• 제목/요약/키워드: 표면형상측정

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Thin film thickness profile measurement using white light scanning interferometry (백색광 주사 간섭법을 이용한 박막의 두께 형상 측정법)

  • 김기홍;김승우
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.10 no.5
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    • pp.373-378
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    • 1999
  • White light scanning interferometry is increasingly used for precision profile metrology of engineering surfaces, but its current application is primarily limited to opaque surfaces with relatively simple optical reflection behaviors. In this paper, a new attempt is made to extend the interferometric method to the thickness profile measurement of transparent thin film layers. An extensive frequency domain analysis of multiple reflection is performed to allow both the top and bottom interfaces of a thin film layer to be measured independently at the same time using nonlinear least squares technique. This rigorous approach provides not only point-by-point thickness probing but also complete volumetric film profiles digitized in three dimensions.

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Effect of bath type on shape and properties of dendritic Cu powder (전기도금욕 종류가 수지상 구리 분말의 형상 및 물성에 미치는 영향에 관한 연구)

  • Park, Da-Jeong;Park, Chae-Min;Kim, Yang-Do;Lee, Gyu-Hwan
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2015.05a
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    • pp.148-149
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    • 2015
  • 본 연구에서는 전기 도금법을 이용하여 수 마이크로미터(${\mu}m$)에서 수십 마이크로미터 크기의 수지상(dendrite) 구리분말을 제조하였다. 구리 도금욕의 종류($Cu_2P_2O_7$, $CuSO_4$, $CuCl_2$), 인가 전위(E, Volt) 및 기판에 따른 수지상(Dendrite)의 형상적인 특성이 비교되었으며, 형상에 따른 겉보기밀도와 비표면적 측정(BET)이 진행되었다. 수지상의 2차 가지길이와 주축길이의 비(ratio)를 형상의 차이로 분류한 결과 염화구리 도금욕에서 0.14 로서 가장 큰 값을 가지며 겉보기 밀도는 $1.04g/cm^3$로 가장 낮은 값을 보였다.

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Effect of chemical etchant on the material properties of ZnO:Al front electrodes and the cell performance of silicon thin film solar cells (화학적 식각조건에 따른 ZnO:Al 투명전도막 특성분석 및 실리콘 박막 태양전지 효율변화 연구)

  • Kim, JungJin;Cho, Jun-Sik;Lee, Ji Eun;Jang, Ji Hun;Cho, Yong Soo;Park, Joo Hyung;Song, Jinsoo;Lee, Jeong Chul
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2011.05a
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    • pp.130.2-130.2
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    • 2011
  • 본 연구에서는 RF magnetron sputtering을 이용하여 실리콘 박막 태양전지용 ZnO:Al 전면전극을 제작하고 다양한 식각조건에 따른 ZnO:Al 박막의 표면형상 변화와 함께 전기적 및 광학적 특성 변화를 조사하였다. pin 구조를 갖는 실리콘 박막 태양전지의 효율 향상을 위해서는 입사광의 산란효과에 따른 광포획 증가가 필수적이며 이를 위하여 ZnO:Al 전면전극의 표면텍스처링 형성이 필요하다. 식각용액으로는 HCl과 HF 등을 사용하였으며 식각용액 농도 및 식각시간을 변화시켰다. 식각 후의 ZnO:Al 박막의 표면형상은 SEM(Scanning Electron Microscope)과 AFM(Atomic Force Microscope)을 이용하여 분석을 하였고, UV-visible-nIR spectrometer를 이용하여 총 투과도 및 산란 투과도를 측정하였다. 이 외에도 four-point probe 및 Hall measurement를 이용하여 전기적 특성 변화를 조사하였다. 다양한 식각조건에 따라 제조된 ZnO:Al 박막 위에 실리콘 박막 태양전지를 제작하여 전면전극의 표면형상에 따른 태양전지 성능변화를 비교 분석하였다.

