• The Proceedings of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.10 no.5
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• pp.57-65
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• 1996

초고속 정전유도형 정전전동기의 개발의 위한 기초연구로서 회전자 물질의 표면저항률, 비유전율 및 전하완하시정수의 변화에 따른 회전자의 회전속도특성을 조사하였다. 회전자표층물질의 비유전율 및 표면저항률은 클수록 회전자의 회전속도는 증가하였으며, 또한 이 두 요소를 곱한 회전지표면에 유도된 전하의 완화시정수가 클수록 회전속도는 증가하였다. 한편 회전자표층물질로서 도전성물질(Ti)을 폴리프로필렌 위에 불연속적으로, 즉 띠의 모양으로 증착한 시료를 사용하여 띠의 폭 및 경사각의 변화에 따른 회전자의 회전속도특성 및 토크 특성을 조사하였다. 이 경우 띠의 폭이 적어질수록 회전자의 회전수는 지수함수적으로 증가하였으며, 등간격으로 세분화한 것을 회전자의 축에 대해서 회전방향으로 경사각$\theta$만큼 기울였을 때 $\theta$=60。 및 150。일 때 회전자의 회전속도가 가장 큰 것으로 나타났으며, 특히 경사각 $\theta$=0。일때에 비해서 약 125[%]정도 높은 회전속도를 보였다. 최대토크 및 최대출력은 각각 {{{{25$\times$ { 10}^{ -6} [Nm]}}}}및 11.5[mW]이었다.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.6 no.4
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• pp.339-346
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• 1993

정전결합 유동가스형 플라즈마 중합장치를 이용하여 여러가지 모노머에 대한 유기고분자 박막을 빗모양 전극위에 형성하고 이들 박막의 감습특성을 검토하기 위해 주파수범위를 60[kHz]-100[kHz]로 변화시켜 가면서 상대습도 20-90[%RH]범위에서 정전용량의 변화를 측정하였다. 상대습도가 증가함에 따라 정전용량은 일반적으로 증가했으며 방전조건중 방전전력이 낮을수록 그리고 중합시간이 짧을수록 정전용량의 증가폭이 크게 나타났다. 그리고 정전용량 측정시 박막에 인가한 전원의 주파수가 낮을수록 정전용량의 변화에 대한 선형성과 증가폭이 분명함을 알았다.

• Resources Recycling
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• v.13 no.1
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• pp.39-46
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• 2004

Triboelectrostatic separation process is a technology that different particles charged after contact and rubbing different materials are separated in a high electric field. This technology has an advantage in that it can be used for separating non-conducting materials such as plastics unlike other electrostatic separation processes. There are two objectives in this study. One is to develop an effective continuous tribo-electrostatic separation process. The other is to apply the developed device for the separation of mixed plastics. Results show that almost all tested plastics reaches over 95% in yield and grade after separation.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2005.07c
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• pp.1898-1899
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• 2005

반도체 집적회로 공정에서 사용되는 폴리이미드 포토레지스트(P12723, Dupont)를 감습막으로 사용하는 마이크로 습도센서 소자를 제작하였다. 마이크로 습도센서는 실리콘 웨이퍼 기판 위에 $SiO_2$ 박막을 건식열산화 공정으로 제작하고, Al 박막을 포토리소그라피 공정으로 패터닝 한 IDT (Interdigital Transducer)를 전극 위에 폴리이미드 포토레지스트를 공정변수를 다양하게 조절하면서 감습막으로 제작하였다. 폴리이미드 감습막은 스핀코팅법으로 제작하였으며, 회전수를 조절하여 두께를 변화시켰다. 완성된 마이크로 습도센서 소자의 상대습도 변화$(10{\sim}90% RH)$에 따른 정전용량 값 변화를 항온항습조 내에서 다양한 온도에서 HP4192A Impedance Analyzer를 사용하여 조사함으로써, 폴리이미드 포토레지스트를 사용하는 마이크로 정전용량형 습도센서의 제작 가능성을 검토하였다. 폴리이미드 정전용량형 마이크로 습도센서는 다양한 인가 전원 주파수에서 기준 센서로 사용된 상용 Vaisala Hygrometer와 유사한 감습특성 및 응답특성을 보였다.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2009.11a
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• pp.54-57
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• 2009

The propellant level measurement system of the next Koreanized launch vehicle shall adapt a capacitive type sensor, which can generate capacitive values continuously considering cryogenic environment and the characteristics of flowrate control. At present there are a twin-arc and a triple-arc methods as a capacitive type signal sensing method. In this study a highly accurate triple-arc method, which can apply to almost all fluids, is chosen. In this paper the review results on the principle of triple-arc sensing, the analysis results on the influence on capacitive values due to shape change of sensing part, and the simulation results to monitor the influence on signal sensing according to the location of sensing part in the upper part of propellant tank are included. Information obtained from this study can be used in the designing and manufacturing of on-board propellant level measurement system in tanks.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.10 no.4
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• pp.440-448
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• 2001

