• 한국정밀공학회지
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• 제21권6호
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• pp.28-34
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• 2004

The old technique of sandblasting which has been used for decoration of glass surface has recently been developed into a powder blasting technique for brittle materials such as glass, silicon and ceramics, capable of producing micro structures larger than 100${\mu}{\textrm}{m}$. In this study, we introduced oblique powder blasting, and investigated the effect of the impacting angle of particles, the scanning times and the stand-off distance on the surface roughness and the weight-loss rate of samples with no mask, and the wall profile and overetching of samples with different mask pattern in powder blasting of soda-lime glass. The varying parameters were the different impact angles between 50$^{\circ}$ and 90$^{\circ}$, scanning times of nozzle up to 40 and the stand-off distances 70mm and 100mm. The widths of mask pattern were 0.2mm, 0.5mm and 1mm. The powder was alumina sharp particles, WA #600. The mass flow rate of powder during the erosion test was fixed constant at 175g/min and the blasting pressure of powder at 0.2Mpa.

• 대한치과보철학회지
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• 제48권4호
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• pp.251-258
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• 2010

연구 목적: 이 연구의 목적은 표면처리방법이 지르코니아와 네 종류의 시멘트의 전단결합 강도에 미치는 영향을 평가하는 것이다. 연구 재료 및 방법: 총 120개의 디스크 모양의 산화 지르코늄 (3Y-TZP, Kyoritsu, Tokyo, Japan) 시편을 다음과 같이 표면처리 하였다: (1) $110\;{\mu}m$ 산화 알루미나 분사처리 (2) Silica coating ($Rocatec^{TM}$ 3M ESPE)를 이용한 표면처리 (3) 처리하지 않음. 각각의 표면 처리 후, 2종의 자가 접착형 시멘트 (RelyX Unicem, Maxcem)와 레진 강화 글라스 아이오노머 시멘트 (RelyX Luting), Bis-GMA 레진 시멘트 (Nexus3)를 시편에 부착하였으며 각 군은 UTM을 이용하여 전단결합강도를 측정하였다. 표면처리, 시멘트의 종류에 따른 결합강도의 차이를 살펴보기 위하여 일원변량분석 (One-way ANOVA)과 이원변량분석 (two-way ANOVA)을 이용하고 사후 분석으로 Tukey HSD test를 실시하였다. 결과: 로카텍 처리 후, RelyX Unicem을 부착한 군이 가장 높은 결합 강도를 보였으며 (P<.05) 알루미나 분사처리를 한 군과 로카텍 처리를 한 군은 아무런 처리를 하지 않은 군보다 유의하게 높은 결합 강도를 보였다 (P<.05). 또한 모든 표면상태에서 RelyX Luting은 다른 군에 비해 통계적으로 유의하게 가장 낮은 결합강도를 보였다 (P<.05). 결론: 본 연구의 결과에 따르면 RelyX Unicem은 지르코니아와 강한 결합력을 보였으며 로카텍 처리는 결합을 증진시키는데 효과적이었다.

• 신재생에너지
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• 제4권2호
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• pp.12-20
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• 2008

Calculations for the dissolution behavior of liquid CO2 droplets released in the East Sea and the Clipperton Clarion from a moving ship and a fixed pipeline have been carried out in order to estimate the CO2 dissolution characteristics in the ocean. The results show that the injection of liquid CO2 from a moving ship in a high temperature point is an effective method for dissolution. Also, it is noted that the ultimate plume generated from CO2 bubbles repeatsand shrinking due to the peeling from a fixed pipeline, and the presence of hydrate layer on a liquid CO2 droplet acts as a resistant layer in dissolving liquid CO2.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 한국신재생에너지학회 2008년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.597-601
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• 2008

