• Title/Summary/Keyword: 표면 패턴

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Development Trend of Ni-less Surface Treatment Technology for Semiconductor Packaging Substrates (반도체 패키지 기판용 Ni-less 표면처리 기술 개발동향)

  • Min-Kyo Cho;Jin-Ki Cho;Kyoung-Min Kim;Sung Yong Kim;Deok-Gon Han;Tae-Hyun Sung
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.30 no.1
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    • pp.49-54
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    • 2023
  • Recently, System in Packaging(SIP) technology needs to meet high frequency (5G and more) communication technology and fine pitch surface treatment. The conventional Electroless Ni/Immersion Au plating(ENIG) is not suitable for high frequency range because of magnetic properties are increasing the transmission loss. Without nickel plating layer, the pattern and pad reliability level must be meet the condition. In this review paper, we investigated research trends on Ni-less surface treatment technology for high-frequency communication and frequency characteristics according to materials.

A Study on the Effects of Surface Patterns on Droplet Impingement Behaviors (액적 충돌 거동에 대한 표면 패턴의 영향에 관한 연구)

  • Jeon, Min Kyeong;Kim, Doo-In;Kang, Shinill;Jeong, Myung Yung
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.23 no.4
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    • pp.107-112
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    • 2016
  • In this paper, the hydrophobic rough surfaces were prepared by employing a conventional nano-imprint lithography technique, and the effects of surface parameter, ratio of the top surface to the flat unit cell, on the impingement behaviors of liquid droplet were investigated to improve robustness of hydrophobic functionality. The critical height defined for the transition from rebound to fragmentation is measured by droplet impingement test in order to study dynamic behavior of an impinged droplet. It showed the critical height decreased with high surface parameter while it increased with low surface parameter. However, the critical height decreased again as surface parameter decreased further. Observed results suggest that the optimized surface pattern should be designed for the increased critical height.

Molecular dynamics study of redeposition effect by Ar ion bombardments on Au, Pd(001) (Ar이온 충돌에 의한 Au, Pd(001) 표면에서 재증착 효과의 분자동역학 연구)

  • Kim, S.P.;Kim, S.J.;Kim, D.Y.;Chung, Y.C.;Lee, K.R.
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.17 no.2
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    • pp.81-89
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    • 2008
  • Atomic behavior during ion beam sputtering was investigated by using classical molecular dynamics simulation. When Ar ion bombards on Au and Pd(001) surface with various incidence energies and angles, some atoms which gained substantial energy by impacting Ar ion were sputtered out and, simultaneously, others were landed on the surface as if surface atoms were redeposited. It was observed that the redeposited atoms are five times for Au and three times for Pd as many as sputtered atoms irrespective of both incidence energy and angle. From sequential ion bombarding calculations, contrary to the conventional concepts which have described the mechanism of surface pattern formation based only on the erosion theory, the redeposition atoms were turned out to play a significant role in forming the surface patterns.

Preparation of binder-free IrO2-RuO2/TiO2 nanotube electrode for DSA application. (DSA 활용을 위한 바인더를 사용하지 않은 IrO2-RuO2/TiO2 나노튜브 전극 제조)

