• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 1999.07a
• /
• pp.190-190
• /
• 1999

박막 표면에 대한 경원소 분석법인 탄성 되튐 반도법을 개발하여 수소, 탄소, 질소등 분석에 이용하고 있다. 이때 입사 입자로 Cl 9.6MeV를 이용하였는데, 표적 표면에 탄소막이 흡착되는 현상을 발견하였다. cold trap 및 cold finger를 사용하여 진공도를 개선하므로서, 탄소막 흡착의 한 원인으로 알려져 잇는 chamber 주변의 진공도 변화를 시켜보았다. 하지만 전혀 탄소막이 생기지 않는 10-10torr 이하 진공을 만드는 것은 많은 비용과 장비를 필요로 하는 상당히 힘든 작업이어서, 이차적으로 탄소막이 표적 표면에 달라 붙게 하는 원인으로 추정되는 이차 전자의 발생을 고에너지 이온빔으로 조사하였다. 일반적으로 이차전자의 발생은 이온빔과 표적과의 충돌에 의한 고체 표면으로부터의 전자방출 현상으로 오래전부터 연구되어져 왔다. 여기에는 두가지 다른 구조가 존재하는 것으로 알려져 있다. 그 중 하나는 입사 입자의 전하와 표적 표면사이 작용하는 potential 에너지가 표적 표면의 일함수(재가 function) 보다 클 때에 일어나는 potential emission이다. 즉 표적 궤도에 존재하는 전자와 입사 이온빔 사이의 potential 이 표적의 전자를 들뜨게 만들고, 이 potential의 크기가표적의 표면 장벽 potential 보다 충분히 클 뜸 전자가 방출하는 현상을 말한다. 다른 또 하나의 방출구조로는 입사 이온이 표적 표면의 원자와의 충돌에 의해 직접저인 에너지 전달을 통한 전자 방출을 말하는데, 이를 kienetic emission(이하 KE)이라 한다. 본 연구에서는 Tandem Van de graaff 가속기로 고에너지 이온빔을 만들어 Au에 충돌시키므로서 kinetic emission을 통하여 Au에서 발생한는 이차전자의 방출 수율 및 에너지를 측정하였다.장구조로 전체 성장 양식을 예견할 수 있다. 일반적인 경향은 Ep가 커질수록 fractal 성장형태가 되며, Ed가 적을수록 cluster 밀도가 작아지나, 같은 Ed+Ep에 대해서는 동일한 크기의 팔 넓이(수평 수직 방향 cluster 두께)를 가진다. 따라서 실험으로부터 얻은 cluster의 팔 넓이로부터 Ed+Ep 값을 결정할 수 있고, cluster 밀도와 fractal 차원으로부터 각각 Ed와 Ep값을 분리하여 얻을 수 있다. 또한 다층 성장에 대한 거칠기(roughness) 값으로부터 Es값도 구할 수 있다. 양방향 대칭성을 갖지 않은 fcc(110) 표면과 같은 경우, 형태는 다양하지만 동일한 방법으로 추정이 가능하다. (110) 표면의 경우 nearest neighbor 원자가 한 축으로 형성되고 따라서 이 축과 이것과 수직인 축에 대한 상호작용이나 분산 장벽 모두가 비대칭적이다. 따라서 분산 장벽도 x-축, y-축 방향에 따라 분리하여 Edx, E요, Epx, Epy 등과 같이 방향에 따라 다르게 고려해야 한다. 이러한 비대칭적인 분산 장벽을 고려하여 KMC 시뮬레이션을 수행하면 수평축과 수직축의 분산 장벽의 비에 따라 cluster의 두께비가 달라지는 성장을 볼 수 있었고, 한 축 방향으로의 팔 넓이는 fcc(100) 표면의 경우 동일한 Ed+Ep값에 대응하는 팔 넓이와 거의 동일한 결과가 나타나는 것을 볼 수 있다. 따라서 이러한 비대칭적인 모양을 가지는 성장의 경우도 cluster 밀도, cluster 모양, cluster의 양 축 방향 길이 비, 양 축 방향의 평균 팔 넓이로부터 각 축 방향의 분산 장벽을 얻어낼 수 있을 것으로 보인다. 기대할 수 있는 여러 장점들을 보고하고자 한다.성이 우수한 시편일수록 grain의 크기가 큰 것으로 나타났고 결정성이 우수한 시편의 경우에서는 XR

