• Title/Summary/Keyword: 전기 회로 형성

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저유전체 고분자 접착 물질을 이용한 웨이퍼 본딩을 포함하는 웨이퍼 레벨 3차원 집적회로 구현에 관한 연구 (A Study on Wafer-Level 3D Integration Including Wafer Bonding using Low-k Polymeric Adhesive)

  • 권용재;석종원
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제45권5호
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    • pp.466-472
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    • 2007
  • 웨이퍼 레벨(WL) 3차원(3D) 집적을 구현하기 위해 저유전체 고분자를 본딩 접착제로 이용한 웨이퍼 본딩과, 적층된 웨이퍼간 전기배선 형성을 위해 구리 다마신(damascene) 공정을 사용하는 방법을 소개한다. 이러한 방법을 이용하여 웨이퍼 레벨 3차원 칩의 특성 평가를 위해 적층된 웨이퍼간 3차원 비아(via) 고리 구조를 제작하고, 그 구조의 기계적, 전기적 특성을 연속적으로 연결된 서로 다른 크기의 비아를 통해 평가하였다. 또한, 웨이퍼간 적층을 위해 필수적인 저유전체 고분자 수지를 이용한 웨이퍼 본딩 공정의 다음과 같은 특성 평가를 수행하였다. (1) 광학 검사에 의한 본딩된 영역의 정도 평가, (2) 면도날(razor blade) 시험에 의한 본딩된 웨이퍼들의 정성적인 본딩 결합력 평가, (3) 4-점 굽힘시험(four point bending test)에 의한 본딩된 웨이퍼들의 정량적인 본딩 결합력 평가. 본 연구를 위해 4가지의 서로 다른 저유전체 고분자인 benzocyclobutene(BCB), Flare, methylsilsesquioxane(MSSQ) 그리고 parylene-N을 선정하여 웨이퍼 본딩용 수지에 대한 적합성을 검토하였고, 상기 평가 과정을 거쳐 BCB와 Flare를 1차적인 본딩용 수지로 선정하였다. 한편 BCB와 Flare를 비교해 본 결과, Flare를 이용하여 본딩된 웨이퍼들이 BCB를 이용하여 본딩된 웨이퍼보다 더 높은 본딩 결합력을 보여주지만, BCB를 이용해 본딩된 웨이퍼들은 여전히 칩 back-end-of-the-line (BEOL) 공정조건에 부합되는 본딩 결합력을 가지는 동시에 동공이 거의 없는 100%에 가까운 본딩 영역을 재현성있게 보여주기 때문에 본 연구에서는 BCB가 본딩용 수지로 더 적합하다고 판단하였다.

한국의 가두행렬(街頭行列)과 전통연희 (Korea's Street Processions and Traditional Performing Arts)

