• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.91.2-91.2
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• 2016

반도체 및 디스플레이 등과 같은 전자산업분야에 플라즈마를 이용한 생산공정이 폭넓게 활용됨에 따라서 공정 결과를 예측하고 조절할 수 있는 플라즈마 변수 측정 및 진단기술의 중요성은 더욱 증가되고 있다. 플라즈마 진단을 위해 가장 많이 사용되고 있는 량뮤어 탐침(Langmuir Probe)은 수십 볼트(V)의 전압을 탐침에 인가하여 들어오는 전류(I)를 측정한 I-V curve의 해석을 바탕으로 플라즈마 변수들(전자밀도, 전자온도, 플라즈마 전위, ${\cdots}$)을 측정하는 방법으로 탐침에 인가한 전압으로 인하여 플라즈마가 영향을 받고 이로인하여 공정 결과에 변화를 줄 수 있다. 또한, 증착공정과 같이 공정과정 중에 탐침의 증착으로 인해 탐침으로 들어와야하는 전자 및 이온의 양이 감소하여 측정에 오차가 발생할 수 있어 공정 플라즈마 진단에 적합하지 않다. 따라서 공정 플라즈마의 정확한 측정을 위해서는 플라즈마에 대한 영향을 최소화하고 증착으로 인하여 탐침이 오염 되는 환경에서도 플라즈마 변수를 정확히 측정할 수 있는 진단 장치가 요구된다. 마이크로웨이브를 이용한 진단장치들은 1 mW 이하의 매우 작은 파워를 사용하기 때문에 플라즈마에 영향을 최소화하여 보다 정확한 플라즈마 진단이 가능하다. 또, 유전체 투과특성이 있는 마이크로웨이브를 이용하기 때문에 탐침이 유전체로 증착되었다 하더라도 측정에는 문제가 없어 공정 플라즈마 진단에 용이하다. 이런 장점들로 인하여 헤어핀 탐침(Hairpin probe), 컷오프 탐침(cutoff probe), 임피던스 탐침(Impedance probe) 등과 같이 마이크로웨이브를 이용하여 다양한 형태의 진단 장치들이 개발되었다. 본 발표에서는 마이크로웨이브를 이용한 다양한 형태의 진단 장치들을 소개하고 각각이 가지는 장단점을 정리하여 각 진단장치들이 측정이 적합한 영역을 소개할 예정이다.

• Progress in Medical Physics
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• v.10 no.1
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• pp.9-15
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• 1999

The oxygen saturation of blood can be measured by the difference absorption in optical spectra of Hb and Hb0$_2$, as the well known previous study. In this study we developed the non-invasive oxygen measurement device for diagnosis of peripheral vascular disease in lower extremity using infrared and red LED which produce a peak spectral emission at a wavelength of 660 nm, and 940 nm. To evaluate the clinical application of the oxygen measurement device, we performed lower extremity study to measure the oxygen changes in response to physiological changes within biological tissue. The results showed that oxygen saturation of blood in biological tissue can be monitored from the separation arrangement light source and detector.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2004.06a
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• pp.176-178
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• 2004

디스플레이 매체의 발전에 따라 TV나 컴퓨터 모니터 또는 TFT-LCD, PDP, EL 등의 평판 디스플레이장치들의 대형화, 고화질, 고정밀도가 요구되어지고 있다. 이러한 디스플레이 장치들은 영상표시를 위해 유리를 사용하고 있는데, 사용되는 유리의 형상과 두께는 디스플레이 장치들의 성능에 영향을 준다. 특히 장치가 대형화되면서 대형 평판 유리의 변형된 형상과 균일하지 않은 두께는 디스플레이 장치들의 고화질, 고정밀도를 막는 주요한 요인이 되고 있다. 이러한 이유로 디스플레이 장치용 평판 유리의 형상 및 두께를 측정하는 센서의 요구가 많아지고 있다. 그러나 아직 유리의 형상과 두께를 측정하는 센서 및 시스템은 고가이고. 측정 방법 또한 많은 문제점을 가지고 있다. 본 논문에서는 이러한 문제점들을 해결하기 위하여 하나의 센서로 유리의 형상과 두께를 동시에 고속으로 측정이 가능한 저가의 비접촉식 광센서를 개발하기로 한다. 이 논문에서 개발된 광센서에는 CD-player에 사용되는 홀로그램 레이저를 사용함으로써 고정밀 형상측정, 저가의 광센서, 센서의 소형화를 이룰 수 있다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.14 no.3
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• pp.132-137
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• 2005

Neutron reflectometer has been installed at HANARO, research reactor in Korea. It has vertical sample geometry and the wavelength of incident neutron beam is $2.459\;\AA$ Neutron fluxes at monochromator and sample position were $4.5\times10^9\;n/cm^2/sec,\;6.64\times10^6\;n/cm^2/sec4 those were measured by gold wire activation method. Also, some reference thin films such as d-PS, $SiO_2$ were measured and analyzedwith HANARO neutron reflectometer. As result of the work, it was certified that minimum reflectivity and available Q range were $10^{-6},\;and\;0.003\sim0.3\;\AA^{-1}$ respectively.

