rpm of the main spindle speed and 19㎜ of the feed screw pitch and the lowest outlet force was 0.18∼0.34kg$\_$f/ with 970rpm of the main spindle speed and 16㎜ of the feed screw pitch. 7. The optimum design conditions for the vertical small-scale milling machine were obtained at 970rpm of the main spindle speed, 19㎜ of the feed screw pitch and 20㎜ of the ceramics coating length.

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세륨 옥사이드/실리카 복합입자 제조 및 특성분석 (Preparation and Characterization of Cerium Oxide/Silica Composite Particles)

  • 고서은;심종원;진병석
    • 공업화학
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    • 제29권4호
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    • pp.425-431
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    • 2018
  • UV 및 블루라이트를 차단하는 세륨 옥사이드 나노 입자와 다공성 실리카와의 복합입자를 건식 코팅 공정을 통해 제조하였다. 실리카와 세륨 옥사이드 간 혼합 비율과 메카노 퓨전 장치의 챔버 회전속도 등의 제조 조건을 달리하여 여러 복합입자를 만든 후, 입자 표면 형태를 SEM으로 관측 비교하고 XRF을 통해 복합입자의 조성을 분석하였다. 세륨 옥사이드를 실리카와 함께 복합입자로 만들어 물에 분산시키면 현탁 용액의 투명도가 높아지고 분산 안정성이 향상되었다. 또한 파우더의 유동성과 발림성이 개선되었다. 본 연구를 통해 세륨 옥사이드/실리카 복합입자가 자외선 및 블루라이트를 차단하는 기능성 화장품 소재로 사용 가능함을 확인하였다.

감광성 수용성 고분자를 이용한 Lipid 센서의 제조 (Fabrication of Lipid Sensor Utilizing Photosensitive Water Soluble Polymer)

  • 박이순;김기현;손병기
    • 센서학회지
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    • 제2권1호
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    • pp.35-40
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    • 1993
  • $Si_{3}N_{4}$ 박막의 코팅된 pH-ISFET의 게이트 부위 위에 lipase 효소를 고정화하여 FET(field effect transistor) 형지질(lipid) 센서를 제조하였다. 효소 고정화막 형성 물질로는 수용성 고분자인 polyvinyl alcohol(PVA)에 감광성기인 1-methyl-4-(formylstyryl) pyridinium methosulfate(SbQ)를 결합시킨 PVA-SbQ를 사용하였다. PVA-SbQ 수용액 (SbQ 1mole %, 10 wt%) $200{\mu}L$, bovine serum albumin (BSA) 7.5 mg, lipase 10 mg으로 구성 된 현탁액을 사용한 사진식각(photolithographic) 공정의 최적 조건은 피막의 상온 진공 건조 시간 45분, spin coater의 회전수 $5,000{\sim}6,000$ rpm, UV 노광시간 $20{\sim}30$초, 증류수 현상 시간 $30{\sim}40$초로 나타났다. 이렇게 구성된 지질 센서는 triacetin을 지질 시료로 하였을 때 $10{\sim}100$ mM의 농도 범위에서 직선성의 검정선을 나타내었다.

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이온빔 조사된 저온 소성 인듐 아연 산화막을 이용한 액정의 고속 스위칭 특성 연구 (Fast liquid crystal switching performance on indium zinc oxide films with low curing temperature via ion-beam irradiation)