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Surface profile measurement with optically trapped micro-particles (광포획된 마이크로 입자를 이용한 표면형상 측정)

  • 주지영;김준식;김승우
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2001.02a
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    • pp.116-117
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    • 2001
  • 정밀 삼차원 미세 형상 측정기에서 성능의 관건은 고속, 고분해능으로 측정하는 것이다. 그러기 위해서는 공진주파수가 높아야 하고 스프링 상수가 작아야 한다. 광포획 현미경(optical trap microscope, OTM)은 광포획 된 마이크로 입자를 프로브로 사용하는 것으로 입자에 작용하는 복원력이 광에 의한 힘뿐이므로 스프링 상수가 낮다. 또한 공진주파수는 f=√k/m 으로 입자의 질량이 매우 작으므로 공진주파수도 비교적 높다. (중략)

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Theory and Application of Near-field Scanning Optical Microscope (광근접장 현미경의 원리 및 응용)

  • 윤형길;이준희;권대갑
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.17 no.6
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    • pp.46-52
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    • 2000
  • 산업사회가 발전하면서 초정밀 분야의 측정기술 또한 시대적 요구에 걸맞게 발전을 거듭하고 있다. 광을 이용한 측정기술에 있어서 보다 작은광 스팟의 구현은 높은 분해능을 위해서 필수 불가결한 조건이며, 광 기록분야에 있어서는 높은 기록밀도를 위해 핵심적인 기술이다. 하지만 스팟의 직경은 광의 회절한계(diffraction limit)에 의한 최소치를 갖는다. 예로서, 측정을 위한 광학 현미경 중 현재 일반적으로 널리 쓰이는 고배율 광학 현미경(high resolution optical microscope)은 측정 대상 표면에 물리적 손상을 주지 않으며, 측정 범위가 크고, 값이 싼 장점이 있다.(중략)

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A Study on Optical Properties of Aspheric Glass Lens using DLC Coated molding core (성형용 코어면 DLC 코팅에 의한 비구면 Glass렌즈 광학적 특성에 관한 연구)

  • Kim, Hyeon-Uk;Jeong, Sang-Hwa;Cha, Du-Hwan;Lee, Dong-Gil;Kim, Sang-Seok;Kim, Hye-Jeong;Kim, Jeong-Ho
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2007.07a
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    • pp.243-244
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    • 2007
  • 본 연구에서는 성형용 코어 가공에서 초경합금(WC, Co 0.5%)의 초정밀 가공특성을 파악하기 위하여 다이아몬드 휠의 메시, 주축 회전속도, 터빈 회전속도, 이송속도 및 연삭깊이에 따른 표면거칠기를 측정하여 최적연삭조건을 규명하였다. 규명된 최적연삭가공조건을 활용하여 페러렐 연삭법으로 초정밀 연삭가공을 수행하였다. 연삭가공은 초정밀가공기(ASP01, Nachi-Fujikoshi Co., Japan)를 사용하였다. 최종 정삭가공을 수행한 비구면 성형용 코어의 형상측정결과 형상정도(PV; ${\varphi}$ 3.0mm) 0.15${\mu}m$(비구면), 0.10${\mu}m$(평면)으로 3M급 이상의 고화질 카메라폰에 채용되고 있는 비구면 Glass렌즈 양산용 성형용 코어 규격에 만족한 결과로서 본 연구에 수행된 초정밀 가공조건 및 측정방법이 매우 유효함을 알 수 있었다. 형상정도(PV) 및 표면조도(Ra) 측정은 초정밀 자유곡면 측정기(UA3P, Panasonic Co., Japan)와 3차원 표면조도 측정기(NewView5000, Zygo Co., USA)를 각각 사용하였다. 초정밀 가공된 성형용 코어면에 이온증착법을 활용하여 DLC 코팅을 수행하였다. 코팅 전후의 성형용코어를 활용하여 Glass소재(K-BK7, Sumita Co., Japan)를 최적의 성형조건(성형온도, 압력, 냉각속도)으로 성형하였다. DLC 코팅과 성형은 DLC 코팅기(NC400, Nanotech Co., Japan)와 Glass렌즈 성형기(Nano Press-S, Sumitomo Co., Japan)을 각각 사용하였다. Fig. 1은 초정밀 연삭가공, DLC 코팅막 구조, 코팅된 성형용 코어, 그리고, 성형된 비구면Glass렌즈를 각각 나타낸다.

