• 제목/요약/키워드: 직접측정

검색결과 3,873건 처리시간 0.038초

전자선 직접묘사에 의한 Deep Submicron NMOSFET 제작 및 특성

  • 이진호;김천수;이형섭;전영진;김대용
    • ETRI Journal
    • /
    • 제14권1호
    • /
    • pp.52-65
    • /
    • 1992
  • 전자선 직접묘사 (E-beam direct writing lithography) 방법을 이용하여 $0.2\mum$$0.3\mum$ 의 게이트길이를 가지는 NMOS 트랜지스터를 제작하였다. 게이트만 전자선 직접묘사 방법으로 정의하고 나머지는 optical stepper를 이용하는 Mix & Match 방식을 사용하였다. 게이트산화막의 두께는 최소 6nm까지 성장시켰으며, 트랜지스터구조로서는 lightly-doped drain(LDD) 구조를 채택하였다. 짧은 채널효과 및 punch through를 줄이기 위한 방안으로 채널에 깊이 붕소이온을 주입하는 방법과 well을 고농도로 도핑하는 방법 및 소스와 드레인에 $p^-$halo를 이온주입하는 enhanced lightly-doped drain(ELDD) 방법을 적용하였으며, 제작후 성능을 각각 비교하였다. 제작된 $0.2\mum$의 게이트길이를 가지는 소자에서는 문턱전압과 subthreshold기울기는 각각 0.69V 및 88mV/dec. 이었으며, Vds=3.3V에서 측정한 포화 transconductance와 포화 드레인전류는 각각 200mS/mm, 0.6mA/$\mum$이었다. $0.3\mum$소자에서는 문턱전압과 subthreshold 기울기는 각각 0.72V 및 82mV/dec. 이었으며, Vds=3.3V에서 측정한 포화 transconductance는 184mS/mm이었다. 이러한 결과는 전원전압이 3.3V일 때 실제 ULSI에 적용가능함을 알 수 있다.

  • PDF

직접접촉식 RF MEMS 스위치에서의 미소용접 현상 억제 (Suppression of Microwelding on RF MEMS Direct Contact Switches)

  • 이태원;김성준;박상현;이호영;김용협
    • 한국항공우주학회지
    • /
    • 제33권4호
    • /
    • pp.41-46
    • /
    • 2005
  • 본 연구에서는 고 전력의 RF 신호용 직접 접촉식 스위치에서 문제가 되고 있는 접촉부위에서의 미소용접에 의한 점착 현상을 감소시키기 위해, 고 융점 금속인 텅스텐(W)과 몰리브덴(Mo)을 스위치 접촉 부위에 코팅하여 스위치의 성능을 분석하였다. 스위치의 삽입손실과 신호격리도, 전력 손실 등의 변화를 네트워크 분석기, 전력 측정기 등을 통하여 측정하였다. 측정결과로부터 RF 신호 전송에 있어서 낮은 입력 전력에서는 고융점 금속이 금(Au)보다 접촉저항이 더 크지만 입력 전력이 커지면 비교적 낮은 비저항의 고융점 금속을 사용하는 것이 고전력 전송 및 수명 연장에 있어서 유리함을 밝혀냈다.

생체전기신호의 측정, 처리 및 해석 (Biopotential Signal Measurement, Processing and Analysis)

  • 우응제
    • 한국정밀공학회지
    • /
    • 제21권4호
    • /
    • pp.12-18
    • /
    • 2004
  • 본 글에서는 인체로부터 생체전기신호를 측정하고 처리 및 해석하는 기술을 소개한다. 일반적인 계측 시스템을 구성하는 필수적인 네 가지 요소는 측정대상, 센서부, 신호처리부, 그리고 출력부이다. 생체전기신호의 측정에서 측정대상은 인체를 포함하는 생명체이다. 경우에 따라서는 생명체로부터 떼어 낸 특정 부위가 측정대상이 될 수도 있으나 본 글에서는 살아 있는 인체를 측정대상으로 설정하기로 한다. 또한 인체로부터 방사되는 에너지를 측정하는 비접촉 방식은 다루지 않고, 측정 부위를 인체의 내부 또는 표면으로 제한한다. 즉, 센서를 측정 부위에 직접 부착하는 접촉형 인체-센서 인터페이스 방법을 사용하는 경우만을 다루기로 한다.(중략)

층간 소음 분석 시스템 설계 (Design of Noise Complaint Issues analysis System)