  • Yu, Hyeon-Seok;Choe, Jin-Seop
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.28-28
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    • 2018
  • 수전해(electrochemical water splitting)는 연료전지의 가역적 역반응을 이용하여 물로부터 수소와 산소를 발생시키는 기술이다. 산소는 음극에서 발생하는데, 이 때 음극 표면은 고농도의 산소 음이온 및 라디칼에 장시간 노출된다. 때문에 기계적, 화학적 내구성이 우수한 전극재를 사용할 필요가 있다. 불용성 전극 (dimensionally stable anode, DSA)은 이러한 기술적 요구사항을 잘 만족하는 상용화 된 전극이다. 티타늄이나 티타늄 합금 표면에 촉매를 미량 반복 살포하여 산화물 형태의 매우 견고한 표면을 형성함으로서 내구성을 확보한다. 그러나, 보통 DSA 제조 기법의 특징에 따라 다공성 표면 구조를 사용하지는 않기 때문에 생산 과정이 복잡하고 비용이 많이 발생하는 문제를 여전히 나타내고 있다. 본 연구는 상기 문제를 개선하기 위한 수전해용 음극 제조 기술에 관한 연구이다. 티타늄과 티타늄 합금은 동일한 양극산화 기술 적용이 가능하다는 점을 이용하여 티타늄 기판으로부터 다공성 구조를 형성함으로써 바인더의 사용을 배제하였다. 단일공정양극산화기법 (single-step anodization)을 이용하여 $IrO_2$$RuO_2$를 도핑함으로써 TiO2에 촉매능을 부여하였다. 제조된 나노튜브들의 구조적 특징을 HR-TEM (High-resolution transmission electron microscope)과 FE-SEM (Field-emission scanning electron microscope)으로 분석하고 SAED (selective area electron diffraction) 패턴을 분석하여 전극재의 결정성을 확인하였다. 알칼라인 분위기에서 일으킨 산소발생반응 (oxygen evolution reaction, OER)의 LSV (linear sweep voltammetry) 결과를 XPS (X-ray photoelectron microscoscopy) 결과와 연관지어 촉매 표면 구조와 과전압의 관계를 해석하였다. LSV 결과로부터 Tafel 분석을 연달아 수행함으로써 전극의 속도결정단계를 정의하였다. 최종적으로 사이클 테스트 통하여 DSA로써의 성능을 평가하였다.

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Nano-mechanics 분석을 기반으로 Sol-gel PZT 박막의 Plasma에 의한 물리적 특성 변화 연구

  • Kim, Su-In;Kim, Seong-Jun;Gwon, Gu-Eun;Kim, Hyeon-Seok;Eom, Eun-Sang;Park, Jun-Seong;Lee, Jeong-Hyeon;Lee, Chang-U
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.216.1-216.1
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    • 2013
  • PZT 박막은 강유전 특성과 압전소자 특성을 나타내는 물질로 DRAM (dynamic random acess memory)과 FRAM (ferroelectric RAM) 등의 기억소자용 capacitor와 MEMS (micro electro mechanical system) 소자의 압전 물질로 사용하기 위한 연구가 진행중에 있다. 하지만 이러한 연구에서는 PZT 박막의 전기적 특성 향상을 주목적으로 연구가 진행되어 왔다. 특히, 박막 공정중 발생하는 plasma에 의한 PZT의 전기적 특성 변화가 박막 표면의 물리적 변화에 기인할 것으로 추정하고 있지만 이에 대한 구체적인 연구는 미비하다. 이 연구에서는 plasma에 의한 PZT 박막 표면의 물리적 특성 변화를 연구하기 위하여 PZT 박막을 sol-gel을 이용하여 Si 기판위에 약 100 nm의 두께로 증착하였으며, 이후 최대 300 W의 Ar plasma로 plasma power을 증가시켜 각각 10분간 plasma처리를 실시하였다. PZT 박막 표면의 nano-mechanics 특성을 분석하기 위하여 Nano-indenter와 Kelvin Probe Force Microscopy (KPFM)을 사용하여 surface hardness, surface morphology를 확인하였고 특히, surface potential 분석을 통하여 PZT 박막 표면의 plasma에 의한 박막 극 표면의 전기적 특성 변화를 연구하였다. 이 연구로 plasma에 의한 PZT 박막은 표면으로부터 최대 43 nm 깊이에서의 hardness는 최대 5.1 GPa에서 최소 4.3 GPa의 분포로 plasma power 변화에 의한 특성은 측정 불가능하였다. 이는 plasma에 의한 영향이 시료 극 표면에 국한되어 나타나기 때문으로 추정되며 이를 보완하기 위하여 surface potential을 분석하였다. 결과에 의하면 plasma power가 0 W에서 300 W로 증가함에 따라 potential이 30 mV에서 -20 mV로 감소하였으나 potential의 분산은 100 W에서 최대인 17 mV로 측정되었으며, 이때 RMS roughness역시 가장 높은 20.145 nm로 측정되었다. 특히, 100 W에서 potential에서는 물결 모양과 같은 일정한 패턴의 potential 무늬가 확인되었다.