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A Numerical Method for Determining Surface Tension of Sessile Drop (Sessile Drop의 형상으로부터 수치계산에 의한 표면장력 측정)

  • ;Takayoshi Iseki
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.33 no.12
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    • pp.1325-1330
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    • 1996
  • A new numerical method for determining the surface tension of a liquid drop by experimental measurement of the contour of the sessile drop is explained. in the present method a very simple and short computer program enables the calculation of surface tension in a few seconds even by a low speed personal computer. It need not the use of any other numerical tables or complex techniques. X and Z-corrdinates at one point on the contour of a sessile drop and the tangential angle at that point are all the data needed when the density of the drop is known. The results were compared with the values derived by a conventional method. This method can be used for the confirmation of measuring accuracy. Also the same concepts can be applied for the pendant drop method by changing only the sign of Z-coordinate from "+" to "-"ot; to "-"ot;-"quot.

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A Study on the Applicability of Numerical Analysis for the SASW Method (SASW 기법에 대한 수치해석 적용성 연구)

  • 김동수;윤종구;이병식;박형춘
    • Journal of the Korean Geotechnical Society
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    • v.17 no.1
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    • pp.67-76
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    • 2001
  • 현장지반의 최대전단탄성계수를 신속하고 합리적으로 구할 수 있는 표면파기법에 대해 유한요소법을 이용하여 시뮬레이션 할 경우 적용할 수 있는 효율적인 해석조건에 대한 연구를 수행하였다. 본 연구결과 파의 전파형상을 효율적으로 묘사하기 위하여는 관심 있는 최소 파장에 대한 유한요소 크기의 비가 매우 중요한 요소임을 확인하였고, 데이터의 측정시간간격도 중요한 요소임을 확인하였다. 또한, 유한요소해석을 이용하여 얻은 반무한체 시스템과 2층 시스템의 분산곡선과 이론적 분산곡선이 비교적 잘 일치함을 볼 수 있었다. 따라서, 유한요소해석을 적절히 적용하는 경우에 표면파기법을 효과적으로 시뮬레이션 할 수 없음을 확인하였다. 현장지반의 최대전단탄성계수를 신속하고 합리적으로 구할 수 있는 표면파기법에 대해 유한요소법을 이용하여 시뮬레이션 할 경우 적용할 수 있는 효율적인 해석조건에 대한 연구를 수행하였다. 본 연구결과 파의 전파형상을 효율적으로 묘사하기 위하여는 관심 있는 최소 파장에 대한 유한요소 크기의 비가 매우 중요한 요소임을 확인하였고, 데이터의 측정시간간격도 중요한 요소임을 확인하였다. 또한, 유한요소해석을 이용하여 얻은 반무한체 시스템과 2층 시스템의 분산곡선과 이론적 분산곡선이 비교적 잘 일치함을 볼 수 있었다. 따라서, 유한요소해석을 적절히 적용하는 경우에 표면파기법을 효과적으로 시뮬레이션 할 수 없음을 확인하였다.

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Proposal of Empirical Formula for Bedform Size on West Coast of Korea (서해안의 해저표면형상 예측 경험식 제안)

  • Kim, Hyoseob;Yoo, Hojun;Jang, Changhwan
    • Journal of Wetlands Research
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    • v.14 no.4
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    • pp.457-469
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    • 2012
  • Bedform data at 4 shallow zones in the Yellow Sea where waves as well as tidal range are high and bed material is relatively coarse were collected and analyzed here. Water depths in the study area where the bedform data were collected are 10 ~ 65 meters, and ripple lengths well developed are between 6 ~ 13 meters. Existing empirical formula for prediction of ripple length as for coexistence of waves and currents include Khelifa and Ouellet(2000) and Soulsby(2005), both of which have been based on laboratory measurements, or field measurements at different physical environment from the Yellow Sea with respect to tidal range, wave strength, and bed material. New scaling factors are proposed here for better prediction of the ripple length on coastal zone in the Yellow Sea.

