• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.131.2-131.2
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• 2015

마이크로웨이브를 이용한 플라즈마는 효율적인 전자가열이 가능하며, 낮은 이온에너지를 가지는 고밀도 플라즈마를 생성시킬 수 있다는 장점이 있다. 최근 산화물 반도체 및 대화면 디스플레이 장치내 소자의 보호막 증착용으로 저온 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정 및 장치의 필요성에 따라 마이크로웨이브를 이용한 PECVD 장치가 주목 받고 있다. 본 연구에서는 실리콘 나이트라이드 공정 장치 개발을 위한 2차원 시뮬레이션 모델을 완성하였다. Global modeling을 이용하여 확보한 Chemical reaction data에 대한 검증을 하였다. Maxwell's equation, continuity equation, electromagnetic wave equation 등을 이용하여 Microwave의 파워 및 압력에 따른 전자 밀도, 전자 온도등의 플라즈마 변수의 변화를 관찰하였다. 또한 Navier Stokes equation을 추가하여 챔버 내의 Gas flow의 흐름을 고려한 시뮬레이션을 진행하여 분석하였다.

• 소음진동
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• 제6권5호
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• pp.575-585
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• 1996

In order to build a quiet and comfortable ship, the noise levels on board ship must be predicted at early design stage. Statistical Energy Analysis (SEA) developed by R. H. Lyon has been well known to be the most useful frame work to study the energy flow of noise and vibration in structure. This paper applied this theory to predict the transmission loss of structure-borne noise of model structure and has developed computer program. Components constructions model structure have been all considered as SEA elements. And we also estimated the SEA parameters from the model structure. Using SEA and a new conception of STL, we found the transimission character of structure-borne noise theoretically by the idealized ship model, and then compared the results with three cases.

• 대한조선학회논문집
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• 제40권1호
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• pp.36-46
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• 2003

To investigate the affection of lumped mass and spring on the vibration power flow of cross-stiffened plate experiencing bending vibration, structural intensity analysis is done using the modal analysis based on assumed mode method. The numerical analysis is carried out varying the mass and spring constant and their attached positions. The results show that both the spring and the mass may cause to large variation of not only vibratory displacement but also vibratory power flow patterns in case of little change of natural frequencies, and the attachments near to excitation location can effectively reduce the magnitude of maximum structural intensity.

• 한국음향학회지
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• 제17권2호
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• pp.71-78
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• 1998

와(vortex) 박리는 고형물체가 유동내에서의 유체의 흐름을 방해할 때 발생하는 전 형적인 주기적 진동 현상이다. 본 연구에서는 삼각주형 실린더가 유동내에 유발하는 와 발 리 특성을 가시화 기법, 와에 의해 변조된 초음파의 파워 스펙트럼 및 유동관에서의 진동측 정 등을 통해 연구하였다. 가시화 관찰과 유동측정 실험 결과, 발생 와는 발생체 전면으로부 터 3d와 5d 사이에서 가장 안정성이 유지됨을 발견하였다. 넓은 레이놀즈 수(104≤Re≤106) 의 유동영역에서 액체와 기체원형유동의 측정 실험결과로부터 스트로우할(Strouhal) 수가 와발생체 폭(d)과 형상비(d/D)의 증가함수이며, 삼각주 단면의 높이에 반비례함을 알 수 있 었다. 또한 실험 결과로부터 실린더의 기하학적 치수로 삼각주형 실린더의 스트로우할 수를 예측할 수 있는 경험식을 제시하였다.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2004년도 춘계학술대회논문집
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• pp.457-467
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• 2004

Wave Transmission analysis is one of methods for power transmission and reflection coefficients in coupled infinite structures. This paper focuses the wave transmission analysis of point coupled structures among semi-infinite beams and infinite thin plates considering all kinds of waves. It is supposed that the junction through the beams and plates is an identical spot and no point of contact exist except the spot. The boundary conditions are applied at the spot for continuities of 6 DOF displacements and 6 DOF force equilibriums, and then wave fields are obtained in the coupled structures. Since wave components in plate field are simplified using asymptotic expressions of Henkel functions, the displacements and forces at the plate junction can be simply expressed with magnitudes of the wave components. The wave fields according to incident waves gives the power transmission coefficients in beam/plate point coupled structures. For both coupled structures with a beam vertically and obliquely joined to a plate, power transmission analysis is performed and the analysis results are compared and examined.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2000년도 춘계학술대회논문집
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• pp.301-308
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• 2000

The power flow analysis(PFA) has been performed to analyze the vibration of coupled plates excited by a point force in an arbitrry direction. The energy governing equations for longitudinal, shear and flexural waves were solved to predict the vibrational energy density and intensity. The wave transmission approach was used to consider the mode conversion at the joints of the coupled plates. Numerical results for energy density and intensity on the coupled plates were presented. Comparison of the results by PFA with exact results showed that PFA can be an effective tool to predict the spatial variation of the vibrational energy and intensity on the coupled plates at high frequencies.