The operation properties of DBD plasma reactors were observed by using 20 kV square pulse at the cylindrical and planar type of reactors in the condition of air pressure. The optimum operation frequency $f_0$ which optimizes the efficiency of operation was found as such $f_0\proptoexp(-C)$ when the current-voltage curve and charge-voltage curve were observed. Using these properties the dissipated power was evaluated. The dissipated power at the optimum frequency of operation was varied as the value of capacitance which is dependent on the structure and the dielectric material of the reactor, and had the maximum value at the specific value of capacitance. With these value of capacitance, DBD reactors which has a high level of efficiency can be formed.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.23 no.9 s.186
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• pp.179-189
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• 2006

Recently the electrostatic 2-axis MEMS stages have been fabricated f3r the purpose of an application to PSD (Probe-based Storage Device). However, all of the components (platform, comb electrodes, springs, anchors, etc.) in those stages are placed in-plane so that they have low areal efficiencies such as a few percentage, which is undesirable as data storage devices. In this paper, we present a novel structure of an electrostatic 2-axis MEMS stage that is characterized by having a large areal efficiency of about 25%. For obtaining large area efficiency, the actuator part consisting of mainly comb electrodes and springs is placed right below the platform. The structure and operational principle of the MEMS stage are described, followed by a design and analysis, the fabrication and measurement results. Experimental results show that the driving ranges of the fabricated stage along the x and y axis were 27$\mu$m, 38$\mu$m at the supplied voltages of 65V, 70V, respectively and the natural frequencies along x and y axis were 180Hz, 310Hz, respectively. The total size of the stage is about 5.9$\times$6.8mm$^2$ and the platform size is about 2.7$\times$3.6mm$^2$.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1995.10a
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• pp.487-490
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• 1995

This paper discisses the effects geometric errors on the measurement of error motions of rotor with the cylindrical capacitive displacement sensor. Analytic model of the measuring process with this sensor is derived and this model shows that the effect of geometric errors of sensor is larger than that of rator on the measurement of error motions of rotor. The computer simulation shows effect of periodic errors in this sensor on the measuring orbit.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2015.07a
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• pp.1241-1242
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• 2015

이 연구는 정전용량형 압력센서 내의 공기가 센서 성능에 미치는 영향을 줄이고자 이론적 접근과 실험적 확인을 통해 제안된 바 있는 센서 모델을, 유한요소해석 프로그램인 ANSYS로 각각의 조건에 따라 해석하여 기존에 제시 된 결과들과 비교하는 과정을 다루었다. FEA(Finite Element Analysis)결과, air chamber를 추가한 센서는 기존의 센서보다 sensitivity가 향상되었음을 확인할 수 있었다. 또한, FEA로 얻은 sensitivity 값은 이론값과 1.8%~10.1%의 차이를 보였으며, sensitivity ratio는 이론값과 실험값의 중간 정도로 나타났다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.04b
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• pp.211-213
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• 2008

배전선로는 항상 각종 공작물과 아주 가까운 상태에서 존재하고 있어 배전선로 근접 작업 시 전력선에 근접으로 인한 섬락 또는 접촉으로 작업원이 감전 재해를 입을 수 있으며 또는 비, 바람, 조류 등에 의한 이물 접촉으로 설비 고장을 유발 시킬 수 있다. 이러한 감전재해 및 설비고장을 예방하기 위하여 22.9kV-y 전력선의 직선부분에 사용할 수 있는 직선형 방호관을 개발하여 건설현장 주변의 전력선에 방호조치 함으로서 전력선 근접 작업 시 작업종사자의 안전 확보에 이바지함은 물론 정전사고방지에도 크게 기여하여 왔다. 그러나 22.9kV-y 배전선로의 점퍼선부분과 변압기의 인상선 등 곡선으로 되었거나 구불구불한 형상으로 된 부위는 직선형 방호관으로는 방호조치가 불가능하여 산업안전보건법이 정한 산업안전기준에 관한 규칙 제327조 제2호에 의한 방호조치를 취하지 않고 근접작업이 진행되어 감전재해와 정전사고가 발생되어 왔었다. 한전에서 협력업체와 공동으로 연구개발한 소용돌이형 점퍼선방호관을 그동안 방호조치를 취하지 못한 점퍼선이나 구불구불한 전력선부위에 방호조치를 함으로서 감전재해의 예방과 정전사고 발생을 획기적으로 감소시킬 것으로 기대된다.