• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2007.06a
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• pp.81-81
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• 2007

Chemical mechanical polishing (CMP) 공정은 deep 서브마이크론 집적회로의 다층배선구조률 실현하기 위해 inter-metal dielectric (IMD), inter-layer dielectric layers (ILD), pre-metal dielectric (PMD) 층과 같은 절연막 외에도 W, Al, Cu와 같은 금속층을 평탄화 하는데 효과적으로 사용되고 있으며, 다양한 소자 제작 및 새로운 물질 등에도 광범위하게 응용되고 있다. 하지만 Cu damascene 구조 제작으로 인한 CMP 응용 과정에서, 기계적으로 깨지기 쉬운 65 nm의 소자 이하의 구조에서 새로운 저유전상수인 low-k 물질의 도입으로 인해 낮은 하력의 기계적 연마가 필요하게 되었다. 본 논문에서는 전기화학적 기계적 연마 적용을 위해, I-V 특성 곡선을 이용하여 active, passive, transient, trans-passive 영역의 전기화학적 특성을 알아보았으며, Cu 막의 표면 형상을 알아보기 위해 scanning electron microscopy (SEM) 측정과 energy dispersive spectroscopy (EDS) 분석을 통해 금속 화학적 조성을 조사하였다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2006.06a
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• pp.465-466
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• 2006

서로 다른 굴절률을 갖는 유전재료를 주기적으로 배열함으로써 광자금지대(PBG)를 형성시킬 수 있는 2 차원(2D)광자결정배열에 선결함(line defects)을 줌으로써 기존의 평판형광도파로(PLC)와는 다른 개념의 광자결정도파로를 제작할 수 있다. 특히, 광자결정도파로는 급격한 굽힘(bending)에도 저손실의 효과를 갖도록 할 수 있기 때문에 광집적회로에 효과적으로 적용된다. 본 연구에서는 정방형 격자구조의 2차원 광자결정에 대한 광자밴드구조를 구하고 이로부터 추출된 구조매개변수를 이용하여 광자결정도파로를 설계하고 그의 특성을 평가하였다. 특히, 광자결정도파로와 PLC형도파로 특성을 비교하였다. 설계된 광자결정 도파로를 전자빔 및 홀로그래픽 리소그라피를 이용하여 제작, 평가할 것이다.

• Korean Journal of Soil Science and Fertilizer
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• v.7 no.4
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• pp.227-234
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• 1974

A survey on the vinyl house soils was conducted to investigate the salt accumulation status and it's effects on the deterioration of soil aggregates. The survey was made for the vinyl house soils in Suwon, Yesan, and Kimhae areas where vegetables are extensively grown under a vinyl house. Physical and chemical properties of the soils at the inside and outside of the vinyl house were compared to continuous vegetable cropping. Electrical conductivity of the soil solution (Y) in vinyl house was closely related to the number of cropping years (X), and the relations are given by the following regression equations: $Y=0.54X{\times}1.44$ ($r=0.580^*$) for loamy textured soils and $Y=0.58X{\times}2.61$ ($r=0.524^*$) for clayey textured soils. Electrical conductivity of the soils, where vegetable cropping in winter and rice in summer were rotated, was lower than that given by the regression equations. Analyses for extractable cations, the concentration of calcium, sodium and potassium was high in the inside vinyl house soils compared to the outside. Soil aggregates larger than 1mm in diameter were greatly deteriorated, while the content of the soil aggregates smaller than 0.5mm in diameter remained unchanged. Aggregate stability of the soil was negatively correlated to the accumulation rate of extractable sodium ($r=-0.681^{**}$), potassium ($r=-0.528^*$) and the amount of daily irrigated water (r=-0.477), while positively correlated to the content of organic matter ($r=-0.692^{**}$) and calcium (r=0.391).

• Geophysics and Geophysical Exploration
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• v.21 no.1
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• pp.15-25
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• 2018

Seismic inversion is a high-resolution tool to delineate the subsurface structures which may contain oil or gas. On the other hand, marine controlled-source electromagnetic (mCSEM) inversion can be a direct tool to indicate hydrocarbon. Thus, the joint inversion using both EM and seismic data together not only reduces the uncertainties but also takes advantage of both data simultaneously. In this paper, we have developed a simultaneous joint inversion approach for the direct estimation of reservoir petrophysical parameters, by linking electromagnetic and seismic data through rock physics model. A cross-gradient constraint is used to enhance the resolution of the inversion image and the maximum likelihood principle is applied to the relative weighting factor which controls the balance between two disparate data. By applying the developed algorithm to the synthetic model simulating the simplified gas field, we could confirm that the high-resolution images of petrophysical parameters can be obtained. However, from the other test using the synthetic model simulating an anticline reservoir, we noticed that the joint inversion produced different images depending on the model constraint used. Therefore, we modified the algorithm which has different model weighting matrix depending on the type of model parameters. Smoothness constraint and Marquardt-Levenberg constraint were applied to the water-saturation and porosity, respectively. When the improved algorithm is applied to the anticline model again, reliable porosity and water-saturation of reservoir were obtained. The inversion results indicate that the developed joint inversion algorithm can be contributed to the calculation of the accurate oil and gas reserves directly.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.106-106
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• 1999