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Design of Reduced Shear Stress with High-Viscosity Flow Using Characteristics of Thin Film Flow on Solid Surfaces (완전접촉 경계면 위의 박막유동 특성을 이용한 고점도 전단유동에 따른 표면응력 감소 설계)

  • Park, Boo Seong;Kim, Bo Hung
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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    • v.38 no.12
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    • pp.1027-1034
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    • 2014
  • The shear stress on a surface due to the thin film fluid flow is an important issue. In case of a rotating disk, the fluid is delivered to the edge of the disk by centrifugal force, which acts as a body force on the fluid. Wear of a surface is affected by the shear stress acting on the surface and curvature. In this study, we utilize computational fluid dynamics software to model the ratio of curvature and local shear stress on solid surfaces. The key goal of the study is to determine an optimized curvature for the thin film fluid flow on a solid surface in order to minimize the local shear stress affecting the wear of this surface. Our results on the effects of curvature will be utilized for the design of devices that utilize thin film fluid flow on a solid surface, such as rotating-disk spray systems and thin film coating.

Analysis on uncertainty in Probable Maximum Precipitation estimation with the pseudo-adiabatic assumption (위단열 가정을 기반한 가능최대강수량 산정의 불확실성 분석)

  • Kim, Youngkyu;Son, Minwoo;Kim, Sunmin;Tachikawa, Yasuto
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2022.05a
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    • pp.58-58
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    • 2022
  • 본 연구는 수분최대화방법(Moisture-maximizing method)를 기반으로 PMP(Probable Maximum Precipitation)을 산정하는 방법론을 평가하는 것을 목적으로 수행되었다. 수분최대화 방법은 특정 호우사상의 대기 수분 조건을 극대화하여 PMP 를 산정한다. 여기서, 대기 수분 조건은 대기 표면부터 상층부의 총 수분량으로부터 얻어지는 가강수량(Precipitable water, PW)으로 표현된다. PW 는 라디오존데로부터 직접 관측 및 수집되지만, 장기간 수집이 어렵고, 수집된 자료는 다수의 이상치 및 결측치를 포함한다. 이에 따라, WMO(World Meteorological Organization)에서는 표면 이슬점을 이용하여 위단열 가정(Pseudo-adiabatic assumption)하에PW 를 간접적으로 산정하는 방법론을 기반한 PMP 산정을 권고한다. 본 연구는 일본의 다수의 지역을 대상으로 실제 PW 를 이용하는 방법과 표면 이슬점을 이용하는 방법을 기반으로 산정된 수분최대화방법의 변수들의 편차를 분석하였다. 그 결과, 따듯한 기후 특성을 나타내는 일본의 남부지역은 두 방법의 편차가 매우 작았지만, 추운 기후 특성을 나타내는 일본의 북부지역은 표면 이슬점으로 산정된 PW 가 실제 PW 에 비해 과소 산정되어 PMP 를 과대 산정시켰다. 특히, 이불확실성은 호우 발생 시 표면 이슬점이 18℃ 이하일 때, 두드러지게 나타났다. 본 연구는 이불확실성을 밝히기 위해 실제 라디오존데로부터 관측된 대기 상층부의 대기 프로파일 검토하였다. 그 결과, 표면에서 가까운 대기 상층부의 위치에서 불규칙적으로 이슬점이 증가하는 패턴을 나타냈지만, 위단열 가정은 이를 묘사하기 어려웠다. 이는 결국 실제 PW 에 비해 이슬점을 이용하여 산정된 PW 가 과소 산정되는 결과로 이어졌다. 결과적으로, 호우 발생 시 표면 이슬점이 18℃ 이하로 낮은 지역에서 산정된 PW 를 적용하는 수분최대화방법으로 산정된 PMP 는 낮은 신뢰도를 나타낸다.

