선형 대향 타겟 스퍼터 시스템을 이용하여 성막한 Ti-doped $In_2O_3$ 박막의 전기적, 광학적, 구조적 특성 연구
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- Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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- 2013.02a
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- pp.325-325
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- 2013