  • 오병윤
    • 전기전자학회논문지
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    • 제23권3호
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    • pp.904-909
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    • 2019
  • $100^{\circ}C$에 소성한 인듐 아연 산화막 (IZO)을 이온빔 처리하여, 균일할 수평 액정 배향을 구현하였다. 유리 기판 위에 코팅된 IZO 박막을 $100^{\circ}C$에 소성하고 액정 배향 기술로 이온빔을 사용하였다. 이것을 이용하여 얻어진 액정 배향의 특성을 분석하기 위해서, 편광 현미경과 결정 회전법을 사용하였다. 또한 이온빔 처리된 IZO 박막을 이용하여 만든 액정 셀이 높은 품질의 액정 소자에 충분한 열적 안정성을 가진다는 것을 확인할 수 있었다. 그리고 전계방출 주사 전자 현미경을 이용하여 이온빔의 IZO 박막의 표면에 미치는 영향을 분석하였다. 이것을 통하여 이온빔이 IZO 박막 표면의 거칠기를 변화시키고, 액정 배향에 영향을 준다는 것을 확인할 수 있었다. 마지막으로 IZO 박막으로 제작한 액정 셀의 전기-광학 특성을 측정하였다. 그리고 이것이 기존에 사용되는 러빙법 처리된 폴리이미드 박막으로 제작한 액정 셀보다 뛰어난 특성을 가진다는 것을 확인하였다. 또한 액정 고정 에너지를 측정하여 이것이 균일한 액정 배향을 구현하기 위한 적합한 특성을 가진다는 것을 확인하였다.

실리콘 기반 타원편광계식 바이오센서를 이용한 심근경색 생체표지자의 실시간 초고감도 진단 농도 측정 (Real-time Highly Sensitive Measurement of Myocardial Infarction Biomarkers Using Silicon-based Ellipsometric Biosensors)

  • 민윤기;조현모;조재흥
    • 한국광학회지
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    • 제30권2호
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    • pp.59-66
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    • 2019
  • $2^{\circ}$ 기울어진 산화막 코팅 실리콘 기판의 바이오칩과 프리즘으로 제작한 바이오센서와 검광자 회전 타원편광계를 이용하여 심근경색 생체표지자인 미오글로빈과 cTnI의 진단 농도를 수백 초 내에 실시간 초고감도로 측정하는데 성공하였다. 러닝 버퍼로는 순수한 phosphate buffered saline (PBS) 또는 PBS에 10% 인간 혈청을 섞은 러닝 버퍼를 사용하였다. PBS 조건에서는 미오글로빈과 cTnI가 각각 1 ng/mL와 5 pg/mL로 측정되었으며, PBS에 인간 혈청을 10% 섞은 조건에서는 미오글로빈과 cTnI는 각각 1 ng/mL과 1 pg/mL로 측정되었다. 이러한 심근경색 생체표지자의 진단 농도는 현재 제시된 세계보건기구의 심근경색 진단 기준 농도보다 미오글로빈은 1/15배 낮고, cTnI는 1/80배 낮다.

점탄성요소 지지경계조건을 갖는 보/평판의 진동해석 (Vibration Analysis of Beam and Plate with Viscoelastic Supports)