• Korean journal of food and cookery science
• /
• v.21 no.5
• /
• pp.717-724
• /
• 2005

Sensory characteristics and antimicrobial activity of Korean wheat noodle with pine pollen powder and antioxidant activity of pine pollen extracts were investigated to develop the health promoting product. Pine pollen powder was extracted with water and 70% ethanol and extracts were tested electron donating ability (EDA) and nitrite scavenging ability (NSA). Sensory characteristics were evaluated by its color, flavor, moisture, softness, texture and taste. Microbiological quality was tested by total viable cells. EDA was highest in 1,000 ppm for both water extract (67% of EDA) and ethanol extract (74% of EDA). NSA was highest in pH 1.2 for both water extract(46% of NSA) and ethanol extract (48% of NSA). Antimicrobial activity of Korean wheat noodle with 3% pine pollen powder were 0.5 log $cycle{\sim}1$ log cycle lower than that of control at 5days of storage in total vival cells and at 4days of storage in total fungus. From sensory evaluation, Korean wheat noodle with 3% pine pollen powder had significantly higher of all scores.

• Journal of the Korean Society of Food Science and Nutrition
• /
• v.34 no.9
• /
• pp.1443-1449
• /
• 2005

Quality characteristics and functional properties of Korean wheat noodle with brassica oleracea L. powder were investigated to develop health promoting and high quality product. Brassica oleracea L. powder was extracted with water and $70\%$ ethanol, and the extracts were tested its electron donating ability (EDA) and nitrite scavenging ability (NSA). Quality characteristics of the noodle were evaluated by its color, flavor, moisture, softness, texture and taste evaluation. Microbiological Quality was also tested counting total viable cells. EDA was highest at 1000 ppm of both water extract ($64\%$ of EDA) and ethanol extract ($76\%$ of EDA). NSA was highest pH 1.2 of both water extract ($42\%$ of NSA) and ethanol extract ($46\%$ of NSA). In antimicrobial activity test, Korean wheat noodle with $3\%$ pine pollen powder displayed $0.5{\~}1$ log cycle of total viable cell counts lower than that of control at 5 days of storage. Sensory evaluation of Korean wheat dried and cooked noodles with $3\%$ Brassica oleracea L. powder showed significantly higher scores in overall.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2010.02a
• /
• pp.412-412
• /
• 2010

플라즈마는 미세 전기 소자 제작에 있어 박막의 증착, 식각, 세정등 여러 가지 공정에서 널리 사용되고 있다. 미세 소자의 선폭의 감소와 높은 생산성을 위한 웨이퍼 면적의 대형화가 진행됨에 따라 플라즈마의 균일도는 공정 수율 향상의 관점에서 중요한 요소로 그것의 계측과 공정 중 실시간 감시에 필요성이 부각되고 있다. 플라즈마에 존재하는 라디칼의 밀도, 이온의 밀도, 전자 온도 등의 웨이퍼 상에서의 공간 분포와 공정 결과물과의 상관관계에 대한 연구는 현재까지 다양하게 진행 되었으며 특히, 라디칼의 공간 분포가 공정 결과물의 균일도와 큰 상관 관계가 있는 것으로 알려져 있다. 라디칼의 농도 분포를 계측은 레이저 유도 형광법, 발광 분광법, 흡수 분광법 등을 통하여 이루어져 왔으며, 특히 발광 분광법의 경우 계측의 민감성, 편의성등을 이유로 가장 널리 사용되고 있다. 그러나 현재 까지 진행된 발광 분광법을 이용한 라디칼의 공간 분포 계측은 그 자체로 공간 분포를 계측하는 것이 아닌 플라즈마 밀도의 축 대칭성을 가정하여 Abel inversion을 적용하거나, 광섬유를 플라즈마에 직접 삽입하는 방식을 사용하기 때문에 실제 반도체 제작공정을 비롯한 미세소자 공정 플라즈마의 라디칼 밀도 분포를 실시간, 비 접촉 방식으로 계측 하는데 한계가 있다. 본 연구에서는 반도체 공정 플라즈마의 밀도 균일성 분석을 위한 공간 분해 발광 분광기를 제안한다. 기존의 발광 분광법과 비교하여 공간 분해능 향상을 위하여 직렬로 설치된 다수의 렌즈, 개구, 그리고 핀홀을 이용하였다. 공간 분해 발광 분광기의 공간 분해능을 계산하였으며, 실험을 통하여 검증 하였다. 또, HDP CVD를 이용한 $SiO_2$ 박막 증착 공정에서 산소 라디칼의 농도와 증착된 박막의 두께 분포의 상관 관계를 계측 함으로써 공간 분해 발광 분광기의 플라즈마 공정 적용 가능성 입증 하였다.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
• /
• v.27 no.4
• /
• pp.1-10
• /
• 2020

