• 제목/요약/키워드: 정전용량법

검색결과 96건 처리시간 0.023초

주사형 정전용량 현미경(SCaM)의 개발

  • 김응규
    • 전기의세계
    • /
    • 제42권9호
    • /
    • pp.6-11
    • /
    • 1993
  • 미소탐침을 STM과 같이 PZT등의 압전액튜에이터로 대상물을 2차원 또는 2.5차원 주사해서 그 정전량을 화상화하는 주사형 정전용량 현미경(SCaM)의 개발에 대해서 기술했다. 광학현미경과 레이저현미경은 빛을 이용하기 때문에 파장의 제약을 받아 그 분해능의 한계는 0.3[.nu.m]정도이다. 이것에 대해 SCaM은 광학방식가 같은 분해능의 원리적 한계가 없고, 또한 광학상과는 다른 유전율상의 특성화상이 얻어진다. 이와같은 특징에 의해, 최종적으로 0.01[.mu.m]레벨의 분해능을 얻을 수 있는 실용레벨의 현미경을 시험제작함을 목적으로 하고 있다. 본 연구에서는 탐침과 시료표면간의 거리를 진동에 의해 미소로 변화시켰을 때의 정전용량의 변화를 포착하는 미분용량법을 이용했으며, 탐침높이 및 주사시에 있어서의 검출기 출력의 재현성, 즉 신호 검출방식으로서의 S/N이 양호한 동기검파를 이용했을 대해서 실험적 검토를 하였다. 이와같은 검파방식에 의해 잡음, 히스테리시스 등의 영향에 대해 개선이 되고, 분해능도 향상되었다. 더욱이 2.5차원 탐침 주사방식 미분용량형 정전용량 현미경에 의해 칼날 부분 선단부의 확대화상이 명료하게 얻어졌다. 그러나 실용적으로는 아직 불충분하다.

  • PDF

대용량 3차원 구조의 정전용량 계산을 위한 Fast Algorithm (Fast Algorithm for the Capacitance Extraction of Large Three Dimensional Object)

  • 김한;안창회
    • 한국전자파학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국전자파학회 2002년도 종합학술발표회 논문집 Vol.12 No.1
    • /
    • pp.375-379
    • /
    • 2002
  • 본 논문에서는 수 만개이상의 미지수를 필요로 하는 복잡한 3차원 구조에서의 정전용량 추출을 위한 고속화 알고리즘(Fast mutilpole method)과 결합한 효과적인 적응 삼각요소 분할법(Adaptive triangular mesh refinement algorithm)을 제안하였다. 요소세분화과정은 초기요소로 전하의 분포를 구하고, 전하밀도가 높은 영역에서의 요소세분화를 수행하여 이루어진다. 제안된 방법을 이용하여 많은 미지수를 필요로 하는 IC packaging 구조에서의 정전용량을 추출하였다.

  • PDF

Calculation of Pixel and Inter-Electrode Capacitance of In-Plane Switching Liquid Crystal Displays using Three-dimensional Simulation

  • Park, Woo-Sang;Jung, Sung-Min;Jang, Sang-Han
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
    • /
    • 대한전자공학회 2003년도 하계종합학술대회 논문집 II
    • /
    • pp.739-742
    • /
    • 2003
  • 본 연구에서는 정전계 에너지를 이용하여 IPS-LCD의 화소와 각 전극간 정전용량을 엄정한 방법으로 계산하였다. 정전계 에너지는 전극의 유한한 크기로 인해 발생하는 측면 전장효과를 고려한 3차원 방향자와 전위분포를 시뮬레이션 함으로써 얻을 수 있었다. 수치해석 방법으로는 유한차분법을 사용하였다. 그 결과 IPS-LCD의 화소 정전용량과 게이트-공통전극간 정전용량은 구조적 특성으로 인해 기존의 TN-LCD와 비교하여 1/16배 가량으로 훨씬 더 작은 값을 나타냄이 확인되었다.

