• Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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• v.22 no.4
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• pp.76-83
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• 1985

Mo2N/Mo double layer which is to be used for gate of the RMOS (refractory metal oxide semiconductor) and interconnection material has been formed by means of low temperature r.f. reactive sputtering in Ar and N2 mixture. The sheet .esistance of 1 000$\AA$Mo2 N/4000$\AA$Mofilm was about 1.20-1.28 ohms/square, which is about an order of magnitude lower than that of polysilicon film. The workfunction difference naE between MO2N/MO layer and (100) p-Si with 6-9 ohm'cm resistivity obtained from C-V plots was about -0.30ev, and the fixed charge density Qss/q in the oxide was about 2. Ix1011/cm2. To evaluate the signal transfer delay time per inverter stage, an integrated ring oscillator circuit consisting of 45-stage inverters was fabricated using the polysilicon gate NMOS process. The signal transfer delay time per inverter stage obtained in this experiment was about 0.8 nsec

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.58 no.2
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• pp.319-324
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• 2020

Electroconvective instability is a non-linear transport phenomenon which can be found in ion-selective transport system such as electrodialysis, Galvanic cell and electrolytic cell. The instability is triggered by the fluctuation of space charge layer in adjacent of ion-selective surface, leading to increase of mass transport rate. Thus, in the aspect of mass transport, the instability has an important meaning. Although recent experimental techniques have opened up an avenue to direct visualize the instability, fundamental investigations have been conducted in limited area due to several experimental limitations. In this work, the electroconvective instability under potentiostatic mode was solved by numerical method in order to demonstrate correlation between current-time curve and the instability behavior. By rigorous time-resolved analysis, the transition behaviors can be divided into three stages; formation of space charge layer - growth of electroconvective instability - steady state. Furthermore, scaling laws of transition time were numerically obtained according to applied voltage as well.

• Membrane Journal
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• v.28 no.6
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• pp.388-394
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• 2018

Carbon nanotube (CNT) based membranes are promising candidates for separation membranes by showing high water transport rate and ion rejection rate according to their radii. The ion selectivity is an important factor to discover the full potential of CNT membranes, and it is affected by the functionalization of CNTs. With multivalent/size ion mixtures, the ion selectivity is affected by not only ion-functional groups interaction but also ion-ion interactions and ion size exclusion in a complex manner. In this study, molecular dynamics simulations are performed to study the ion selectivity of functionalized carbon nanotubes when multivalent/size ions are contained. The permeation energy barriers are calculated by plotting potential of mean force profiles, and various factors, such as CNT size and partial charges, affecting ion selectivity are investigated. The results presented here will be useful for designing CNT membranes for ion separation, biomimetic ion channels, etc.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.54 no.2
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• pp.200-205
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• 2016

A drug transport carrier could be used for safe send of drugs to the affected region in a human body. The chitosan is adequate for the drug delivery carrier because of adaptable to living body. The gold, a metallic nanoparticles, tends to form a nano complex at rapidly when it combined with chitosan because of its negative charge. having energy from the other, outer gold nano-complex make heat due to its property to release the contained drugs to the target area. Silver could be also formed an useful biocompatible nano-composites with chitosan which should be used as an useful drug transfer carrier because its special ability to protect microbial contamination. Being one of the oxidized nano metals, $Fe_3O_4$ is nontoxic and has been used for its magnetic characteristics. In this study, the control of catalyst, reducing agent, and solvent amount. The chitosan-$Fe_3O_4$-gold & silver nanoshell have been changed to form about 100 nm size by ionic bond between the amine group, an end group of chitosan, and the metal. It was observed the change in order to seek for its optimum reaction condition as a drug transfer carrier.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.152-152
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• 2015

