• 제목/요약/키워드: 초점심도

검색결과 180건 처리시간 0.023초

패턴 분해능 및 초점심도 향상에 대한 사입사 조명 (Off-Axis Illumination)

  • 박정보;이성묵
    • 한국광학회지
    • /
    • 제10권6호
    • /
    • pp.453-461
    • /
    • 1999
  • 본 연구에서는 파장 0.248$\mu$m의 KrF Eximer Laser를 광원으로 하고 NA가 0.65인 광학계를 사용하는 리소그래피 시스템에서, 환형(annular)조명과 4구(quadrupole)조명의 조건들을 바꾸어 가며 구현하고자 하는 패턴의 분해능과 초점심도 향상에 어떠한 영향을 주는지 알아보았다. 그 결과, 환형 조명에서는 원형 마스크와 광학적 근접효과를 보정하기 위해 보조 패턴을 삽입한 마스크의 경우, 최적의 분해능과 초점심도를 보이는 조명조건이 다름을 알 수 있었다. 또한, 사구 조명의 경우에는 일반적으로 사용되는 45$^{\circ}$위치의 X자형 배치를 주요 패턴의 방향에 따라 적절히 바꾸어 주면 분해능과 초점심도를 향상시킬 수 있음을 확인하였다.

  • PDF

교각(橋脚) 국부선굴(局部洗掘)의 시간적(時間的) 변화(變化)에 관한 실험연구(實驗硏究) (Experimental Study on Temporal Effects of Local Scour at Bridge Pier)

  • 한상연;김창성;강준구;여운광
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국수자원학회 2007년도 학술발표회 논문집
    • /
    • pp.1701-1705
    • /
    • 2007
  • 국부세굴은 수공구조물 주변에서의 국부적인 흐름변화가 그 원인이라 할 수 있으며 이러한 변화는 교각 또는 교대의 하상재료를 굴착하여 이동시키는 침식작용의 결과이다. 이러한 교량의 교각 또는 교대, 그리고 교각을 지지하는 구조물에서 발생하는 국부세굴은 교량의 수명과 안정성에 좋지 않은 영향을 미쳐 재산상의 피해를 줄뿐만 아니라 교량 붕괴 사태 등으로 인한 대형 인명사고를 초래하는 원인이 될 수도 있다. 따라서 국부세굴의 경향을 예측하고 분석하는 것은 교량 구조물이나 수중 구조물의 설계에 있어서 매우 중요한 과업이다. 이러한 국부세굴을 예측하고 분석하는데 있어서 국내에서는 일정한 흐름조건에 대한 최종세굴심을 예측하는데 초점이 맞추어져 있다. 하지만 국부세굴은 하상재료에 따라 세굴이 진행되는 속도가 다르며 세굴의 진행은 시간 의존적인데 반해 국내에서의 국부세굴의 예측과 분석은 최종세굴심 산정에 초점이 맞추어져 있다. 이에 본 연구에서는 보다 실질적이고 경제적인 국부세굴 경향을 예측할 수 있도록 다양한 하상재료에 대한 시간에 따른 세굴 변화의 특성을 파악하고 분석하였다. 이를 위해 하상재료에 따라 수리실험을 실시하였고, 이를 통해 하상재료에 따른 세굴심의 시간적 변화 곡선을 구하였다. 이렇게 구한 하상재료에 따른 세굴심의 시간적 변화 곡선을 통해 하상재료별 평형세굴심 산정하였고, 산정한 평형세굴심과 기존 세굴심 산정공식을 이용하여 입자별 세굴심을 산정하여 비교 분석하였다.

