• 제목/요약/키워드: 전자기장 시뮬레이션

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유도 결합형 플라즈마 공정조건 변화에 따른 플라즈마 방전과 전자기장 시뮬레이션의 비교

  • 김우재;조태훈;박혜진;최진우;이예슬;황상혁;윤명수;권기청
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.214.2-214.2
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    • 2016
  • 플라즈마 공정은 공정의 미세화, 저온화의 필요성 때문에 반도체 및 태양전지 분야 등 여러 분야에서 널리 쓰이고 있으며 그 중요성은 점점 더 커져가고 있다. 그러나 플라즈마를 사용하는 공정에서 공정조건의 미세한 변화에 따라서 플라즈마 특성이 크게 바뀌어 공정조건에 따른 공정 결과의 예측을 어렵게 한다. 따라서 플라즈마를 이용하는 공정에 있어서 다양한 변수의 복합적인 상호작용을 고려하여 공정 결과를 예상 할 수 있는 시뮬레이션에 대한 연구가 요구되고 있다. 본 연구에서는 유도 결합형 플라즈마 발생 장치에서 공정조건에 따른 플라즈마 밀도 분포 변화를 전자기장 시뮬레이션을 통해 예상해보았으며, 시뮬레이션 결과를 실제 방전 상황에서 DLP(Double Langmuir Probe)로 측정한 값과 비교하여 플라즈마 밀도 분포와 전자기장 시뮬레이션의 정확성을 검토하였다.

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시뮬레이션을 이용한 저온 대기압 플라즈마 소스의 전자기장 분석

  • 윤명수;조이현;김동해;조태훈;전부일;조광섭;권기청
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.515-515
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    • 2012
  • 일반적으로 저온 대기압 플라즈마는 표면개질이나 의료도구, 식수등 살균장치에 많이 이용되고 있으며 현재에는 혈액응고, 치아 치료등의 바이오분야에도 활발한 연구가 진행되어지고 있다. 그러나 저온 대기압 플라즈마는 가스 유량, 전극간격, 물질, 모양에 따라 인가되어지는 전자기장이 특성이 상이하다. 본 연구에서는 시뮬레이션을 이용하여 저온 대기압 플라즈마 젯(jet) 소스에서 전극의 간격에 따른 전자기장의 세기를 계산하였고, 전극의 거리별 저온 대기압 플라즈마 젯(jet) 소스에서 인가되는 전압과 비교를 해보았다. 그 결과 시뮬레이션 값과 실험결과가 유사한 경향을 보이는 것을 본 연구에서 확인할 수 있었다.

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초전도체 박막의 표면저항 측정용 유전체 공진기에 대한 Geometrical factor의 비교 : 전자기장 해석 대 시뮬레이션 (Comparison of Geometrical Factors of Dielectric Resonators Prepared for the Surface Resistance of Superconductor Films: Field Analysis vs. Computer Simulation)

  • 양우일;정호상;김명수;조남순;주기남;이상영
    • Progress in Superconductivity
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    • 제13권2호
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    • pp.97-104
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    • 2011
  • 유전체 공진기법을 이용하여 초전도체 박막의 표면저항을 측정할 경우, 공진기의 $Q_U$로부터 초전도체 박막의 표면저항을 구하기 위해 알아야 하는 G-factor를 시뮬레이션과 전자기장 해석을 이용해서 구한 후 두 값을 비교하였다. 시뮬레이션 과정에서 사용된 mesh 수가 증가할수록 시뮬레이션으로 구한 G-factor의 크기와 전자기장 해석을 통해 얻은 값 간의 차이가 줄어들게 됨을 확인하였다. 공진기에 따라 mesh 수 증가에 따른 G-factor의 정확도 증가가 조금씩 다르게 나타났는데, 이는 공진기와 유전체의 크기에 따라 simulation program이 계산하는 개당 mesh의 크기가 각기 다르기 때문으로 여겨진다. 19.6 GHz의 공진주파수를 지닌 사파이어 공진기의 경우 시뮬레이션과 전자기장 해석을 통해 구한 G-factor의 차이를 이용하여 표면저항의 불확도 추정치를 온도의 함수로 구했으며 $Q_U$를 2 % 이내의 상대 불확도로 측정할 경우 G-factor의 불확도 변화에 따른 표면저항의 상대 불확도 변화를 확인하였다. 본 연구 결과는 전자기장 해석이 매우 어렵거나 불가능한 구조의 유전체 공진기 (예로서 open-ended 평행판 유전체 공진기)의 G-factor를 시뮬레이션을 이용하여 구하여 초전도체 박막의 표면저항을 $Q_U$로부터 측정하고자 할 때 측정 온도 구간에서 허용되는 표면저항의 불확도를 고려하여 G-factor의 시뮬레이션 시 사용되는 mesh 수가 결정되어야 함을 보여준다.

전자기 유한요소법 전자빔 시뮬레이션을 이용한 정전기장 제거용 연한 X-선관 설계 특성 연구 (Design of Soft X-ray Tube and Simulation of Electron Beam by Using an Electromagnetic Finite Element Method for Elimination of Static Electric Field)

  • 박태영;이상석;박래준
    • 한국자기학회지
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    • 제24권2호
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    • pp.66-69
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    • 2014
  • 유한요소법으로 분할 표시한 연한 X-선 퍼짐관을 설계하였다. 연한 X-선관의 모양설계 및 구체적인 좌표를 설정하고 전자빔 궤적을 OPERA-3D SW 프로그램을 이용하여 시뮬레이션하였다. 음극과 양극인 텅스텐 필라멘트와 타겟에 인가한 전압, 온도, 열전자 일함수 등을 고정하였다. 필라멘트 십자형 모양을 구비한 퍼짐관의 구조에 따른 전자빔의 분포와 초점변화를 분석하여 반도체 공정상의 정전기장 제거용 연한 X-선 퍼짐관 설계를 최적화하였다.