This paper reviews the recent development of electronic textile technology, mainly focusing on chip-textile bonding. Before the chip-textile bonding, a circuit on the textile should be prepared to supply the electrical power and signal to the chip mounted on the fabrics. Either embroidery with conductive yarn or screen-printing with the conductive paste can be applied to implement the circuit on the fabrics depending on the circuit density and resolution. Next, chip-textile bonding can be performed. There are two choices for chip-textile bonding: fixed connection methods such as soldering, ACF/NCA, embroidery, crimping, and secondly removable connection methods like a hook, magnet, zipper. Following the chip-textile bonding process, the chip on the textile is generally encapsulated using PDMS to ensure reliability like water-proof.

• Journal of Satellite, Information and Communications
• /
• v.7 no.3
• /
• pp.30-34
• /
• 2012

National Meteorological Satellite Center(NMSC) of Korea Meteorological Administration(KMA) has launched to implement the application development to get prepared for the space weather operation since 2010. As a action of KMA's space weather work, NMSC constructed Global Navigation Satellite System(GNSS) application system for meteorology and space weather. We will introduce NMSC's space weather application system which derives regional TEC(Total Electron Content) in near real time using nation-wide GNSS network data. First, We constructed system for collecting GNSS data, which is currently collecting about 80 stations operated by agencies like NGII(National Geographic Information Institute), Central Office of DGPS(Differential GPS), and KASI(Korea Astronomy and Space Science) including KMA's own data of 2 stations. In order to retreive regional TEC over Korean peninsular, we build up the automatic processes running every 1-hour. In these processes, firstly, GNSS data of every stations with 24 hours time window are processed to derive DCBs(Differential Code Biases) of each GNSS station and TEC values on every ionosphere piercing point(IPP). Then we made gridded regional TEC map with resolution of 0.25 degree from 31N, 121E to 41N, 135E by combination of all station results within 30 minutes window with assumption that TEC of a given point during a given 30 minutes window would have a constant value. The grid points without TEC value are interpolated using Barnes objective analysis. We presentour regional TEC maps, which can describe better on the status of ionosphere over Korean peninsular compared to IGS TEC maps.

• Progress in Medical Physics
• /
• v.16 no.4
• /
• pp.161-165
• /
• 2005

The CT number corresponds to electron density and its influence on dose calculation was studied. Five kinds of CT scanners were used to obtain Images of electron density calibration phantom (Gammex RMI 467), Then the differences between CT numbers for each scanners were ${\pm}2\%$ In homogeneous medium and $9.5\%$ in high density medium. In order to Investigate the influence of CT number to dose calculation, patients' thoracic CT images were analyzed. The maximum dose difference was $0.48\%$ for each organ. It acquired the phantom Images inserted high density material in the water phantom. Comparing the doses calculated with CT Images from each CT scanner, the maximum dose difference was $2.1\%$ in 20 cm in depth. The exact density to CT number conversion according to CT scanner is required to minimize the uncertainty of dose depends on CT number Especially the each hospital with various CT scanners has to discriminate CT numbers for each CT scanner. Moreover a periodic quality assurance is required for reproducibility of CT number.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2010.02a
• /
• pp.315-315
• /
• 2010