최근에 백색 발광체 개발에 많은 관심이 고조되고 있다. 본 연구에서는 고상반응법을 사용하여 활성제 이온 $Dy^{3+}$의 함량을 0.05 mol로 고정하고, $Eu^{3+}$ 이온의 함량을 각각 0, 0.5, 1, 5, 10, 15 mol%로 변화시켜 $Y_2WO_6:Dy^{3+}$, $Eu^{3+}$ 형광체 분말을 합성하였다. $Dy^{3+}$ 이온만 도핑된 $Y_2WO_6$ 형광체의 흡광 수펙트럼은 전하 전달 밴드 ($Dy^{3+}-O^{2-}$)에 의한 250~350 nm에 존재 하는 밴드폭이 넓은 전이 신호와 360~500 nm 영역에 걸쳐 있는 상대적으로 흡광 세기가 약한 다수의 $Dy^{3+}$ 이온의 전이 신호가 관측 되었다. $Dy^{3+}$와 $Eu^{3+}$가 동시 도핑된 $Y_2WO_6$ 형광체의 발광 스펙트럼의 경우에, $Eu^{3+}$ 이온의 몰 비가 증가함에 따라 $Dy^{3+}$ 이온에 의한 577 nm에 주 피크를 갖는 황색 발광 파장의 세기는 감소하였고, $Eu^{3+}$ 이온에 의해 발생하는 612 nm의 적색 발광 파장의 세기는 순차적으로 증가하였다. 이 결과는 $Dy^{3+}$와 $Eu^{3+}$ 이온의 몰 비를 적절히 조절함으로써 최적의 백색 발광 형광체를 제조할 수 있음을 제시한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.154-154
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• 2015

최근에 백색 발광 소자와 조명 장치에 응용하기 위하여 희토류 이온이 도핑된 산화물 형광체의 제조에 많은 노력이 경주되고 있다. 본 연구에서는 $Eu^{3+}$ 이온이 첨가된 $La_2MoO_6$ 형광체를 고상반응법을 사용하여 합성하였다. $La_2MoO_6:Eu^{3+}$ 형광체 분말 시료는 활성체 $Eu^{3+}$ 이온의 함량을 0, 0.01, 0.05, 0.10, 0.15, 0.2 mol로 변화시켜 볼밀과 건조 작업을 거쳐 $400^{\circ}C$에서 3시간 동안 하소 공정과 $1100^{\circ}C$에서 5시간 동안 소결 공정을 수행하여 합성하였다. 흡광 스펙트럼의 경우에, 양이온 $Eu^{3+}$와 음이온 $O^{2-}$ 사이의 전하 전달 밴드에 의해 250~370 nm 영역에 폭넓게 발생한 흡광 신호와 370~450 nm 파장 영역에 발생한 다수의 약한 $Eu^{3+}$ 이온의 흡광 스펙트럼으로 구성되었다. 발광 스펙트럼의 경우에, 파장 333 nm로 여기시켰을 때, 620 nm에서 최대 세기를 갖는 적색 발광 신호, 593 nm의 주황색 발광 스펙트럼과 704 nm의 적색 발광 스펙트럼이 관측되었다. 620 nm에서 관측된 적색 발광 신호의 세기는 활성체 이온 $Eu^{3+}$의 함량이 0.20 mol일 때 최대이었다.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.20 no.4
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• pp.396-401
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• 2009

A micro-spherical activated carbon with meso-pore structure of 52~64% and particle diameter of $2{\sim}10{\mu}m$ was prepared for the improvement electrochemical performance of activated carbon as electrode material for electric double layer capacitor. Resorcinol-formaldehyde resin was used as a carbon source in this preparation. According to electrochemical analysis of EDLC using this activated a carbon with showing effects to reduce charge transfer resistance and to increase rate capability, it was found out that micro-spherical activated carbon could be a good method as well as a material for enhancing the performance of electric double layer capacitor.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.20 no.5
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• pp.1573-1581
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• 1996