• 한국지능시스템학회논문지
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• 제10권4호
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• pp.304-309
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• 2000

인간의 뇌 정보처리를 이해하기 위한 일환으로서, 많은 연구자들이 사람의 두피에서 자발적으로 발생하는 전기 활동인 뇌파(EEG)를 분석하였다. 측정된 뇌파는 잠음처럼 보이는 비선형적인 거동으로 인하여 단순한 관찰만으로 그 특징을 분석하기가 매우 어렵다. 따라서 이러한 뇌파를 분석하고 이해하기 위한 방법으로 파워스펙트럼, 바이스펙트럼 등과 같은 스펙트럼 분석과 상관차원, 프랙탈 차원과 같은 비선형 카오스 분석 등과 같은 해석법들이 활발히 연구되어왔다. 본 논문에서는 이러한 기존의 방법 외에 두 신호사이의 통계적 의존성을 측정하는 양인 상호정보를 이용하여 뇌파의 특징을 분석하였다. 뇌파간의 상호정보 분석을 통해 두뇌에서의 정보의 흐름에 관한 특징을 알아보았고, 감선자극에 반응하는 두뇌의 활동영역을 알 수 있었다.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2002년도 춘계학술대회논문집
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• pp.335-338
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• 2002

본 논문은 부유식 석유 저장 하역 선박(FSO)의 소음 특성 및 해석 기법에 관한 것이다. FSO의 선실 소음 수준은 일반 상선과는 달리 선실 내부에 있는 소음원 이외에도 topside에 있는 각종 소음원들의 영향을 크게 받는다. 따라서, topside에 있는 각종 소음원들이 선실의 소음수준에 미치는 영향을 정확히 평가하는 것이 중요하다. 일반적으로 FSO의 소음해석은 옥외 및 선실 소음 해석으로 구분하여 수행한다. 본 논문에서는 topside에 있는 각종 소음원들의 공기음 전파 특성 해석은 ISO 9613에 근거한 프로그램을 이용하였고, 고체음 전파 특성은 파워 흐름 해석법을 이용하였다. 또한 선실 소음 해석은 통계적 에너지 해석법(SEA)을 이용하였으며, 해석 결과로부터 높은 소음 수준이 우려되는 구역에 대한 방음 대책을 제시하였다. 위의 선실 소음 해석 결과는 향후 FSO의 topside에 있는 각종 소음원들에 의한 선실의 소음 해석 기법 정립에 기여할 것으로 기대된다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.488-488
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• 2012

상압에서 12인치 실리콘 웨이퍼 표면처리가 가능한 장치를 개발하였다. 배치타입 공정으로 플라즈마 발생 전극은 직경 340 mm의 대면적 원형 형태을 가지고 있다. 시스템은 탈부착이 가능한 플라즈마 모듈부와 공정챔버로 나누어지며 균일도를 높이기 위해 웨이퍼스테이지는 가열, 회전 및 축간 조절이 가능하게 설계하였다. 플라즈마발생은 DBD 전극방식을 채용하고 있으며 공정가스흐름 및 전극배열 등을 연구하였다. 또한, 기판 온도, 가스 조합 등의 공정파리미터를 변화시켜가며 높은 애슁 속도 및 균일도를 얻기 위한 실험이 진행되었다. 주파수 15 kHz, 인가 파워 7 kW, 시편 가열 온도 95도, 60 rpm, 80 spm에서 분당 200 nm의 PR제거율을 확인하였다.

• 제어로봇시스템학회지
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• 제20권4호
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• pp.37-43
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• 2014

소형 무인항공기가 발달함에 따라 영상센서의 활용이 증가하였다. 특히 발전된 컴퓨팅 파워와 소형화된 영상센서의 발달로 무겁고 값비싼 레이더 장비의 기술을 영상센서로 구현하는 연구가 활발히 진행 중이다. 영상 이동표적표시(Moving Target Indication MTI) 기법은 이런 시대의 흐름에 따라 발달된 기술이며 현재 미군의 소형무인항공기 RQ-11 Raven에 상용화 되었다. 본 논문에서는 소형 무인항공기용 영상 MTI 기법의 원리를 설명하고 영상 MTI에서 주로 사용하는 카메라 운동 보 정 기법인 매개변수/비매개변수 방식의 영상정합의 접근법을 위주로 설명하였다. 또한 소형 무인항공기용 영상감시시스템 구현에서 가장 큰 문제점인 시차/항공기 진동 보정에 대한 진행 중인 연구논문도 소개하였다.