결정질 실리콘을 포함하는 태양전지의 광전효율은 표면에 입사되는 태양광의 반사를 제외하면 흡수된 광자에 의해 생성되는 전자-정공쌍의 상대적인 비율인 내부양자효율에 의존하게 된다. 실제 생성된 전자-정공쌍은 기판재료의 결정상태와 전기광학적 물성 등에 의해 일부가 재결합되어 2차적인 광자의 생성이나 열로서 작용하고 최종적으로 전자와 정공이 완전히 분리되고 전극에 포집되어 실질적인 유효전류로 작용한다. 16% 이상의 고효율 결정질 실리콘 태양전지양산이 요구되고 있는 현실에서 광전효율 개선 위해 가장 우선적으로 고려되어야 할 변수는 입력 태양광스펙트럼에 대한 결정질 실리콘 표면반사율을 최소화하여 광흡수를 극대화하는 것이라 할 수 있다. 이의 해결을 위하여 대기와 실리콘표면 사이의 굴절률차이가 크면 클수록 태양광스펙트럼에 대한 결정질 실리콘의 광반사는 증가하기 때문에 상대적으로 낮은 굴절률의 $SiO_x$나 $SiN_x$와 같은 반사방지막을 광입력 실리콘표면에 증착하여 광반사율 저감공정을 적용하고 있다. 이와 더불어 결정질 실리콘표면을 화학적으로 혹은 플라즈마이온으로 50-100nm 직경의 바늘형 피라미드형상으로 texturing 함으로 광자들의 다중반사 등에 기인하는 광흡수율의 증가를 기대할 수 있기 때문에 태양전지효율 개선에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 이해된다. 본 실험에서도 고효율 다결정 실리콘 태양전지 양산공정에 적용 가능한 ICP-RIE기반 결정질 실리콘표면에 대한 texturing 공정기술을 연구하였다. Double Langmuir 플라즈마 진단시스템(DLP2000)을 적용하여 사용한 $SF_6$와 $O_2$ 개스유량과 챔버압력, 플라즈마 파워에 따른 이온밀도, 전자온도, 포화이온전류밀도, 플라즈마포텐셜의 공간분포를 모니터링하였고 texturing이 완료된 시료에 대하여 A1.5G 표준태양광스펙트럼의 300-1100nm 파장대역에서 반사율을 측정하여 그 변화를 관찰하였다. 본 연구에서 얻어진 결과를 간략히 정리하면 Si texturing에 가장 적합한 플라즈마파워는 100W, $SF_6/O_2$ 혼합비는 18:22, 챔버압력은 30mtorr 등이고 이에 상응하는 플라즈마의 이온밀도는 $2{\sim}3{\times}10^8\;ions/cm^3$, 전자온도는 14~15eV, 포화전류밀도는 $0.014{\sim}0.015mA/cm^2$, 플라즈마포텐셜은 38~39V 범위 등이었다. 현재까지 얻어진 최소 평균반사율은 14.2% 였으며 최적의 texturing패턴 플라즈마공정 조건은 이온에 의한 Si표면원자들의 스퍼터링과 화학반응에 의한 증착이 교차하는 플라즈마 에너지 및 밀도 상태인 것으로 해석된다.

• Journal of Astronomy and Space Sciences
• /
• v.20 no.1
• /
• pp.53-62
• /
• 2003

SPS(Space Physics Sensor) onboard the KOMPSAT-I, which was launched at 1999, had transmitted ionospheric plasma density and electron temperature during the solar maximum from June 2000 to August 2001, SPS IMS onboard KOMPSAT-I occasionally detected abrupt plasma density enhancement in low-latitude region, in which the plasma density abruptly increases in a narrow region. Statistical analysis of the data obtained during the entire operational period shows that the occurrence probability of these events has its peak value at the Atlantic region and at the Hawaiian region where the geomagnetic field strength is weak. And the occurrence frequency has no correlation with Dst index or F10.7 index. The correlation between plasma density and the electron temperature shows a wide variety, but the anti-correlated cases are dominant.

• Applied Chemistry for Engineering
• /
• v.7 no.4
• /
• pp.809-812
• /
• 1996

Generalized van der Waals equation of state combined with the core-softening theory and temperature dependent repulsive and attractive terms exhibit the anomalous thermal expansion, i.e. density anomaly. Density maxima occur at both positive and negative pressure when the hard-core diameter decreases with increasing temperature, $db_r/dT_r<0$, and at negative pressure when the repulsive force increases with increasing temperature, $da_r/dT_r>0$.