  • PDF

부분간섭성조명과 Central Obscuration이 고려된 5반사광하계의 설계와 성능평가

  • 이동희;이상수
    • 한국광학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국광학회 1995년도 광학 및 양자전자학 워크샵 논문집
    • /
    • pp.59-67
    • /
    • 1995
  • 부분간섭조명과 central obscuration의 Optical Transfer Function(OTF) 에의 영향을 조사해보고, 이의 programing 기법을 소개하며, 모든 3차 수차와 5차 구면수차가 제거된 5반사광학계에 적용하여 축소배율(M = +1/5)을 갖는 리소그래피용 광학계로서의 가능성을 알아보았다. 이렇게 하여 얻어진 광학계 central obscuration이 약 31%이고 과월을 ArF excimer 레이저( 파장 0.193$\mu$m) 로 하는 nearly inchorent illumination($\sigma$ = 1.0)인 경우 NA가 0.45이며 분해능이 50% MTF 기준치와 초점심도 0.8$\mu$m에 대해 약 600cycles/mm 정도인 성능을 갖는 시스템이 되었다.

  • PDF

고배율 광학현미경의 초정밀 능동 자동초점방법 (Active auto-focusing of high-magnification optical microscopes)

  • 이호재;이상윤;김승우
    • 한국광학회지
    • /
    • 제7권2호
    • /
    • pp.101-111
    • /
    • 1996
  • 최근들어 반도체 산업의 자동검사장비에 고배율 광학현미경이 많이 사용되고 있다. 이러한 고배율 광학현미경에 있어서 선결과제가 물체를 광학현미경에 사용된 대물렌즈의 초점심도 내에 위치시키는 초점맞춤작업이다. 본 논문에서는 광삼각법을 기본구성으로하고 수광부에 2개의 2분할소자를 사용함으로써 물체의 표면상태에 둔감하면서 물체의 초점오차량에는 매우 민감한 초점오차신호를 만들어줄 수 있는 새로운 자동초점방법을 소개하였다. 얻어진 실험결과에 의하면 이 방법의 신호분해능은 5nm이며, 반복능은 0.5.mu.m이다.

  • PDF

피사계심도 확장을 위한 대역통과 필터 기반 초점 정량화 기법 (Bandpass Filter Based Focus Measure for Extended Depth of Field)

  • 차수람;김정태
    • 방송공학회논문지
    • /
    • 제16권5호
    • /
    • pp.883-893
    • /
    • 2011
  • 본 논문에서는, 피사계심도가 낮은 카메라로 획득한 영상에서 초점이 맞는 부분과 그렇지 않은 부분을 나누는 새로운 초점 정량화를 설계하고 초점 정량화에 기반한 decision map을 이용하여 획득한 영상과 위너필터링으로 복원한 영상의 정합을 통해 영상의 피사계심도를 확장하였다. 기존의 초점 정량화 방법은 고주파 성분의 크기에 따라서 초점 정량화를 수행하므로 초점이 맞지 않은 부분에 고주파 성분이 있는 경우 성능이 저하된다는 단점이 있다. 본 논문에서는 이를 극복하기 위하여 효과적인 대역필터를 설계하였으며 제안하는 방법이 기존에 방법에 비해서 성능이 우수함을 시뮬레이션 및 실험을 통해 입증하였다.

이공계 연구윤리를 생각하며

  • 정일섭
    • 대학교육
    • /
    • 통권144호
    • /
    • pp.54-58
    • /
    • 2006
  • 연구윤리 문제를 거론하는 일은, 지금까지 행해진 연구 부정행위를 어떻게 처리할 것인가가 아닌 예방적 차원에서 어떻게 연구 부정행위를 방지할 것인가에 초점이 모아져야 한다. 얼마 전 발생한 '줄기세포 조작 사건'도 구성원들의 도덕적 해이에서 비롯된 것이라는 지적이다. 국력이 신장되고 연구역량이 커진 것과 비례하여 연구윤리에 대한 경각심과 경계심도 키워 나가야 한다. 연구를 시작하는 단계에서부터 연구윤리의 중요성을 깨닫고 생활화 할 수 있어야 하며, 이러한 변화는 또한 앞으로의 연구의욕을 꺾거나 과거의 연구성과를 무차별적으로 불신하게 되는 부작용을 잉태하지 말아야 한다.