  • PDF

재귀적 최소 자승 추정법을 사용한 원격 센서 시스템 (Passive Telemetry Sensor System using Recursive Least Squares Estimation)

  • 김경엽;이준탁
    • 한국지능시스템학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국퍼지및지능시스템학회 2003년도 춘계 학술대회 학술발표 논문집
    • /
    • pp.333-337
    • /
    • 2003
  • 열악한 환경에서 동작해야 하거나 물리적 접근이 어려운 곳에 장착되는 센서 시스템의 경우, 유선에 의한 정보전달이 어려울 뿐만 아니라 센서 내 전원설비가 제한적일 수도 있다. 따라서, 본 논문에서는 이러한 문제점에 대한 해결책으로서 밧데리 없이 유도결합에 의하여 원격 센서로부터 정보 취득이 가능한 한 방법을 제안하였다. 이 방법은 전원공급에 의한 유도 결합식의 원격센서 시스템과는 달리, 원격 센서의 정전용량을 변ㆍ복조 과정 없이 재귀적 최소 자승 추정법에 의해 센서의 정전용량을 고정도로 추정하는 것이다. 이를 위하여 시스템의 유도결합 모델을 사용하여 정확도가 높은 원격 센서 시스템을 구현할 수 있었다.

  • PDF

폴리이미드를 감지막으로 한 마이크로 정전용량형 습도센서 (Micro humidity sensor with poly imide sensitive layer)

  • 신백균;조기선;박구범;육재호;박종관;임헌찬;지승한;김진식
    • 대한전기학회:학술대회논문집
    • /
    • 대한전기학회 2005년도 제36회 하계학술대회 논문집 C
    • /
    • pp.1898-1899
    • /
    • 2005
  • 반도체 집적회로 공정에서 사용되는 폴리이미드 포토레지스트(P12723, Dupont)를 감습막으로 사용하는 마이크로 습도센서 소자를 제작하였다. 마이크로 습도센서는 실리콘 웨이퍼 기판 위에 $SiO_2$ 박막을 건식열산화 공정으로 제작하고, Al 박막을 포토리소그라피 공정으로 패터닝 한 IDT (Interdigital Transducer)를 전극 위에 폴리이미드 포토레지스트를 공정변수를 다양하게 조절하면서 감습막으로 제작하였다. 폴리이미드 감습막은 스핀코팅법으로 제작하였으며, 회전수를 조절하여 두께를 변화시켰다. 완성된 마이크로 습도센서 소자의 상대습도 변화$(10{\sim}90% RH)$에 따른 정전용량 값 변화를 항온항습조 내에서 다양한 온도에서 HP4192A Impedance Analyzer를 사용하여 조사함으로써, 폴리이미드 포토레지스트를 사용하는 마이크로 정전용량형 습도센서의 제작 가능성을 검토하였다. 폴리이미드 정전용량형 마이크로 습도센서는 다양한 인가 전원 주파수에서 기준 센서로 사용된 상용 Vaisala Hygrometer와 유사한 감습특성 및 응답특성을 보였다.

  • PDF

RLSE에 기초한 밧데리없는 원격 정전용량 센서 시스템 (RLSE Based Batteryless Telemetry Capacitive Sensor System)

  • 김경엽;이오걸;이준탁
    • 대한전기학회:학술대회논문집
    • /
    • 대한전기학회 2003년도 하계학술대회 논문집 D
    • /
    • pp.2017-2019
    • /
    • 2003
  • 열악한 환경에서 동작해야 하거나 물리적 접근이 어려운 곳에 장착되는 센서 시스템의 경우, 유선에 의한 정보전달이 어려울 뿐만 아니라 센서 내 전원설비가 제한적인 수도 있다. 따라서 본 논문에서는 이러한 문제점에 대한 해결책으로서 밧데리없이 유도결합에 의하여 원격 센서로부터 정보 취득이 가능한 한 방법을 제안하였다. 이 방법은 전원공급에 의한 유도 결합식의 원격 센서 시스템과는 달리, 원격 센서의 정전용량을 변 복조 과정 없이 재귀적 최소 자승 추정법에 의해 센서의 정전용량을 고정도로 추정하는 것이다. 이를 위하여 시 스템의 유도결합 모델을 사용하였으며, 모델 파라미터가 시간에 따라 변화하는 경우에는 망각률을 사용하여 정확도가 높은 원격 센서 시스템을 구현할 수 있었다.

