Laser ablation system for microscopic defect in thin film pattern was developed in this study. For the varification of this study, several laser ablation tests were accomplished. The ablated shape of thin film and the surface of base glass were analyzed by use of microscopic tools and EPMA. After some tests of thin film, the specification of laser and optical unit(max. laser energy is 25mJ, wavelength is 532nm, Q-switched Nd-YAG laser, frequency is 20Hz, Auto-focus unit is LD type.)
In this study, we fabricated the master metallic nano-stamper with nano pillar patterns to apply replication processes which is adequate for mass production. Master nano patterns with various hole diameters between 300 nm and 1000 nm was fabricated by e-beam lithography. After the seed layer was deposited on the master nano patterns using e-beam evaporation, the nickel was electroformed. In each step, the shape and surface roughness of their patterns were analyzed using SEM and AFM.
최근 생활수준이 향상됨에 따라 고기능성, 고감성의 제품이 요구되고 있고 또한 소비패턴이 고급화, 다양화, 개성화 됨에 따라 단시간의 유행변화에 신속하게 대응하기 위하여 섬유날염면에서도 다양한 색상과 디자인 및 quick-response가 요구되고 있다. 그러나 기존의 rotary printing system에 의한 날염기술은 이러한 사회적 요구에 다양하고 신속한 대응을 할 수 없으므로 새로운 날염기술의 개발이 요구되었고 이에 xerography printing에 의한 직물날염이 주목받게 되었다. (중략)
For an accurate measurement of the material behavior of small structures, a new optical experimental technique is proposed to measure the deformation. The test method uses the dual microscope that can measure the relative deformation of two adjacent regions. The magnified view is captured by CCD cameras and the relative deformation can be measured by the pattern matching and tracing method. Using this experimental technique, the deformation of solder joints in electronic packaging and the strain of the nickel thin film are measured.
Characteristics of texture and groove precision lapping plate are experimentally investigated by Measuring frictional forces. It is found that the frictional coefficient decreases as the embedding of diamond particles progresses. The groove precision lapping plate with concentric micro-channels indicates superior capability in embedding micrometer-sized diamond particles and uniformity in diamond embedding compared with the texture precision lapping plate with a series of circular micro-channels.
최근 IT산업으로 대표되는 광통신 및 광신호 전달에 이용되는 광 반사경 및 렌즈어레이, 광가이드 판넬(BLU, FLU)등 광부품의 수요가 급증하고 있고, 이의 생산을 위한 다양한 제조공정이 연구 개발되고 있다 근년까지 이러한 마이크로 광부품의 제조방법은 포토리소그래피, 에칭기술을 베이스로 한 MEMS 기술, PDMS를 이용한 복재기술에 크게 의존하고 있다. 기계적 가공법으로는 오래전부터 초정밀 경면 선삭이나 연삭에 의한 마이크로 렌즈와 미세 패턴의 금형가공이 이루어져 왔다.(중략)
국내 공작기계 시장은 일본 화낙사 컨트롤러를 사용하는 비중이 80[%] 전후이며 그 비중이 높다고 할 수 있다. 최근, 기계가공 분야에서도 IoT(Internet of Thins) 환경을 도입하여 공장의 스마트화가 이루어지고 있다. 대부분의 공작기계를 소유하고 있는 산업현장에선 공작기계에 관한 모니터링 시스템에 대한 필요성을 인식하고 있으며, 공작기계의 가동률 체크 뿐만 아니라 가공패턴 및 가공시간 등을 견적서 자료로 활용하려하고 하고 있다. 이러한 요구조건을 충족시키기 위하여 가공기계 분야에도 ERP(Enterprise Resource Planning)시스템을 도입하여 생산 공정관리의 기초 데이터로 활용하고 있다. 이러한 생산 현장을 감안하여 공작기계에 대한 공정 모니터링 기능 및 스마트화가 무엇보 다 중요하다고 할 수 있다. 본 논문에서는 화낙(fanuc)에서 제공하는 FOCAS 라이브러리를 활용하여 공작기계 가동률에 대한 체크가 가능하도록 Wi-Fi 기반의 데이터 전송 모듈을 개발하여 공작기계 모니터링에 필요한 소형의 통신모듈을 제시하고자 한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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