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 1998.05a
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• pp.258-263
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• 1998

원자력 발전소의 제어봉 낙하 시간 측정 시험은 원자로 비상 정지 명령에 따른 제어봉의 낙하 속응성이 지침서의 제한치 이내에 있는지를 주기적으로 확인함으로써 제어봉의 원자로 안전 운전 및 정지 기능을 확인하는 중요한 시험이다. 현재 고리2호기를 비롯한 WH형 발전소들은 제어봉이 디지틀 제어봉 위치 지시(DRPI) 코일속을 낙하할 때 유기되는 전압을 검출하여 제어봉 낙하 시간을 측정하는 방법을 사용하고 있다. 이 방법은 제어봉을 뱅크별로 인출한 후 하나씩 개별 낙하시키기 때문에, 제어봉 낙하 시간 측정 시험에 많은 시간과 다수의 인력이 소요되며, 측정시 격납용기내에 작업자가 장시간 체류해야 하는 단점이 있다. 이러한 DRPI 신호 이용 제어봉 낙하 시간 측정 방법의 단점을 보완하여 제어봉 구동 장치(CRDM)내 이동권선 신호를 이용하는 다중 낙하 방식의 새로운 측정 방법을 제안하고, 측정 장치를 개발하였다. 개발된 제어봉 낙하 시간 측정 장치를 이용하여, 고리2호기 제어봉 낙하 시간 측정 시험시 기존의 방법과 병행 측정 시험을 수행하고 그 결과를 비교 검토하여 충분히 정확하게 제어봉 낙하 시간을 측정할 수 있음을 보였다.

• Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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• 2005.11a
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• pp.844-846
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• 2005

멀티미디어 산업의 발달로 인하여 정보를 저장하기 위한 다양한 저장장치들이 개발되고 있으며, 이러한 저장장치들의 발달과 더 좋은 환경을 제공하기 위해 저장 장치에 대한 파일 시스템들이 개발되고 있다. 이처럼 파일 시스템들의 성능을 분석하기 위해서 기존의 파일 시스템 성능 측정 도구를 사용하면 해당 파일 시스템의 특성에 맞는 평가 요소를 정확하게 측정을 하지 못한다. 이에 따라 해당 저장장치의 특성에 맞게 최적화된 파일 시스템들은 그 특성이 고려된 성능 측정 도구들이 필요하게 되었다. 본 논문에서는 NAND 플래시 메모리를 위해 개발된 파일 시스템들의 특성들을 측정할 수 있는 성능 측정 도구의 설계에 관하여 기술한다.

• Proceedings of the Korean Society of Marine Engineers Conference
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• 2011.10a
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• pp.71-71
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• 2011

본 논문에서는 접지시스템에서 접촉 및 보폭전압을 분석할 수 있는 위험전압 측정장치를 설계 제작하였다. 시제작 측정장치는 대지에 최대 300 V까지 전압을 인가할 수 있으며 주파수를 45 Hz~1 kHz까지 가변할 수 있다. 대지에 인가되는 전류와 접지시스템에서 발생하는 접촉 및 보폭전압의 측정에는 12bit, 8채널 데이터 수집모듈을 사용하였다. 또한, 디지털 필터를 적용한 외부 노이즈 제거 알고리즘을 적용하였다. 제작된 위험전압 측정장치의 측정오차는 1 % 이내로 나타났다.

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.8 no.4
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• pp.314-319
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• 1999

The measurement of solid particles suspended in air is conducted with a quartz crystal microbalance. The measurement system is connected to a personal computer and multiple sensors are utilized to make simultaneous measurement possible. In this paper, the detail of experimental setup is extensively explained for the possible future application of the system in other areas. It is found that the measurement system is suitable for an on-line continuous determination of the concentration of solid particles in air.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.36 no.12
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• pp.1217-1222
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• 2012

A wall flow sensor has been used for feedback flow control and wall shear stress measurement. In this study, we developed a new wall flow sensor by combining the PIV algorithm and the micro image sensor used in an optical mouse. The feasibility of the wall flow sensor was investigated by using simulated fluid flow experiments. Compared with the quadrature signal from imaging devices, the accuracy of the wall flow velocity measurement was improved and the dynamic range increased. In addition, the depth information of particles was also measured by using the defocusing imaging technique.

• The Journal of Korea Institute of Information, Electronics, and Communication Technology
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• v.12 no.3
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• pp.306-311
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• 2019

This paper presents the temperature dependence of transmission-type and reflection-type PPG measurement devices that have been developed in the previous research. PPG signal can be distorted by external temperature such as skin temperature so that many of research was focused on the skin temperature effect. However, this paper focuses on the temperature of the device itself and we studied on the effect of device internal temperature. Experimental results showed that the temperature was increased like an irrational function graph and the transmission-type was not affected by the internal temperature but the reflection-type was affected by the internal temperature.