Calculations for the dissolution behavior of liquid $CO_2$ droplets released in the East Sea and the Clipperton Clarion from a moving ship and a fixed pipeline have been carried out in order to estimate the $CO_2$ dissolution characteristics in the ocean. The results show that the injection of liquid $CO_2$ from a moving ship in a high temperature point is an effective method for dissolution. Also, it is noted that the ultimate plume generated from $CO_2$ bubbles repeatsand shrinking due to the peeling from a fixed pipeline, and the presence of hydrate layer on a liquid $CO_2$ droplet acts as a resistant layer in dissolving liquid $CO_2$.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
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• 한국추진공학회 1998년도 제11회 학술강연회논문집
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• pp.28-28
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• 1998

단일 충돌제트의 경우 충돌면에서의 열전달 효과는 제트 출구와 충돌면 사이의 간격, 노즐 형상에 따른 제트출구의 초기조건, Re$_{D}$수 변화와 충돌면의 형상이나 표면거칠기 등에 따라 변화하게 된다. 그러나 수직 충돌제트의 경우 정체영역에서의 국소적인 열전달 향상은 용이하나 반경 방향으로 열전달이 점차 감소하게 된다. 따라서 충돌면의 전반적인 열전달 향상을 위해서는 열전달이 정체점보다 상대적으로 낮은 영역에서 열전달 향상이 필요하다. 또한, 실제 적용시 충돌면의 형상이나 협소한 공간에서 노즐위치의 제약으로 인하여 충돌제트가 수직으로 분사되는 경우보다 경사진 제트가 더욱 많이 응용된다. 더욱이, 수직충돌제트가 사용되는 많은 상황에서도 주위의 다른 공기 흐름의 영향으로 인하여 실제 제트가 경사각을 갖고 분사되어진다 이러한 경사충돌제트의 중요성에도 불구하고 경사충돌제트에 대한 연구는 수직충돌제트에 대한 연구보다 상대적으로 적게 이루어져 왔다.

• 한국기계가공학회지
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• 제8권4호
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• pp.20-27
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• 2009

The characteristics of titanium alloy as a relatively advanced material is low density, avirulent and, superior corrosive resistant, therefore the use of titanium alloy is increasing lately in aerospace and mechanical technologies, precision machinery, electronics industry, petro-chemical industries and biomedical areas. In these days, the titanium alloy product is required various surface qualities of not only smooth surface but also rough surface depending on usages. The purpose of this experimental research is to find the optimum surface roughness of titanium alloy of Ti-6Al-4V, by micro abrasive blasting as depending variable conditions of working pressure, nozzle size, working time, stand of distance and power particle size.

• 한국수소및신에너지학회논문집
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• 제12권2호
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• pp.147-155
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• 2001

To measure of thermal loading in the combustion chamber of hydrogen engine with dual injection, instantaneous wall-surface temperature and unsteady heat flux of the cylinder head are measured and analyzed. The maximum wall surface temperature is shown in direct injection region which has large heat supplied. Partial and spatial temperatures have slight deviation in transient region of injection, though injection method change suddenly. All of thermal characteristics such as instantaneous temperature, temperature swing and heat flux of hydrogen engine with dual injection are remarkably higher than those of gasoline engine. It means necessity of additional countermeasure of thermal loading.

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집
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• pp.118-122
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• 2004

본 연구에서는 반도체 세정 챔버 내부에서 회전 척을 사용하는 기판의 세정 공정에서 세정장치와 건조장치를 분리하지 알고 일체화하는 기술을 연구하는 한편, 초음파 세정기술을 이용하여, 세정에 사용되는 약액을 절감하는 방법도 연구하였다. UWA(Ultrasonic Water and Clean Air) system은 초음파 진동부, 초순수 공급부 그리고 clean air공급부를 모듈화 하였다. UWA system으로 공급된 초순수에 70～130kHz범위의 초음파가 더하여지고 반도체 기판 위에 분사되면 기판 위의 미세 파티클을 세정하는 효과를 갖는다. 세정 후 연속적으로 clean air를 분사하여 기판 위의 수분을 완전히 제거한다. Particle 세정 작업을 실시한 후 표면을 검사하여 정밀세정 능력을 확인하였다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.482-482
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• 2013