  • 이승환;김중도;박태현;김태민;안동순
    • 한국콘텐츠학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국콘텐츠학회 2015년도 춘계 종합학술대회 논문집
    • /
    • pp.449-450
    • /
    • 2015
  • 본 논문에서는 실내 소음 측정하고 가시화하여 이 소음이 어느 곳에서 나오는 소음인지 와 심할 경우 유지보수를 할 수 있는 시스템을 제안하였다. 이 논문에서 설명할 내용을 요악하면 기존의 등록되어 있는 지도를 불러와 소음을 측정한다. 소음 측정은 스마트 폰의 마이크를 이용하여 측정한다. 기존에도 스마트폰으로 측정할 수 있는 소음 측정 어플이 있지만 소음을 측정 후 사용자에게 소음을 시각화로 보여주는 것은 없다. 그래서 실내에 비콘을 설치하여 지도내에 위치를 표시하게끔 한다. 실내에서는 좌표가 잘 잡히지 않기 때문에 gps를 사용하는 것보다 비콘을 이용하여 삼각측량법으로 좌표를 잡는다. 비콘은 공간좌표를 DataBase에 저장한다. 저장된 공간좌표를 어플 내에 등록된 지도에 표시해주고 스마트폰을 통한 어플로 측정한 소음을 지도에 찍힌 공간 좌표에 점으로 연결하여 선형보관볍을 이용하여 소리를 맵핑화 시켜 사용자가 눈으로 직접 어느 곳이 소음이 심한지 확인할 수 있다. 추후 개선할 사항으로 지도를 미리 등록하지 않고 측정을 시작하는 동시에 움직이는 거리에 따라 지도가 그려지면서 측정하는 방식을 계획중이다.

  • PDF

고온 초전도 트랜지스터의 채널 식각 두께에 따른 임계 특성 자동 측정장치 구축 (Implementation of Automatic measurement system for a Change of channel etching thickness with a HTS Transistor)

  • 현종옥;강형곤;고석철;한병성
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.1
    • /
    • pp.561-564
    • /
    • 2003
  • 본 연구는 고온 초전도 자속 흐름 트랜지스터의 채널 식각 두께에 따른 임계 특성의 자동 측정을 위해 나노옴/마이크로 볼트 미터 와 전원공급기 등 측정에 필요한 장비들을 GPIB 인터페이스 보드를 통해 PC와 연결하여 측정 장치를 구축후 직접 제작한 측정 프로그램을 통해 자동으로 시편에 전류, 전압을 가한후 임계 특성값을 효율적인 방법으로 측정하고 측정 결과값들을 시간순서 및 측정 대상에 따라 데이터 베이스화 하는 방법에 대하여 소개한다. 부수적으로 임계 특성의 정확한 측정을 위해 실험에 변수가 되는 요소들을 찾아내고 실험 데이터값들로부터 오차를 발견, 오차의 원인이 되는 식각 방법 및 실험 환경등의 부가적인 요소들을 고려하여 개선된 측정 장치를 구축하는데 경제적, 시간적인 효율성 측면에 대해 언급했다.

  • PDF

수치근접사진측량에 의한 조경석의 표면 거칠기 정밀측정 (The Precision Measurement of Stone′s Surface Roughness by Digital Close-Range Photogrammetry)

  • 이효성;안기원
    • 한국측량학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국측량학회 2000년도 추계학술발표 논문집
    • /
    • pp.40-50
    • /
    • 2000
  • 본 연구에서는 Rolleiflex 6006 측정용 카메라로 촬영된 사진과 DCS 420 디지털 카메라로부터 촬영된 화상을 이용, 수치근접사진측량을 실시한 후, 조경석의 표면 거칠기 측정 정확도 향상을 위하여 최소제곱법으로 기준평면 또는 기준곡면을 찾아 사용하는 방법을 연구하였으며, 조경석 표면의 연마 이전과 연마 이후의 표면 거칠기를 측정, 비교하여 연마후의 거칠기 감소크기를 산출하고, 측정 정확도를 알아보기 위하여 거칠기가 거의 없는 평면인 돌과 곡면인 돌의 표면 거칠기를 측정한 결과, 그 거칠기를 기대정확도 이상인 각각 $\pm$0.lmm 및 $\pm$0.2mm의 정확도로 측정할 수 있었다. 또한 측정용 카메라인 경우 렌즈왜곡 보정에 있어서 검정자료를 토대로 기준점을 사용하지 않는 직접보정방법인 Newton-Raphson법을 적용하여 기하학적 정확도가 향상된 수치사진화상을 얻을 수 있었으며, DCS 420 디지털 카메라와 윈도우 운영체계인 Visual basic 6.0을 이용하여, 표면 거칠기 측정시스템을 구축함으로써 연마이전 조경석과 연마이후 조경석에 대한 표면 거칠기 및 형상을 정밀 측정할 수 있는 수치근접사진측량기법을 제시할 수 있었다.

