• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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• v.26 no.2
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• pp.112-117
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• 1989

This paper describes to the unit rectangle EB direct writing lithography method using SEM. This method has the constant exposure time to any rectangle pattern. In order to change the EB current according to various rectangle size for the constant exposure time, the supply current of condenser lens in controlled by BITMAP-IV CAD system. By this method, the resizing procedure of density pattern area is not needed to pattern data conversion, and the through-put ofr exposure is increased about 172 times compared with the unit scan exposure method.

• ETRI Journal
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• v.14 no.1
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• pp.52-65
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• 1992

전자선 직접묘사 (E-beam direct writing lithography) 방법을 이용하여 $0.2\mum$ 과 $0.3\mum$ 의 게이트길이를 가지는 NMOS 트랜지스터를 제작하였다. 게이트만 전자선 직접묘사 방법으로 정의하고 나머지는 optical stepper를 이용하는 Mix & Match 방식을 사용하였다. 게이트산화막의 두께는 최소 6nm까지 성장시켰으며, 트랜지스터구조로서는 lightly-doped drain(LDD) 구조를 채택하였다. 짧은 채널효과 및 punch through를 줄이기 위한 방안으로 채널에 깊이 붕소이온을 주입하는 방법과 well을 고농도로 도핑하는 방법 및 소스와 드레인에 $p^-$halo를 이온주입하는 enhanced lightly-doped drain(ELDD) 방법을 적용하였으며, 제작후 성능을 각각 비교하였다. 제작된 $0.2\mum$의 게이트길이를 가지는 소자에서는 문턱전압과 subthreshold기울기는 각각 0.69V 및 88mV/dec. 이었으며, Vds=3.3V에서 측정한 포화 transconductance와 포화 드레인전류는 각각 200mS/mm, 0.6mA/$\mum$이었다. $0.3\mum$소자에서는 문턱전압과 subthreshold 기울기는 각각 0.72V 및 82mV/dec. 이었으며, Vds=3.3V에서 측정한 포화 transconductance는 184mS/mm이었다. 이러한 결과는 전원전압이 3.3V일 때 실제 ULSI에 적용가능함을 알 수 있다.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2016.05a
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• pp.93-93
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• 2016

최근 증가하고 있는 기후변화에 의해 설계빈도를 상회하는 강우의 발생빈도가 증가하고 있으며, 이로 인한 도시유역의 내수범람 피해가 증가하고 있다. 도시유역에서 발생하는 침수 피해의 경우 인적 물적 자원이 집중되어 있는 도시의 특성으로 인해 침수로 인한 직접적 피해 규모가 상당할 뿐만 아니라 침수 발생 후 세균 및 박테리아에 의해 발생하는 수인성 전염병의 유행 등과 같은 2차적 피해 또한 심각한 사회적 비용을 초래할 수 있어 도시유역의 침수 피해를 저감시키기 위한 대책이 절실히 요구되어지고 있다. 도시유역의 침수를 예방하기 위한 대책은 구조적 비구조적 대책으로 구분되어 질 수 있으며 구조적 대책의 경우 침수 피해 예방에 직접적인 효과를 낼 수 있다는 장점이 있으나 대규모 사업예산 및 사업 기간으로 인해 직접적 효과를 보기까지 상대적으로 긴 시간이 필요할 뿐만 아니라 사업 진행 중 대상지역 거주민들의 민원으로 인한 갈등 조정 등으로 인해 사업실행에 어려움을 겪고 있다. 이러한 측면에서 비구조적 대책의 일환인 수치해석을 통한 침수피해 재현 및 침수원인 파악을 통한 구조개선 제안은 구조적 대책의 단점을 보완할 수있는 좋은 대안이 될 수 있다. 도시유역의 경우 비도시유역과 대조적인 차이점으로는 높은 비율의 불투수층, 복잡한 지형, 다수의 인공 구조물 및 배수관망 시스템 등을 들 수 있으며, 침수해석 모형의 정확도를 높이기 위해서는 복잡한 지형의 효율적인 처리가 무엇보다 중요하다. 일반적으로 이용되는 2차원 침수해석 모형들은 직교구조 격자 또는 비구조 격자를 이용하여 지형을 묘사하고 있으며 DEM 자료를 직접 사용하는 직교구조 격자의 경우 지형 데이터 생성이 상대적으로 쉽다는 장점이 있으나 복잡한 지형을 표현하기 위해서는 불필요한 지역까지 높은 해상도를 이용해야 하며 이로 인하여 모의시간이 지나치게 길어지는 문제점이 발생한다. 비구조 격자의 경우 상대적으로 복잡한 도시 유역을 잘 묘사할 수 있다는 장점이 있으나 격자망 생성에 필요한 데이터가 많고 격자망 생성에 지나치게 많은 시간과 노력이 소요된다는 단점이 있다. 따라서 본 연구에서는 위에서 언급한 두 가지 방법의 장점만을 취할 수 있도록 메쉬 세분화 기법을 이용한 2차원 침수해석 모형을 개발 하여 복잡한 지형은 고해상도 메쉬를 이용하여 보다 자세히 묘사하고 상대적으로 복잡하지 않은 지형은 저해상도 메쉬를 이용하여 계산시간을 단축시킬 수 있도록 하였다. 수치해석 기법으로는 엇갈림 격자를 이용하는 Leap-Frog 기법과 유한차분 (Finite difference Method)기법을 이용하였다.