반도체 소자의 미세화와 더불어 세정공정의 중요성이 차지하는 비중이 점점 커지고, 이에 따라 세정 기술 개발에 대한 요구가 증대되고 있다. 기존 세정 기술은 화학약품 위주의 습식 세정 방식으로 표면 손상, 화학 반응, 부산물, 세정 효율 등 여러 가지 어려움이 있다. 따라서 건식세정 방식이 활발하게 도입되고 있으며 대표적인 것이 에어로졸 세정이다. 에어로졸 세정은 기체상의 작동기체를 이용하여 에어로졸을 형성하고 표면 오염물질과 직접 물리적 충돌을 함으로써 세정한다. 하지만 이 또한 생성되는 에어로졸 내 발생 입자로 인해 패턴 손상이 발생하며 이러한 문제점을 극복하기 위하여 본 연구에서는 가스클러스터 장치를 이용한 세정 특성 평가에 관한 연구를 수행하였다. 가스 클러스터란 작동기체의 분자가 수십에서 수백 개 뭉쳐 있는 형태를 뜻하며 이렇게 형성된 클러스터는 수 nm 크기를 형성하게 된다. 그리고 짧은 시간의 응축에 의해 수십 nm 크기까지 성장하게 된다. 에어로졸 세정과 다르게 클러스터가 성장할 환경과 시간을 형성하지 않음으로써 작은 클러스터를 형성하게 되며 이로 인해 패턴 손상을 최소화 하고 상대적으로 높은 효율로 오염입자를 제거하게 된다. 클러스터 세정 장비를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사 거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터를 이용한 세정 특성을 평가하기 위하여 이러한 변수에 따라서 오염 입자의 종류, 크기에 따른 PRE (particle removal efficiency)를 평가하고 다양한 선폭의 패턴을 이용하여 손상 실험을 수행하였다. 제거 효율에 사용된 입자는 $CeO_2$와 $SiO_2$이며, 각각 30, 50, 100, 300 nm 크기를 정량적으로 오염시킨 쿠폰 웨이퍼를 제조하여 세정 효율을 평가하였다. 정량적 오염에는 SMPS (scanning mobility particle sizer)를 이용한 크기 분류와 정전기적 입자 부착 시스템이 사용되었다. 또한 패턴 붕괴 평가에는 35~180 nm 선폭을 가지는 Poly-Si 패턴을 이용하였다. 실험 결과 클러스터 형성 조건에 따라 상대적으로 낮은 패턴 붕괴에서 95% 이상의 높은 오염입자 제거효율을 전반적으로 보이는 것을 확인할 수 있었다. 따라서 이론적 계산에 기반하여 세정에 요구되는 클러스터 크기를 가정하고, 이를 통하여 세정에 적용할 경우 높은 기존 세정 방법의 단점을 보완하면서 높은 세정 효율을 가지는 대체 세정 방안으로 이용할 수 있음을 확인하였다.

• 한국식품과학회지
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• 제44권2호
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• pp.168-172
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• 2012

본 연구는 프탈산히드록시메틸셀룰로오스를 장용성 기제로 이용하여 오메가-3 지방산이 충진된 연질캡슐을 코팅조건에 따른 연질캡슐의 표면에 미치는 영향을 살펴보고자 하였다. HPMCP 농도, 코팅분사 액량 및 흡기 온도를 변화시켜 장용코팅 시 캡슐표면의 백색도를 측정 비교한 결과, 코팅분사 액량이 감소할수록 흡기 온도가 증가할수록 백색도가 감소하는 것을 알 수 있었다. 그리고 붕해시험으로 코팅 후 캡슐이 장용 특성을 가지는 것을 확인할 수 있었다. 주사전자현미경으로 미세구조를 관찰한 결과, 피막에 균일하게 HPMCP가 코팅이 된 것을 알 수 있었다. 이와 같이 HPMCP를 이용하여 오메가-3 연질캡슐의 장용코팅 효과를 확인할 수 있었으며, 투명도가 높은 코팅표면을 얻을 수 있는 코팅 조건을 확인할 수 있었다.