  • PDF

다중 프로브 교정 오차 보정에 관한 연구 (Development of Error Compensation Program for the Articulating Probe Calibration)

  • 김형주;이동주;정광진
    • 한국공작기계학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국공작기계학회 2004년도 춘계학술대회 논문집
    • /
    • pp.9-14
    • /
    • 2004
  • 이 논문에서는 다중 프로브 교정 시 발생하는 오차를 측정하여 보정함으로써 측정 정밀도를 향상시킬 수 있는 프로그램을 개발에 대하여 연구하였다. 교정 시와 동일한 조건으로 기준구를 측정하여 오차를 산출한 다음 프로브 파라미터가 기록된 시스템 파일을 수정함으로써 교정 오차를 보정하는 프로그램을 개발하였다. 실험 결과 이론값과 실제값의 차가 CMM 분해능의 2배 이내임을 확인하였으며 프로그램은 CMM 사용자가 직접 작성 및 편집 가능하도록 DMIS 언어를 사용하였다.

  • PDF

우리나라의 산업별 지식기반도 측정

  • 최종후;한성희;홍병석
    • 한국통계학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국통계학회 2000년도 추계학술발표회 논문집
    • /
    • pp.91-95
    • /
    • 2000
  • 본 연구는 우리나라 산업구조에 있어서 지식과 기술의 영향을 파악하기 위하여 기술지표(R&D, IT집약도, 특허)와 인적자원지표(R&D인력, 대졸자수, 과학기술인적자원)를 기초로 117개 산업에 대한 지식기반도 측정을 시도한 것이다. 지식기반도 측정을 위한 분석모형으로 LISREL 모형이 적용되었다. 지식기반산업에 대한 기존의 연구로서는 OECD(1996)에 의한 R&D 직접투자와 간접투자를 이용한 분석이 있으나 기술과 인적자본 지표를 모두 활용하여 계량적으로 분석한 것은 새로운 시도이다.

  • PDF

$CuIn_3Se_5$ 박막의 성장과 특성 (Growth and Characterization of $CuIn_3Se_5$ Thin Film)

  • 김창대
    • 한국진공학회지
    • /
    • 제3권2호
    • /
    • pp.203-206
    • /
    • 1994
  • 동시증착법으로 성장한 CuIn3Se5 박막의 구조 및 광학적 특성을 XRD, SEM 광투과 및 광반사 측정으로부터 조사하였다. XRD 측정에 의하면 CuIn3Se5 는 정열된 Cu 빈자리와 Cuqls자리에 in으로 대 치되는 defect chalcopyrite 구조임이 확인디었다. 또한 광흡수 측정으로부터 CuIn3Se5 는 금지대내에서 직접 전이에 의한 광흡수 특성을 보여주며 이때 에너지띠 간격은 1.27ev 이었다. CuIn3Se5 박막에 대한 연구결과들은 CuInSe2 의 결과들과 비교하여 논의하였다.

  • PDF

동시 다중 쓰레딩을 이용하는 마이크로 프로세서 성능평가 (Performance Evaluation of a Simultaneous MultiThreading)

  • 이정훈;오영은;박형우;김진석
    • 한국정보과학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국정보과학회 2003년도 봄 학술발표논문집 Vol.30 No.1 (A)
    • /
    • pp.1-3
    • /
    • 2003
  • 프로세서의 효율을 높이기 위한 방법으로 독립적인 쓰레드들을 한 프로세서 사이클에 동시에 실행시킬 수 있는 SMT 기술에 관한 많은 연구가 수행되어왔다[1, 2, 3, 4]. 많은 연구에서 SMT 기술에 대한 성능을 시뮬레이션 수준에서 측정하였기 때문에, 실제 환경에서 SMT 기술의 성능을 측정할 필요가 있다. 본 논문에서는 SMT 기술이 구현된 프로세서에서 각종 벤치마킹을 직접 수행해 봄으로써 실제 환경에서의 성능을 측정해 보았으며, 이를 기존의 SMP와의 비교를 통해 SMT 기술이 실제로 얼마만큼 좋은 성능을 낼 수 있는지 실험을 통해 보였다.

  • PDF