This paper present as experimental demonstratio of DSP and a sensory actuator that is used to actively control sound transmission/radiation through a vibrating plate. A plane acoustic wave incident on a clamped, thin circular plate was used as a noise source, and a sensory actuator bounded to the plate was used to control and sense vibration of the plate. The sound transmission reduction problem was tranformed as a structural vibration control problem that actively control the structural vibration modes coupled to acoustic modes. The results show that the first structural vibration mode is controlled with a reduction of 78 percent in the displacement and velocity of the plate. This corresponds to a 13dB reduction in the acoustic response. These experimental results indicate that a sensory actuator bounded to the plate can be employed to attenuate the sound transmitted to radiated from the plate.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.134-134
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• 2010

KBSI 부산센터에 건설중인 소형의 다중 양전하 중이온 가속기에 사용될 초전도 ECR 이온온은 최대 자기장 3 T, 최소 0.5 T의 자기 Mirror구조를 가지고 있으며 중심 부근의 1 T 자기장에서 28 GHz 전자공명에 의해 마이크로파의 에너지를 플라즈마로 전달한다. 최대 10 kW의 Gyrotron에서 TE02 모드로 발생하는 마이크로파는 모드변환기, 직류차단기 및 진공창을 통하여 플라즈마로 입사된다. 32.5 mm 지름의 원형 도파관에서 자기장 축방향으로 도입된 TE01 모드의 마이크로파를 Altar-Appleton-Hartree 분산관계식을 이용하여 군속도의 관점에서 살펴보았다. 플라즈마 밀도가 Cut-off에 근접하지 않는 한 마이크로파의 바깥 방향으로의 회절은 크지 않았으며, 전자공명 위치로 접근함에 따라 군속도의 방향이 바뀌어 오히려 중심 방향으로 향함을 알 수 있다. 즉 마이크로파가 플라즈마 챔버의 벽을 가열시킬 가능성은 크지 않은 것이다. 또한 뜨거운 전자 플라즈마의 Susceptibility를 이용하여 마이크로파의 플라즈마로의 전자 공명에 의한 흡수를 살펴본 결과, 운전 영역에 속하는 전자밀도가 제공되면 공명 지점에 이르기 전에 충분히 흡수되는 것을 확인하였으며, 이에 따라 챔버를 관통하여 인출부 벽에 충돌하는 마이크로파 에너지는 무시할 수 있을 것으로 보여진다. 이 결과들을 토대로 마이크로파 시스템을 설계 완료하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.41-41
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• 2011

Flash memory에서 tunnel oxide film은 electron tunnelling 현상을 이용하여 gate에 전하를 전달하는 통로로 사용되고 있다. 특히, tunnel oxide film 내부의 charge trap 현상과 불순물이 소자 특성에 직접적인 영향을 주고 있어, 후속 N2O/NO 열처리 공정에서 SiO2/Si 계면에 nitrogen을 주입하여 tunnel oxide film 특성을 개선하고 있다. 따라서 N2O/NO 열처리 공정 최적화를 위해서는 tunnel oxide film 내 N 농도와 분포에 대한 정확한 평가가 필수적이다[1]. 본 실험에서는 low energy magnetic SIMS를 이용하여 N2O로 열처리된 tunnel oxide film 내의 N농도를 보다 정확하게 평가하고자 하였다. 사용된 시료는 Si substrate에 oxidation 이후 N2O 열처리를 진행하여 tunnel oxide를 형성시켰으며, 분석 impact energy는 surface effect최소화와 최상의 depth resolution 확보를 위해 250eV를 사용하였으며, matrix effect와 mass interference를 방지하기 위해 MCs+ cluster mode[2]로 CsN signal를 검출하였다. 실험 결과, 특정 primary beam 입사각도에서 nitrogen depth resolution 저하 현상이 발생하였고, SIMS crater 표면이 매우 거칠게 나타났다. 이에, Depth resolution 저하 현상을 개선하기 위해 극한의 glancing 입사각 조건으로 secondary extraction voltage 변화를 통해 depth resolution이 개선되는 최적의 impact energy와 primary beam 입사각 조건을 확보하였다. 그 결과 nitrogen의 depth resolution은 1.6nm의 depth resolution을 확보하였으며, 보다 정확한 N 농도와 분포를 평가할 수 있게 되었다.