  • 전경욱
    • 공연문화연구
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    • 제18호
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    • pp.513-557
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    • 2009
  • 고구려 고분벽화에 나타나는 행렬도는 묘 주인의 등급에 따라 인원수와 각종 대열 및 인원 배치가 규정될 정도로 상당한 수준의 체제를 갖추고 있었다. 이러한 가두행렬에 동반되는 연희들은 대부분 산악 백희의 종목들이었다. 특히 안악 3호분의 악대는 고취와 횡취를 갖추고 있어서, 이 행렬의 국제적 교류양상을 살펴볼 수 있다. 또한 호위병, 의장대, 악대, 연희자를 갖춘 고구려의 행렬은 고려와 조선시대의 어가행렬과 일치하므로 그 영향관계를 살펴볼 수 있다. 고려시대의 대표적 가두행렬은 왕의 어가행렬이다. 연등회에서 왕이 봉은사나 흥왕사를 다녀올 때, 왕이 지나는 차도의 좌우에는 등산과 화수를 설치했으며, 그 가두행렬의 규모가 매우 컸고 다채로운 음악과 공연을 연행했다. 나례는 중국에서 생겨난 의식으로 고려시대의 궁중의례에 수용되었다. 고려의 나례에서도 중국과 마찬가지로 가두행렬과 연희를 행했다. 그리고 정초에 풍물패가 행하는 지신밟기도 나례의 유풍이다. 조선전기의 궁중나례에는 방상시 12지신 이외에 판관 조왕신 소매 등 새로운 배역이 등장한다. 그래서 나례가 시대의 변천에 따라 변모하는 모습을 살펴볼 수 있다. 조선시대의 환궁행사에서 왕이 탄 가마는 전후의 고취악대가 행진음악을 연주하고, 산붕이 인도하는 가운데 대궐을 향해 가두행렬을 진행했는데, 이때 각종 연희도 공연되었다. 이 환궁행사는 고려 의종 때의 환궁행사와 매우 유사하다. 조선시대의 삼일유가와 문희연은 양반층의 축제였다. 급제자는 악사와 연희자들을 대동하고 서울 시가를 3일간이나 돌아다니며 가두행렬을 벌이면서, 자기 가문의 경사를 축하하고 가문의 위세를 과시했다. 조선시대의 동제와 읍치제의에서는 사당의 신상이나 신대를 앞세우고 가두행렬을 진행했다. 중국의 마을제사인 영신새회가 후대에는 나례의 연문축역과 융합되었듯이, 한국의 마을제사도 지신밟기와 결합되어 마을의 수호신을 상징하는 신대를 앞세우고 집집마다 찾아다니는 가두행렬이 형성되었다. 수영야류의 가두행렬은 가면극 공연의 홍보 효과가 있었고, 참가자들의 일체감을 조성하면서 축제적 분위기를 한껏 고조시켰다. 북청군 토성리 관원놀이의 중심은 관원의 행차를 모방한 가두행렬이었다. 토성 관원놀이는 인명의 안과와 마을의 오곡 풍성을 기원하는 민속신앙의 기능, 가두행렬과 여러 연희들을 통해 흥과 신명으로 즐기는 오락적 기능, 주민들의 단결과 화합을 조성하는 사회적 기능을 갖고 있었다. 중국과 마찬가지로 한국의 가두행렬은 자생적 가두행렬과 외래 기원의 가두행렬이 있었다. 고구려 고분벽화의 행렬도의 고취와 횡취, 고려시대에 상원이라는 연등회의 시기와 왕이 참석한 가운데 행해지는 교방가무희 및 백희 공연, 동제의 지신밟기 등을 통해서 국제적 교류양상을 살펴볼 수 있다. 그러나 상원연등회는 중국에서 유입되었지만, 왕이 선대 임금들의 초상화를 모신 봉은사에 다녀올 때의 가두행렬과 그 노변에 설치되는 등산과 화수 및 수많은 등은 고려 연등회의 특징이다. 이상의 모든 행사에서 가두행렬은 축제적 분위기를 조성하는 데 큰 몫을 담당했고, 행렬의 중간이나 행렬이 끝난 후 펼쳐지는 전통연희의 공연에서 참가자들이 일체감을 느낄 수 있도록 했다. 가두행렬의 참가자들은 각 행사를 통해 문화적인 긍지와 자부심을 느낄 수 있었고, 자기들의 역량을 과시하고 자랑하는 기회를 가질 수 있었다.

혼합상토 조성과 관수 또는 관비시 배액률이 토마토 접목묘 생장에 미치는 영향 (Performance of Seedling Grafts of Tomato as Influenced by Root Medium Formulations and Leaching Fractions in Irrigation or Fertigation)