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Development of Diagnosis Application for Rail Surface Damage using Image Analysis Techniques (이미지 분석기법을 이용한 레일표면손상 진단애플리케이션 개발)

  • Jung-Youl Choi;Dae-Hui Ahn;Tae-Jun Kim
    • The Journal of the Convergence on Culture Technology
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    • v.10 no.2
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    • pp.511-516
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    • 2024
  • The recently enacted detailed guidelines on the performance evaluation of track facilities presented the necessary requirements regarding the evaluation procedures and implementation methods of track performance evaluation. However, the grade of rail surface damage is determined by external inspection (visual inspection), and there is no choice but to rely only on qualitative evaluation based on the subjective judgment of the inspector. Therefore, in this study, we attempted to develop a diagnostic application that can diagnose rail internal defects using rail surface damage. In the field investigation, rail surface damage was investigated and patterns were analyzed. Additionally, in the indoor test, SEM testing was used to construct image data of rail internal damage, and crack length, depth, and angle were quantified. In this study, a deep learning model (Fast R-CNN) using image data constructed from field surveys and indoor tests was applied to the application. A rail surface damage diagnosis application (App) using a deep learning model that can be used on smart devices was developed. We developed a smart diagnosis system for rail surface damage that can be used in future track diagnosis and performance evaluation work.

BGA Deveop Process Optimization for the Vertical Wet Equipment Using Taguchi Experiment (다구찌 방법을 이용한 BGA 현상 공정용 수직 습식 장비의 공정 최적화)

  • Ryu, Sun-Joong
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.18 no.4
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    • pp.310-317
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    • 2009
  • Vertical wet equipment for the BGA develop process was newly developed substituted for conventional horizontal wet equipment. The benefits of vertical equipment are that the pattern damages generated by the collision between the patterns and transferring rollers can be eliminated because the direct contact between the equipment's transferring units and the soft dry film patterns does not occurs. Taguchi experiment was conducted to optimize the process characteristics for the vertical equipment. The experiment was organized as the smaller the better problem which includes adequate uncontrollable factor and controllable factors. The uncontrollable factors are the 4 sides of two panels which are loaded to the equipment at the same time. By the analysis of the experiment, temperature of the develop chemicals and develop spraying time are analyzed as the main controllable factors. Finally, line pattern's minimum width which is not damaged for the develop process was improved from $13.8{\mu}m$ for the horizontal equipment to $10.4{\mu}m$ for the vertical equipment. And dot pattern's minimum width is improved from $22.1{\mu}m$ to $16.3{\mu}m$.

Comparison of Mechanical Properties on Helical/Hoop Hybrid Wound HNT Reinforced CFRP Pipe with Water Absorption Behavior (CFRP 파이프의 와인딩 적층 패턴 설계 및 HNT 나노입자 보강에 따른 수 환경에서의 기계적 물성 평가)

  • Choi, Ji-Su;Park, Soo-Jeong;Kim, Yun-Hae
    • Composites Research
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    • v.34 no.3
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    • pp.174-179
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    • 2021
  • Currently, fluid transfer steel pipes take a lot of time and expense to maintain all facilities due to new construction and painting or corrosion and aging. Therefore, this study was conducted for designing a CFRP pipe structure with high corrosion resistance and chemical resistance as a substitute for steel pipes. The helical/hoop pattern was cross-laminated to improve durability, and HNT was added to suppress the moisture absorption phenomenon of the epoxy. The HNT/CFRP pipe was manufactured by a filament winding process, and performed a mechanical property test, and a moisture absorption test in distilled water at 70℃. As a result, the highest bending strength was obtained when the hoop pattern was laminated with a thickness equivalent to 0.6% of the pipe. The 0.5 wt% HNT specimen had the highest moisture absorption resistance. Also, the delamination phenomenon at the interlayer interface was delayed, resulting in the lowest strength reduction rate.