• Journal of the Korean Geotechnical Society
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• v.22 no.10
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• pp.173-181
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• 2006

A Two Mobilized-Plane Model is proposed for monotonic and cyclic soil response including liquefaction. This model is based on two mobilized planes: a plane of maximum shear stress, which rotates, and a horizontal plane which is spatially fixed. By controlling two mobilized planes, the model can simulate the principal stress rotation effect associated with simple shear from different $K_0$ states. The proposed model gives a similar skeleton behaviour for soils having the same mean stress, regardless of $K_0$ conditions as observed in laboratory tests. The soil skeleton behaviour observed in cyclic drained simple shear tests, including compaction during unloading and dilation at large strain is captured in the model. Undrained monotonic and cyclic response is predicted by imposing the volumetric constraint of the water on the drained or skeleton behaviour. This constitutive model is incorporated into the dynamic coupled stress-flow finite difference program of FLAC (Fast Lagrangian Analysis of Continua). The model was first calibrated with drained simple shear tests on Fraser River sand, and verified by comparing predicted and measured undrained behaviour of Fraser River sand using the same input parameters.

• ETRI Journal
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• v.14 no.1
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• pp.40-51
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• 1992

$0.25{\mu} m$ 급 pMOSFET소자를 구현하기 위해, $P^+$ 폴리실리콘을 적용한 pMOS를 제작하였으며, $p^+$ 폴리실리콘 게이트 소자에서 심각하게 문제가 되고 있는 붕소이온 침투현상을 조사하고 붕소이온 침투가 일어나지 않는 최적열처리온도를 조사하였다. 소자제조 공정중 게이트 공정만 전자선 (EBML300)을 이용하여 직접묘사하고 그 이외의 공정은 stepper(gline) 을 사용하는 Mix & Match 방법을 사용하였다. 또한 붕소이온 침투현상을 억제하기 위한 한가지 예로서, 실리콘산화막과 실리콘질화막을 적층한 ONO(Oxide/Nitride/Oxide) 구조를 게이트 유전체로 적용한 소자를 제작하여 그 가능성을 조사하였다. 그 결과 $850^{\circ}C$의 온도와 $N_2$ 분위기에서 30분동안 열처리 하였을 경우, 붕소이온의 침투현상이 일어나지 않음을 SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometer) 분석 및 C-V(Capacitance-Voltage) 측정으로 확인할 수 있었으며 그 이상의 온도에서는 붕소이온이 침투되어 flat band전압(Vfb)을 변화시킴을 알았다. 6nm의 얇은 게이트 산화막 및 $0.1{\mu} m$ 이하의 LDD(Lightly Doped Drain) $p^-$의 얇은 접합을 형성함으로써 소자의 채널길이가 $0.2 {\mu} m$까지 짧은 채널효과가 거의 없는 소자제작이 가능하였으며, 전류구동능력은 $0.26\muA$/$\mu$m(L=0.2$\mu$m, V$_DS$=2.5V)이었고, subthreshold 기울기는 89-85mV/dec.를 얻었다. 붕소이온의 침투현상을 억제하기 위한 한가지 방법으로 ONO 유전체를 소자에 적용한 결과, $900^{\circ}C$에서 30분의 열처리조건에서도 붕소이온 침투현상이 일어나지 않음으로 미루어 , $SiO_2$ 게이트 유전체보다 ONO 게이트 유전체가 boron 침투에 대해서 좋은 장벽 역활을 함을 알았다. ONO 게이트 유전체를 적용한 소자의 경우, subthreshold특성은 84mV/dec로서 좋은 turn on,off 특성을 얻었으나, ONO 게이트 유전체는 막자체의 누설전류와 실리콘과 유전체 계면의 고정전하량인 Qss의 양이 공정조건에 따라 변화가 심해서 문턱전압 조절이 어려워 소자적용시 문제가 된다. 최근 바닥 산화막(bottom oxide) 두께가 최적화된 ONO 게이트 유전체에 대하 연구가 활발히 진행됨을 미루어, 바닥 산화막 최적화가 된다면 더 좋은 결과가 예상된다.