  • 최종명
    • 생물환경조절학회지
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    • 제23권3호
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    • pp.235-243
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    • 2014
  • 관비 또는 관수시 배액률(LF)과 시비농도가 토마토 접목묘를 생산하는 과정에서 묘 생장 및 근권부 화학성 변화에 미치는 영향을 구명하고자 본 연구를 수행하였다. 피트모스+버미큘라이트(5:5, v/v, PV) 그리고 코이어 더스트+버미큘라이트(5:5, v/v, CV)를 혼합한 두 종류 상토를 조제하는 과정에서 기비를 혼합하였으며, 비료 혼합 후 50셀(셀 용량 33cc)과 105셀(셀 용량 18cc)에 충전하였다. 충전 후 대목인 'J3B Strong'은 50셀, 접수인 'Sunmyung'을 105셀 트레이에 파종한 후 재배하였다. 파종 31일 후 대목과 접수를 절단하고 단근삽접한 후 접목묘('Sunmyung' scion/'J3B Strong' rootstock)는 두 종류 상토가 충전된 50셀 플러그 트레이에 정식하였다. 접목 후 플러그 트레이를 광도를 조절한 플라스틱 터널 내부에 7일간 위치시켜 접목 부위의 활착과 새로운 부정근 형성이 이루어지도록 한 후 N 기준 0, 50, 100 그리고 $200mg{\cdot}L^{-1}$로 농도를 조절한 비료 용액을 매주 1회 관비하였다. 파종 31일 후 대목의 생장을 조사한 결과 두 종류 상토 모두 LF를 0.75로 조절한 처리에서 가장 우수하였으며 유묘당 지상부 생체중이 PV는 8.96g 그리고 CV는 7.11g으로 조사되었고, 이들 처리의 전기전도도는 각각 0.93 and $1.09dS{\cdot}m^{-1}$로 측정되었다. 파종 31일 후 조사한 접수의 평균 생체중은 PV와 CV 혼합상토의 0.50 LF 처리에서 각각 4.29g과 3.13g으로 조사되어 가장 무거웠고, 이들 두 처리의 EC는 각각 0.76과 $1.34dS{\cdot}m^{-1}$로 측정되었다. 접목 31일 후 추비농도에 영향을 받은 접목묘의 생체중은 두 종류 상토 모두 $100mg{\cdot}L^{-1}$의 시비구에서 가장 무거웠다. 생체중이 가장 무거웠던 처리의 EC는 PV 및 CV 상토가 각각 0.98과 $1.93dS{\cdot}m^{-1}$였으며 접목묘 생장을 위한 적절한 EC 범위는 CV 상토가 PV 상토 보다 높음을 의미한다. 이상의 결과는 접목묘 생장을 위한 적절한 EC범위가 상토에 따라 다르므로 소질이 우수한 접목묘를 생산하기 위하여 배액률도 상토별로 다르게 조절되어야 함을 의미한다.

비장적출(splenectomy)이 원발성 아메바성 뇌수막염의 발생에 미치는 영향 (Effect of Splenectomy on Development of Primary Amoebic Meningoencephalitis)

  • 신호준;임경일;최림순
    • Parasites, Hosts and Diseases
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    • 제23권1호
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    • pp.156-164
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    • 1985
  • 자유생활아에마중 병원성이 강한 것으로 알려진 Naegleria fowleri영양형 $5{\times}10^4$개를 생쥐의 비강내 로 감염시켜서 원발성 아메바성 뇌수막염을 받생시켰다. 그런 과정중 비장을 적출하여 그 영향에 대하여 생쥐의 체중과 수술후 회복기간별로 뇌수막염에 의한 사망율과 평균생존기간을 비교하였다. 또 생쥐의 혈청중 면역확산법으로 항체의 형성여부를 관찰하였으며, 각 실험군에서 채취한 혈청을 전기영동법을 실시하여 혈청단백질분획을 바교하였다. 본 실험결과 다음과 같은 성적을 얻었다. 1. 생후 3주째에 비장을 적출하고 1주일 후에 N. fowleri로 감염시킨 실험I에서 대조군, sham군, 비장적출군 사이의 사망율은 각각 100%, 85%, 95%이었으며, 평균생존기간은 7.3일, 7.5일, 7.8일이었다. 2. 생후 3주째에 비장을 적출하고 3주일 후에 N. fowleri를 감염시킨 실험 II에서 대조군, sham군, 비장적출군 사이의 사망율은 각각 95%, 95%, 95%이었으며, 평균생존기간은 12.1일, 11.5일, 11.5일이었다. 3. 생후 5주째에 비장을 적출하고 1주일 후에 N. fowleri를 감염시킨 실험 III에서 대조군, sham군, 비장적출군 사이의 사망율은 각각 95%, 90%, 95%이었으며, 평균생존기간은 8.1일, 8.3일, 8.6일 이었다. 4. 원발성 아에바성 뇌수막염이 발생된 생쥐의 혈청을 면역확산법을 실시한 결과, 항원-항체 복합체의 2중으로 된 침강대를 관찰하였다. 5. 혈청단백질분획의 비교는 다음과 같았다. 1) 비장을 적출한 후 N. fowleri를 감염 시키기 전에 채취한 혈청중, 대조군에서 분획 III, IV 이 sham군과 비장적출군에 비하여 다르게 나타났다. 2) 비장을 적출한 후 N. fowleri을 감염시켜서 뇌수막염을 발생시킨 생쥐의 혈청에서는 대조군과 sham군의 분획 II, III, V가 비장적출군과 달랐다. 3) 비장을 적출한 후 N. fowleri를 감염시키기 전에 채취한 혈청과 감염시킨 후 뇌수막염에 의하여 사망하기 직전에 채취한 혈청사이에서는 분획 I, III, N, V가 다르게 나타났다. 이상의 결과로 보아, 병원성이 강한 N. fowleri 영양형을 생쥐의 비강내로 떨어뜨려 원말성 아메바성 뇌수막염을 발생시킬 수 있었고, 비장을 적출하면 혈청 단백칠분획에는 차이를 나타낼지라도 생쥐의 사망율과 평균생존기간에는 아무런 영향을 주지 않았음을 알 수 있었다.