Oblique Angle Measurements of Flood Velocities Using Microwave Water Surface Current Meter (홍수유속의 전자파표면유속계를 이용한 편각측정)

  • Kim, Young-Sung;Koh, Deuk-Koo
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.1807-1811
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    • 2009
  • 홍수기 유량측정에 있어서 가장 큰 어려움이었던 유속측정의 정확성을 확보하고 실무자의 안전성을 보장하기 위한 기본 취지에서 1993년 시작된 "대하천 유량 자동측정 설비개발"이라는 연구 주제하에 비접촉식 유속측정 기법에 대한 연구를 수년간 연구개발을 거듭한 결과물인 전자파표면유속계를 1999년도에 상품화하여 현재 국내에서 홍수유속측정 설비로 이용되어지고 있다. 현장에서 유량측정업무에 종사하는 실무자들은 홍수유량측정에 비하여 훨씬 간편함을 몸소 느끼게 되었고, 상품화보급이 시작된지 수년이 지난 상태에서는 더욱 성능이 개선된 전자파표면유속계가 개발되기를 기대하였다. 무엇보다도 홍수기에 유량측정시 기존의 유속측정 방법과 같은 방식으로 각 측선마다 전자파표면유속계를 설치해야하는 번거로움을 피력하였다. 기존의 전자파표면유속계는 하천을 가로지르는 교량위에서 흐름방향에 나란히 측정하는 조건을 고려하였기 때문에 이와 같은 편각인 상태의 유속측정은 검토하지 않았다. 이와 같은 사용자의 요구에 대하여 한국수자원공사에서는 홍수기 유량측정시의 사용자 편의성을 증대하기 위하여 성능개선 작업에 착수하여 편각측정용 전자파표면유속계를 개발하였다. 편각측정의 주된 목적은 전자파표면유속계를 모든 측선에 설치하지 않고 한 지점에서 편각(oblique angle)으로 여러 측선의 유속을 측정함으로써 유속측정의 효율성을 증대시키는 것이다. 전자파표면 유속계에서의 편각 측정은 하천의 유속 방향을 기준으로 정면에서 측정하면 수평 편각이 0도가 되며 좌우로 안테나를 회전하여 움직인 각도가 측정 편각으로 결정된다. 전자파의 물리적 특성 때문에 편각이 증가하면 반사된 신호의 수신 크기가 감소하여 측정이 불가능하게 된다. 이러한 문제를 최대한 극복하는 것이 본 연구의 중점 개선사항이다. 이를 통하여 전자파표면유속계를 교량의 임의 지점에 설치하여 좌우로 편각 $20^{\circ}$에 이르는 범위의 유속을 측정하고자 목표로 하였다. 홍수시의 현장 측정 환경은 열악하기 때문에 정확한 측정을 조건으로 측정자에게 최대한의 편리함과 신속한 측정 환경을 제공해야 효과적인 업무수행이 가능하다. 이러한 편각 측정을 가능토록 하기 위해서는 유속측정시 송신되는 전자파의 출력을 기존의 시스템보다 보다 높게 발사하여야 하며 안테나의 수신감도 및 지향성이 개선되어야 한다. 이를 위해서 안테나 형태에 있어 기존 전자파표면유속계와의 차이점은 기존안테나는 파라볼릭 형상이었으나 신규 제작된 안테나는 평면안테나로 이러한 형태의 개선를 통해 안테나 특성 및 구조적인 차이를 유도하였다. 두 가지 안테나 사양 각각 장단점이 있으나 가장 큰 차이점은 빔폭 특성에서 평면 안테나가 우수하며 수신 감도를 향상시킬 수 있다는 강점이 있다. 특히 Tx/Rx 분리의 평면안테나 구조는 파라볼릭 안테나에서 불가능한 기능으로서 편각측정으로 인한 수신감도의 저하의 문제를 해결하기 위한 개선조치이었다. 성능개선 제작된 편각측정용 전자파표면유속계를 이용하여 일반하천의 홍수유속에 대한 편각측정 실험을 안성천에서 실시한 결과 유속 약 1.7 m/s 인 상황에서 편각 $20\;^{\circ}$ 까지 편각 $0\;^{\circ}$일때와 유사한 측정 성능을 보였다.

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