  • PDF

입체영상 가시화를 위한 자동 피사계 심도 조절기법 (Automatic Depth-of-Field Control for Stereoscopic Visualization)

  • 강동수;김양욱;박준;신병석
    • 한국멀티미디어학회논문지
    • /
    • 제12권4호
    • /
    • pp.502-511
    • /
    • 2009
  • 컴퓨터그래픽스에서 실세계의 피사계 심도를 표현하기 위해 많은 연구가 진행되어왔다. 피사계 심도는 초점이 맺히는 초점평면을 기준으로 초점거리보다 가깝거나 멀 경우 렌즈와 조리개의 특성에 따라 해당부분이 흐리게 표현되는 현상이다. 이것을 이용하면 사람의 눈처럼 수정체에 의한 아웃 포커스 현상을 표현할 수 있기 때문에 현실감 있는 영상 표현이 가능하다. 본 논문에서는 eye-tracking 기술을 이용하여 사용자의 착안점을 계산하고 이를 바탕으로 GPU기반의 피사계 심도 조절방법을 구현함으로써 입체영상을 볼 때 발생하는 부작용을 줄이는 방법을 제안한다. 일반적으로 입체영상은 사용자의 초점을 강제로 조정하기 때문에 장시간 입체영상을 보면 어지럼증 등 부작용이 나타난다. 제안하는 기법은 눈동자의 움직임을 실시간으로 추적하여 입체영상의 피사계 심도를 자동으로 조절할 수 있기 때문에 부작용 저감이 가능하며 몰입감을 향상시킬 수 있다.

  • PDF

다중 컬러필터 조리개 시스템을 위한 적응적 히스토그램 평활화를 이용한 영상 개선 (Image Enhancement Using Adaptive Region-based Histogram Equalization for Multiple Color-Filter Aperture System)

  • 이은성;강원석;김상진;백준기
    • 대한전자공학회논문지SP
    • /
    • 제48권2호
    • /
    • pp.65-73
    • /
    • 2011
  • 본 논문은 다중 컬러 필터 조리개 (multiple color-filter aperture; MCA) 시스템에서 영역 적응적 히스토그램 평활화를 사용하여 저노출 환경에서도 강건한 새로운 디지털 다중초점 (multifocusing) 방법을 소개한다. MCA 시스템은 획득된 영상의 컬러 채널 간에 발생하는 부정합 (misalignment) 정도를 측정하여 카메라의 거리에 따른 장면의 상대적 심도 정보를 추출한다. 추출된 상대적 심도 정보는 관심영역 (regsion-of-interests; ROIs) 분류 (classification), 정합 (registration), 융합 (fusion) 등의 과정을 통하여 다중초점 영상을 생성한다. 그러나 MCA 시스템은 유한한 구경의 조리개로 때문에 저노출 환경에서 성능의 저하를 초래하게 된다. 이러한 문제를 해결하기 위해 공간 적응적 히스토그램 확장을 이용한다. 실험결과에서 볼 수 있듯이, 제안한 기술은 저노출 환경에서도 콘트라스트가 향상된 다중초점 영상을 복원할 수 있음을 보여준다.

Wigner 분포 함수를 초점 심도 증가의 정량적 해석 (Quantitative analysis of increase in depth of focus using Wigner distribution function)

  • 장남영;강호정;은재정;최평석
    • 한국광학회지
    • /
    • 제11권6호
    • /
    • pp.385-389
    • /
    • 2000
  • 본 논문에서는 원형 대칭 광 시스템에 대한 초점 심도를 증가시키기 위해 Wigner 분포 함수(WDF)로 유도된 위상 지연 함수를 이용한다. 1차원 신호에 대한 WDF는 위상-공간($\chi,\zeta$)상의 2차원 함수로 표현되고 Strehl 비 (SR)를 이용해 정규화된 복사조도로 나타낸다. 초점 심도의 증가는 WDF 공간상에서 간단한 조작으로 자유공간 전파의 특성을 나타내는 전단 기울기 $\alpha$을 부여함으로서 달성된다. 또한 $\alpha$을 초점 심도의 항 $\delta_z$로 표현함으로서 위상 지연 함수를 통해 정량적으로 초점특성을 평가할 수 있는 방법을 제안한다. 제안된 방법으로 수치 해석한 결과를 다른 접근법으로 수행되었던 연구결과와 비교한다.

  • PDF