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비닐피복기간(被覆期間)이 잡초군락형성(雜草群落形成)에 참깨의 경합력(競合力)에 미치는 영향(影響) (Effect of Different PE Mulching Duration on the Competition Ability of Sesame Growing in Association with Various Weed Communities)

  • 이정일;강철환;권용웅
    • 한국잡초학회지
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    • 제6권1호
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    • pp.33-41
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    • 1986
  • 참깨를 5월(月)15일(日)에 적파(適播)하고 투명(透明)비닐멀칭하에서, 잡초와의 경합기간을 10일, 15일, 30일, 45일, 60일, 75일, 90일, 전생육기로 처리하고 6월(月)15일(日)에는 만파(晩播)한 후 흑색(黑色)비닐을 멀칭하여 잡초방제기간(雜草防除期間)을 10일(日), 15일(日), 30일(日), 45일(日), 60일(日) 또는 전생육기간(全生育期間)으로하여 참깨와 잡초(雜草)와의 경합양상(競合樣相)과 참깨의 감수(減收)를 적게할 수 있는 최소방제기간(最少防除期間)을 구명(究明)하기 위하여 시험(試驗)을 실시(實施)한 결과(結果) 다음과 같은 결론(結論)을 얻었다. 1. 본(本) 시험포장(試驗圃場)의 우점잡초(優占雜草)는 쇠비름, 바랭이이었고, 깨풀, 방동산이, 벼룩이자리, 황새냉이, 석류풀, 민바랭이 등(等)이 발생하였다. 2. 적기파종(適期播種)에서는 생육초기(生育初期)(파종후(播種後) 30일(日)) 광엽잡초수(廣葉雜草數)가 화본과잡초수(禾本科雜草數)보다 많았으며 이 시기(時期)가 총잡초수(總雜草數)에서 가장 많은 시기(時期)였다. 생육후기(生育後期)로 갈수록 광엽잡초수(廣葉雜草數)는 감소(減少)가 심(甚)했던 반면(反面)에 화본과(禾本科) 잡초(雜草)는 별(別) 변동(變動)이 없었다. 3. 적파(摘播) 투명(透明)비닐멀칭에서는 파종후(播種後) 15일(日)까지는 잡초발생(雜草發生)이 없었으며 그 후(後) 급격(急激)히 증가(增加)를 보여 생육후기(生育後期)까지도 증가(增加)가 단속(斷續)되었다. 광엽잡초(廣葉雜草)는 파종후(播種後) 45일(日)까지는 화본과잡초(禾本科雜草)보다 양호(良好)한 발육(發育)을 보였으나 그 이후(以後)는 급격(急激)히 감소(減少)하였으며 화본과잡초(禾本科雜草)는 파종후(播種後) 60일(日)부터 광엽잡초(廣葉雜草)의 발육(發育)을 능가하기 시작(始作)하여 생육말기(生育末期)에는 광엽잡초(廣葉雜草)를 크게 압도(壓倒)하였다. 광엽잡초(廣葉雜草)는 비닐멀칭하(下)에서 생육(生育)이 현저(顯著)히 감퇴(減退)되었던 반면(反面)에 화본과잡초(禾本科雜草)는 발육(發育)이 지장(支障)이 없었으며 총잡초중(總雜草重)에 있어서는 어느 정도(程度)의 잡초발생억제효과(雜草發生抑制效果)가 있는 것으로 나타났다. 4. 만파(晩播) 흑색(黑色)비닐멀칭에서는 전기간(前期間)멀칭에서 잡초발생(雜草發生)이 없었으며 비닐멀칭기간(期間)이 길어질수록 잡초중(雜草重)은 감소(減少)하였다. 적파(摘播)와는 달리 생육초기(生育初期)부터 화본과잡초(禾本科雜草) 광엽잡초(廣葉雜草)를 압도(壓倒)하였으며 멀칭 기간(期間)이 길어짐에 따라 광엽잡초중(廣葉雜草重)의 변동(變動)은 적었으나 화본과잡초중(禾本科雜草重)의 변동(變動)은 적었으나 화본과잡초중(禾本科雜草重)은 지속적(持續的)으로 감소(減少)되었다. 5. 