반도체 소자가 소브마이크론 이하로 집적화 되어감에 따라, RC 신호 지연 및 간섭 현상, 전력 소비의 증가 문제가 심각하게 대두되고 있다. 이러한 문제를 개선하기 위해서는, 현재 층간 절연막으로 상용화되어 있는 SiO2 박막을 대체할 저유전율 박막의 개발이 필수적이며, 많은 연구자들이 여러 가지 새로운 유기물질과 무기물질은 제안하고 있다. 반도체 공정상의 적합성을 고려할 때, 이들 여러물질 중에서 알킬기를 함유한 SiO2 박막(이하 'Si-O-C-H 박막'으로 표기)에 많은 관심이 집중되고 있다. Si-O-C-H 박막은 알킬기에 의해 형성된 나노 스케일의 기공에 의해 작은 유전율을 가지게 된다. 따라서, 박막내의 알킬기의 함유량이 많을수록 보다 작은 유전율을 얻을 수 있다. 그러나 과다한 알킬기의 함유는 Si-O-C-H 박막의 열적 특성을 열화시키는 부정적인 효과도 있다. 본 연구에서는 bis-trimethylsilylmethane(BTMSM, H9C3-Si-CH2-Si-C3H9) precursor를 이용하여 Si-O-C-H 박막을 증착하였다. BTMSM precursor의 중요한 특징중 하나는, 두 실리콘 원자 사이에 Si-CH2 결합이 존재한다는 사실이다. Si-CH2 결합은 양쪽의 Si에 의해 강하게 결합되어 있어서, BTMSM precursor를 사용하여 Si-O-C-H 박막은 유전상수도 작을 뿐 아니라, 열적으로도 안정된 특성이 얻어질 것으로 기대된다. Si-O-C-H 박막의 열적 안정성을 평가하기 위하여, 고온 열처리 전후의 FT-IR 스펙트럼 분석과 C-V(capacitance-voltage) 측정에 의한 유전상수 변화를 살펴보았다. 또한 증착된 박막의 미세구조 및 step coverage 특성 관찰을 위하여 SEM(scanning electron microscopy) 및 TEM(transmission electron micfroscopy) 분석을 하였다. 변화하였으며 이는 포토루미네슨스의 변화의 원인으로 판단된다. 연구하였다. CeO2 와 Si 사이의 계면을 TEM 측정에 의해 분석하였고, Ce와 O의 화학적 조성비를 RBS에 의해 측정하였다. Si(100) 기판위에 증착된 CeO2 는 $600^{\circ}C$ 낮은 증착률에서 seed layer를 하지 않은 조건에서 CeO2 (200) 방향으로 우선 성장하였으며, Si(111) 기판 위의 CeO2 박막은 40$0^{\circ}C$ 높은 증착률에서 seed layer를 2분이상 한 조건에서 CeO2 (111) 방향으로 우선 성장하였다. TEM 분석에서 CeO2 와 Si 기판사이에서 계면에서 얇은 SiO2층이 형성되었으며, TED 분석은 Si(100) 과 Si(111) 위에 증착한 CeO2 박막이 각각 우선 방향성을 가진 다결정임을 보여주었다. C-V 곡선에서 나타난 Hysteresis는 CeO2 박막과 Si 사이의 결함때문이라고 사료된다.phology 관찰결과 Ge 함량이 높은 박막의 입계가 다결정 Si의 입계에 비해 훨씬 큰 것으로 나타났으며 근 값도 증가하는 것으로 나타났다. 포유동물 세포에 유전자 발현벡터로써 사용할 수 있음으로 post-genomics시대에 다양한 종류의 단백질 기능연구에 맡은 도움이 되리라 기대한다.다양한 기능을 가진 신소재 제조에 있다. 또한 경제적인 측면에서도 고부가 가치의 제품 개발에 따른 새로운 수요 창출과 수익률 향상, 기존의 기능성 안료를 나노(nano)화하여 나노 입자를 제조, 기존의 기능성 안료에 대한 비용 절감 효과등을 유도 할 수 있다. 역시 기술적인 측면에서도 특수소재 개발에 있어 최적의 나노 입자 제어기술 개발 및 나노입자를 기능성 소재로 사용하여 새로운 제품의 제조와 고압 기상 분사기술의 최적화에 의한 기능성 나노 입자 제조 기술을 확립하고 2차 오염 발생원인 유기계 항균제를 무기계 항균제로 대

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.16 no.12
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• pp.2762-2770
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• 2012