• Proceedings of the Korean Fiber Society Conference
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• 2003.04a
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• pp.157-160
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• 2003

드래프트 공정을 거친 슬라이버의 선밀도 불균제는 제품의 품질과 공정의 효율 면에서 많은 문제를 일으킨다. 이러한 불균제의 특성을 해석하고 균제성을 제고하기 위해서는 실제 불균제가 발생하는 드래프트 존 내에서 섬유집속체의 동적거동을 정확하게 묘사해 줄 이론적 모델 연구가 필요하다. 본 연구에서는 이미 제시한 드래프트 존 내에서의 섬유의 동적거동을 묘사하는 fundamental equation을 바탕으로 force-deformation의 관계를 나타내는 constitutive model의 주요 model parameter 변동이 출력 슬라이버의 두께 flucturation에 미치는 영향으르 찾아보기 위하여 model simulation을 하고, fiber openness와 직접적인 관련이 있는 model parameter u의 변동범위를 실험을 통해 살펴보았다. (중략)

• Proceedings of the Korean Society for Cognitive Science Conference
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• 2005.05a
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• pp.216-219
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• 2005

언어 작업기억과 시공간 작업기억이 아동의 글 이해에 미치는 영향을 알아보기 위해 정상 아동과 읽기 지진아동들에게 두 개의 연구를 실시하였다. 연구 1에서는 글의 유형(설명글과 묘사글)별로 글 이해 정도와 언어작업기억과 시공간 잡기장 용량을 측정하여, 정상아동과 읽기 지진 아동 간에 차이가 있는지 알아보았다. 연구 2에서는 글 유형과 2차 기억과제와의 간섭효과를 측정하여 보다 직접적으로 글 유형에 따라 관여하는 작업기억의 종류가 다를 수 있는지를 알아보았다. 두 연구에서 읽기지진 아동은 묘사글을 읽을 때 시공간 작업기억을 사용하는 것을 밝혀내었다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.54-54
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• 2004

집속체의 드래프트 공정(롤러 인발 공정)의 경우, 선밀도의 변동성(irregularity)은 드래프트 비, 롤러 간격 등의 공정조건과 집속체, 응집도, 엉킴 등으로 대표되는 openness 애 큰 영향을 받는다. 본 연구에서는 유동계 내에서의 집속체 동적거동을 묘사하는 기본 방정식을 바탕으로 openness 와 직접적인 관련이 있는 구성모델의 주요 파라메타($\mu$)의 변동을 auto-covariance function 으로 묘사되는 확률과정 신호(stochastic signal)로 생각하여, 이 신호를 생성하고, 모델 시뮬레이션을 통하여 출력 집속체의 선밀도 변동을 살펴 보았으며, 출력 집속체의 선밀도가 거의 일정하게 유지되는 출력구간 근처에서 선밀도 불균제 특성을 해석하였다.(중략)

• Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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• 1998.10a
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• pp.697-699
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• 1998

본 논문은 프로세서 알제브라의 하나인 ACSR을 이용하여 파이프라인 비순차 슈퍼스칼라 프로세서의 타이밍 특성과 자원 제한을 묘사하기 위한 정형기법을 제시한다. ACSR의 두드러진 특징은 시간, 자원, 우선 순위의 개념이 알제브라에서 직접적으로 제공되어 진다는 것이다. 여기서의 접근 방식은 슈퍼스칼라 프로세서의 레지스터를 ACSR 자원으로, 명령어를 ACSR 프로세서로의 모델링하는 것이다. 결과적으로 얻어지는 ACSR식에서 각각의 클럭 주기에서 어떻게 명령어가 실행되고 레지스트들이 이용되는지 확인할 수 있으며 이 모델링을 이용해서 비순차 슈퍼스칼라 프로세서 구조를 검증하거나 분석하는 것이 가능하다.

• Computational Structural Engineering
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• v.11 no.1
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• pp.90-95
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• 1998

본 고에서는 비압축성 점성유체의 유한요소해석 기법을 소개하였다. 대류항의 상류화 기법으로 안정된 해를 도출할 수 있으며 Penalty 방법에 기반하여 압력항을 지배방정식으로부터 소거함으로써 해석시간과 요구저장공간을 감소시켰다. 실린더 주변의 유동장을 해석하여 와의 방출을 성공적으로 묘사하였으며 항력계수를 17%정도의 오차로 계산하였다. 적응적 요소세분화 기법에 대한 연구를 통해 적절한 오차평가 기법 및 최적의 체눈을 형성하는 기법을 제시하였다. 또한 동적 해석에 적합한 요소재결합 알고리즘에 대한 연구가 진행중이다. 본 고의 결과는 직접적으로 풍공학분야에 사용하기에는 아직 계산 시간의 효율성이나 해의 정확도 및 안정성면에서 무리가 있으나 추가적인 연구를 통하여 해석기법의 개선을 도모하고 컴퓨터 등 계산장비의 급속한 발전으로 장래에 경쟁력을 획득할 수 있을 것으로 기대된다.