  • 강기호;김광준
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 1995년도 춘계학술대회논문집; 전남대학교, 19 May 1995
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    • pp.153-158
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    • 1995
  • 보 및 평판의 진동에 대해서 에너지의 손실은 재료감쇠를 이용한 표면감쇠처리나 지지부에서의 감쇠처리에 의하여 증가될 수 있다. 감쇠재료를 이용한 표면감쇠처리의 예로서 보/평판 표면에 접착되는 감쇠 테이프나 코팅등은 아주 효과적임이 입증되었다. 마찬가지로 지지부 감쇠처리는 점탄성재료의 삽입에 의해서 설명될수 있다[1]. 보/평판의 감쇠에 대한 최근의 많은 연구들은 진동하고 있는 보/평판의 표면에 적용하는 감쇠 테이프 혹은 적층형태의 감쇠 처리방법에 대해서 주로 수행되었다. 일반적으로 표면감쇠처리방법은 진동감소에 아주 효과적이지만 실제 적용상에서 항상 가능한 것은 아니며, 이와 같은 경웨는 지지부 감쇠 처리방법에 의존하게 된다[2]. 감쇠특성을 갖는 점탄성재료를 실제로 적용할 때 보/평판의 유한한 길이가 점탄성재료로 지지되며 점탄성재료의 물성치와 치수에 따라서 계의 모우드 매개변수(고유진동수, 계의 손실계수 그리고 모우드형상)가 크게 달라진다. 그리고 이와 같은 계에 대해서는 지지부의 거동보다는 전체 시스템의 고유진동수와 손실계수 그리고 보 영역에서의 모우드 형상에 더 관심이 있으므로 지지부 영역을 집중매개변수(lumped parameter)로 나타내어 계를 해석할 수 있다. 일반적으로 보와 평판의 경계에서는 병진 및 회전방향의 강성 뿐만 아니라 두 강성사이에 연성효과도 동시에 발생하게 되므로 이 항을 고려하여 계를 모델링해야 한다. 본 연구에서는 우선 점탄성 재료에 의한 지지부영역의 등가 강성계수들을 구하고 경계에 강성행렬을 갖는 보의 등가시스템을 얻는다. 그리고 등가시스템의 주파수방정식으로부터 모우드 매개변수에 대한 지지부의 영향을 살펴본다. 또한 시스템이 비교적 복잡한 사각 평판의 진동에 대해서도 동강성행렬법(dynamic stiffness matrix method)을 이용하여 해석하고자 한다. 수준임이 입증되었다. 본 연구의 결과를 토대로우리나라 젊고 건강한 남성에게 적합한 무게상수는 작업자군에 대하여 25.05kg, 학생군에 대하여 20.24kg 으로 나타나 이는 미국 NIOSH 안전기준과 대체로 일치함을 발견하였다.ive structures utilized in Client/server architecture for distribution and cooperative processing of application between server and client this study presents two different data management methods under the Client/server environment; one is "Remote Data Management Method" which uses file server or database server and. the other is "Distributed Data Management Method" using distributed database management system. The result of this study leads to the conclusion that in the client/server environment although distributed application is assumed, the data could become centralized (in the case of file server or database server) or decentralized (in the case of distributed database system) and the data management method through a distributed database system where complete responsi

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가토의 대퇴골에 식립한 3종류의 수산화인회석 코팅 임플란트에 대한 제거회전력 비교 연구 (Comparative study of removal torque of 3 different hydroxyapatite coated implants in the femur of rabbits)

  • 김상수;이주형;유석현;이형주;문지원;박인숙;손동석
    • Journal of the Korean Association of Oral and Maxillofacial Surgeons
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    • 제37권1호
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    • pp.49-53
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    • 2011
  • Introduction: This study compared the strength of osseointegration as determined by the resistance to reverse torque rotation of three different hydroxyapatite coated implants in the rabbit femur model. Materials and Methods: Three hydroxyapatite coated implants (HAPTITE), Tapered Screw-Vent (TSV) and BioTite-H - were used. A total of 40 implants were placed in the femur of 20 adult male rabbits. The animals were divided into two groups. In group A (n=10); one HAPTITE was placed into each right femur and one TSV was placed into each left femur. In group B (n=10); one HAPTITE was placed into each right femur and one BioTite-H was placed into each left femur. Five rabbits of each group were sacrificed at 4 and 8 weeks. The implants were removed by reverse torque rotation using a digital torque-measuring device. A total of 40 implants in 20 rabbits were used for the removal torque measurements. Results: In the Group A, 4 weeks after implant placement, the mean removal torque for the HAPTITE and TSV was $70.7{\pm}31.6$ N cm and $28.9{\pm}15.1$ N cm, respectively. Eight weeks after implant placement, the mean removal torque for the HAPTITE and TSV was $87.9{\pm}26.2$ N cm and $54.9{\pm}22.4$ N cm, respectively. In the Group B, 4 weeks after implant placement, the mean removal torque for the HAPTITE and BioTite-H was $58.0{\pm}29.6$ N cm and $37.7{\pm}14.1$ N cm, respectively. Eight weeks after implant placement, the mean removal torque for the HAPTITE and BioTite-H was $91.4{\pm}47.1$ N cm and $30.8{\pm}9.8$ N cm. HAPTITE showed a higher removal torque than the other implants. Conclusion: These results suggest that HAPTITE increases the strength of osseointegration significantly as determined by the resistance to reverse torque rotation.