In this paper, we propose a novel approach to effectively compress the sub-images transformed from the picked-up elemental images in integral imaging, in which motion vectors of the object in each sub-image are fast and accurately estimated and compensated by combined use of MSE(mean square error)-based TSS(tree-step search) and FS(full search) schemes. This is, the possible object areas in each sub-image are searched by using the fast TSS algorithm in advance, then the these selected object areas are fully searched with the accurate FS algorithm. Furthermore, the sub-images in which all object's motion vectors are compensated, are transformed into the residual images by using the difference image method and finally compressed with the MPEG-4 algorithm. Experimental results reveal that the proposed method shows 214% improvement in the compression time per each image frame compared to that of the conventional method while keeping the same compression ratio with the conventional method. These successful results confirm the feasibility of the proposed method in the practical application.

• Korean Journal of Construction Engineering and Management
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• v.7 no.3 s.31
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• pp.159-168
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• 2006

In order to respond to interest and regulations in sustainable environment which is increasing, construction industry needs to establish a sustainable production system. When generation of wastes can be diminished and recycling of them raised in the construction site as a part of a sustainable production system, it might contribute to not only establishing a sustainable production system but also gaining economical profit. This study is a preliminary research for establishing a sustainable production system, which aims to identify construction waste generation patterns and factors causing construction waste generation. Case studies were implemented to investigate these patterns and factors.

• Proceedings of the Plant Resources Society of Korea Conference
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• 2018.10a
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• pp.38-38
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• 2018

최근 호두 기내 소비량은 급증하나 대부분 실생묘로 조림되어 결실까지 장기간 소요되며, 무성 번식률이 낮아 보급확대가 어렵다. 본 연구는 호두나무 관행 묘목 번식법 개선이 가능한 우량 국산묘 대량증식 기술 개발로 최적 배양조건을 구명하고자 수행하였디. 호두나무 등 목본류는 식물 조직배양 기본배지에서 산화방지제를 첨가하여 사용하는 경우, 배양체에서 생기는 페놀 화합물(Phenolic compound)의 작용을 억제하여 배양 식물체의 갈변(Browning) 또는 흑변(Blackening) 현상을 감소시키는 효과가 있다. 페놀 추출물은 배지로 빠져나와 갈변시키며 생존율을 저하시키는 원인이 되고 이를 제거하는 산화방지제는 배양 식물체의 생산효율을 높이는 효과를 나타내는 강력한 항산화제(Antioxidant) 역할을 한다. 호두나무의 액아를 배양하게 되면 조직 및 배지의 갈변화가 심하게 일어나는데, 휴면 정도가 깊을 수록 정단에서 추출되는 페놀성 물질의 함량이 증가하며, 식물 조직 내 페놀성 물질의 함량 정도와 배양의 고사율과는 상관관계가 있다. 이러한 식물 배양체에서 생기는 페놀 화합물에 의해 발생되는 배양상의 문제점을 해결하기 위하여 계대배양을 자주해 주거나 활성탄(Activated charcoal), Ascorbic Acid 등의 첨가물을 배지에 추가하는 방법이 있다. 이에 따라 호두 '신령' 품종의 액아배양의 페놀집적을 제거하기 위해 배지 내에 산화방지제 첨가물질 등을 농도별로 처리하였다. 호두나무 액아 배양 후 8주차 산화화방지제 첨가물질의 농도별 처리 효과는 생존율은 85.3%를 보였으며, 신초 형성율 76.4%, 신초수 1.9개/주, 신초장 27mm/주의 양호한 결과를 나타냈으며, 페놀 제거 및 유식물체 고사 억제 효과를 보였다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.17 no.1
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• pp.54-59
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• 2006

Biophotonic sensors based on polymer waveguide with Bragg reflection grating are demonstrated in this work. Waveguide Bragg reflectors were designed by using the effective index method and the transmission matrix method. The grating pattern was formed by exposing the laser interference pattern on a photoresist. On top of the inverted rib waveguide, the Bragg reflection grating was inscribed by the O2 plasma etching. In order to perform the bio-molecule detection experiment, a calixarene molecule was self-assembled on top of thin Au film deposited on the waveguide Bragg reflector. To measure the response of the sensor, several PBS solutions with different concentrations of potassium ion from 1 pM to $100\;{\mu}M$ were dropped on the sensor surface. The shift of Bragg reflection wavelength was observed from the fabricated sensor device, which was proportional to the concentration of potassium ion ranging from 1 pM to 108 pM.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.26 no.4
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• pp.203-208
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• 2015

Wavelength filters are essential components for selecting a certain wavelength channel of a WDM optical communication system. To realize wavelength filters with narrow bandwidth and high reflectivity, an apodized grating structure with length of 15 mm and index modulation of $5{\times}10^{-4}$ was designed. The device exhibited a reflectivity of 95%, 3-dB bandwidth of 0.28 nm, and 20-dB bandwidth of 0.70 nm on an 18 mm grating length.