적파시(摘播時) 초장(草長), 착삭부위장(着蒴部位長), 주당삭수(株當蒴數), 경치경등(莖値徑等)의 생육형질(生育形質)과 주당건물중(株當乾物重), LAI 등(等)의 생장해석요인(生長解析要因)을 포함(包含)한 외형적(外形的) 형질(形質)들에 잡초(雜草)의 피해(被害)가 나타나는 시기(時期)는 비닐멀칭후(後) 60일(日)에서 75일(日)사이로서 내적(內的) 형질(形質)인 수량(收量)에 피해(被害)가져오는 30일(日)에서 45일(日) 사이보다는 30일(日) 정도(程度)가 늦게 나타났다. 따라서 잡초(雜草)가 수량성(收量性) 등(等) 내적(內的) 형질(形質)에 미치는 영향(影響)은 외형적(外形的) 형질(形質)에 미치는 영향(影響)보다도 빨리 찾아오므로 잡초(雜草)에 의(依)한 감수(減收)를 줄이기 위(爲)해서는 최소(最小)한 비닐멀칭후(後) 30일(日)에서 45일(日) 사이에 1회(回) 이상(以上)의 제초작업(除草作業)을 해주어야만 할 것으로 생각되었다. 6. 만파(晩播) 흑색(黑色)비닐멀칭에서는 외형적(外形的) 형질(形質)에 피해(被害)가 심(甚)하게 나타나는 시기(時期)는 파종후(播種後) 15일(日)에서 30일(日) 사이에 비닐을 제거(除去), 방임(坊任)하는 것이었으며 수량(收量) 등(等) 내적(內的) 형질(形質)에 심(甚)한 감수(減收)를 나타내는 시기(時期)는 파종후(播種後) 45일(日)에서 60일(日) 사이에 비닐을 제거(除去), 방임(坊任)하는 것으로서 적파(摘播)에서와 같이 잡초(雜草)가 내적(內的) 형질(形質)에 미치는 영향(影響)이 외형적(外形的) 형질(形質)에 미치는 영향(影響)보다도 30일(日) 정도(程度) 빨리 오는 것이었다. 7. 적파(摘播) 비닐멀칭 손제초(除草)에서는 엽(葉)의 발육(發育)이 파종후(播種後) 45일(日)에서 60일(日) 사이에 최대(最大)를 보인 후(後) 감소(減少) 되었으며 경(莖) 근(根)의 발육(發育)은 생육후기(生育後期)까지도 증대(增大)되었다. 비닐멀칭 방임(坊任)에서는 잡초(雜草)의 Shading 효과(效果)에 의(依)하여 엽중(葉重)이 생육후기(生育後期)까지도 감소(減少)되지 않았으며 경(莖) 근중(根重)은 단속(斷續) 증대(增大)되었다. 참깨 총생장량(總生長量)은 비닐멀칭 손제초(除草)에 비(比)하여 크게 떨어진 반면(反面), 잡초중(雜草重)은 크게 증대(增大)되었다. 8. 만파(晩播) 흑색(黑色)비닐멀칭에서는 비닐멀칭구(區)에서 엽중(葉重)이 생육중기(生育中期)에 최대(最大)를 보인 후(後) 감소(減少)되었으며 경(莖) 근(根)은 생육후기(生育後期)에 급(急)한 증대(增大)를 보여 적파(摘播)에서와 비슷한 경향(傾向)을 보였으나 총생장량(總生長量)에서는 적파(摘播)에서보다 훨씬 못미치는 것이었다. 무(無)멀칭 방임(坊任)에서는 엽중(葉重)이 생육말기(生育末期)에도 떨어지지 않았으며 경(莖) 근중(根重)도 단속(斷續) 증대(增大)하였으나 비닐멀칭보다는 총생장량(總生長量)이 크게 감소(減少)되었으며, 특(特)히 후기(後期) 경(莖) 근중(根重)이 크게 감퇴(減退)되었다. 참깨수량(收量)과 잡초중간(雜草重間)에는 적파(摘播)에서 r = $-0.874^{**}$의 높은 부(負)의 상관(相關)이 만파(晩播)에서 r = $0.712^{**}$의 높은 부(負)의 상관(相關)이 있어서 잡초(雜草)의 발생(發生)이 많아질수록 참깨수량(收量)은 감소(減少)되는 것으로 나타났다.

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