모바일 기기용 소형 금속 캔의 전자기장 결합 특성 (Electromagnetic Field Coupling of Small Metallic Cans in Mobile Devices)

  • 박현호
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제28권11호
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    • pp.916-919
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    • 2017
  • 본 논문에서는 모바일 기기용 소형 금속 캔으로부터 발생하는 전자기장의 누설 경로를 시뮬레이션을 통해 확인하고, IC-stripline 방법을 이용하여 전기장 및 자기장에 대한 근접장 결합(coupling) 현상을 분석하였다. 금속 캔의 윗면 개구부에 의한 전자기장 누설은 주로 자기장이 우세하고, 측면을 통한 누설은 전기장이 우세함을 확인하였다.

인체전자기장 신호를 응용하여 손동작 인식을 위한 하드웨어 구현에 대한 연구 (A study on the hardware development for handshake recognition using electric potential signal form human body)

  • 천우영;이석현;김영철
    • 스마트미디어저널
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    • 제5권3호
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    • pp.49-53
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    • 2016
  • 인체 전자기장 신호를 검출하여 동작 인식에 이용하는 비접촉방식의 방법은 시간과 공간의 제약이 기존의 시스템보다 덜하므로 관련 연구들이 진행 중에 있다. 본 논문에서는 비접촉방식의 인체전기장 신호를 검출할 수 있는 하드웨어를 구현하여 이를 디지털 파형화 하여 인식률을 높일 수 있는 회로시스템을 설계하였다. 차동 증폭회로의 구현과 비교기를 연동한 디지털 파형화를 위한 회로 시스템을 시뮬레이션과 결합하여 PCB화한 후/ 설계된 전체 회로 시스템에 대한 특성평가를 수행하였다.

부양용해용 cold crucible 설계를 위한 전자기장 해석 모델 개발 (Introducing the Electromagnetic analysis model in the design of levitation melting cold crucible)

  • 송명곤;이상진;김호영;박준표;김구화;정희태
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2003년도 하계학술대회 논문집 B
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    • pp.885-887
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    • 2003
  • 부양용해 기술은 티타늄등 용해 및 주조에 어려움이 있는 기능성 금속의 용해 시 소재의 오염이나 고가의 도가니 없이 용해할 수 있는 기술로써 기계 부품 경량화 및 고강도를 위한 기술 및 신수요 창출을 위한 기반을 제공할 수 있다. 본 논문은 실기용 부양용해 cold crucible의 설계 및 제작에 앞서 모사 cold crucible에 대한 기초 자료를 바탕으로 컴퓨터 시뮬레이션을 위한 3차원 전자기장 해석 model을 구축하여, 모사 모델과의 측정값과 전자장 해석결과를 비교하여, 실제 cold crucible 설계 제작시 다양한 형태로 활용될 수 있는 기본자료를 확보하는데 그 목적이 있다.

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부양용해용 cold crucible 설계를 위한 전자기장 해석 (Electromagnetic analysis for the design of levitation melting cold crucible)

  • 송명곤;고택범;이상진
    • 한국조명전기설비학회:학술대회논문집
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    • 한국조명전기설비학회 2005년도 춘계학술대회논문집
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    • pp.402-405
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    • 2005
  • 부양용해 기술은 티타늄등 용해 및 주조에 어려움이 있는 기능성 금속의 용해 시 소재의 오염이나 고가의 도가니 없이 용해할 수 있는 기술로써 기계 부품 경량화 및 고강도를 위한 기술 및 신수요 창출을 위한 기반을 제공할 수 있다. 본 논문은 실기용 부양용해 cold crucible의 설계 및 제작에 앞서 실기 제작할 cold crucible에 대한 기초 자료를 바탕으로 컴퓨터 시뮬레이션을 위한 부양체를 포함한 3차원 전자기장 해석 model을 구축하여, 실제 cold crucible 설계 제작 시 다양한 형태로 활용될 수 있는 기본자료를 확보하는데 그 목적이 있다.

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고주파 유도 가열에 의한 선상가열 시뮬레이션 (Simulation of Line Heating by High frequency Induction Heating)

  • 김호경;장창두
    • 한국해양공학회지
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    • 제17권1호
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    • pp.80-85
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    • 2003
  • In this study, we developed an analysis method of plate forming by induction heating, verifying the effectiveness of the present method through a series of experiments. The phenomena of the induction heating involves a 3D transient problem, coupled with electromagnetic, heat transfer, and elastoplastic large deformation analyses. To solve the problem, or present an appropriate model and an integrated system. Using the present analysis model, or can estimate the plate deformation in heating without experiments and simulate the plate bending process of induction heating.

산업용 고출력 마그네트론의 공진 특성 연구 (Computational Study on Resonant Characteristics of Industrial High-Power Magnetron Oscillators)

  • 정순신;원종효
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2006년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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    • pp.127-128
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    • 2006
  • 고출력 마그네트른 발진기는 마이크로파 발생원으로서 식품, 고무, 섬유, 목재, 세라믹, 폐기물 등의 다양한 산엄적 프로세스에 응용된다. 여러 가지 새로운 마이크로파 응응분야들이 보고되고 있을 뿐만 아니라 계속 연구되고 있다. 본 연구에서는 3차원 전자기장 해석용 시뮬레이션 코드를 이용하여 이중 스트랩형 고출력 마그네트론을 모델링하였다. 본 논문에서는 마그네트론의 공진모드, 공진주파수 능의 공진 특성 결과가 제시될 것이다.

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