  • PDF

전기 자동차용 인덕션 히터의 인덕턴스 향상을 위한 최적설계 연구 (A Study on Optimum Design for inductance improvement of indution heater for Electric Vehicle)

  • 강준규;조병욱;김기찬
    • 한국콘텐츠학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국콘텐츠학회 2018년도 춘계 종합학술대회 논문집
    • /
    • pp.399-400
    • /
    • 2018
  • 인덕션 히터(Induction Heater)는 PTC 히터의 비해 빠른 온도 상승 효과를 가지고 있다. 인덕션 히터는 LC공진 회로로 구성된다. 커패시터의 정전 용량은 가격과 중량에 비례한다. 따라서 인덕턴스를 향상시켜서 정전용량을 줄여야 한다. 인덕턴스 향상을 위해 인덕션 히터의 구조를 변경하고 다구찌 기법과 유한요소법(FEM:Finite Element Method) 시뮬레이션을 통해 최적화 모델을 도출한다.

  • PDF

대용량 3차원 구조의 정전용량 계산을 위한 Fast Algorithm (Fast Algorithm for the Capacitance Extraction of Large Three Dimensional Object)

  • 김한;안창회
    • 한국전자파학회논문지
    • /
    • 제14권1호
    • /
    • pp.27-32
    • /
    • 2003
  • 본 논문에서는 수 만개 이상의 미지수를 필요로 하는 복잡한 3차원 구조에서의 정전용량 추출을 위한 고속화 알고리즘(Fast mutilpole method)과 결합한 효과적인 적응 삼각요소 분할법(Adaptive triangular mesh refinement algorithm)을 제안하였다. 적응 삼각요소 분할법은 3차원 물체의 표면을 초기요소로 분할하여 전하의 분포를 구하고, 전하밀도가 높은 영역에서의 요소세분화를 수행하여 이루어진다. 제안된 방법을 이용하여 많은 미지수를 필요로 하는 68-pin cerquad package구조에서의 정전용량을 추출하였다.

정전용량에 따른 단위수량 측정기법의 영향인자에 대한 실험적 연구 (A Study on Influencing Factors of Unit-Water Measurement method according to Electrostatic capacity)

  • 위준우;이영진;김정진
    • 한국건축시공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국건축시공학회 2013년도 춘계 학술논문 발표대회
    • /
    • pp.232-233
    • /
    • 2013
  • The unit-water content in fresh concrete determines consistency, and play an important role in condensing the structure of concrete and enhancing the durability of concrete. The capacitance measurement method measure quickly unit-water content and is the best way to apply to construction site. In this study, the unit-water content of capacitance measurement method is estimated according to types and replacemment ratio of admixture. and the field application of capacitance measurement method is reviewed.

  • PDF

전기이중층 커패시터용 질소성 작용기를 이용한 개질 활성탄의 전기화학적 특성 (Electrochemical Characteristics of Reforming Activated Carbon with Nitrogenous Functional Group for Electric Double Layer Capacitor)

  • 양정진;최영주;김한주;육영재;박수길
    • 전기화학회지
    • /
    • 제16권2호
    • /
    • pp.65-69
    • /
    • 2013
  • 전기이중층 커패시터용 활성탄의 정전 용량 향상을 위해 우레아를 이용해 활성탄 표면에 펩티드 결합을 유도하였다. 우레아 도입에 따른 활성탄은 소성과정을 거쳐 안정화되었으며, 전기화학적 특성을 순환전류 전압법을 이용하여 정전 용량을 관찰하고, 임피던스를 통해 저항 변화를 관찰하였으며, 충방전 평가를 통해 싸이클 성능을 관찰하였다. 결과적으로 질소성 작용기의 도입으로 정전 용량은 기존 탄소재에 비해 약 22.9%의 향상을 이루었으며, 저항 감소 및 우수한 싸이클 성능을 나타냄을 확인하였다.