Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

Au Electrode Characteristics and Fabrication of Si Drug Reservoirs for a Transdermal Drug Delivery System

경피 약물전달시스템을 위한 약물 저장용 Si 구조물 제작 및 Au 전극 특성

  • Song, Tae-Eun (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Kim, Dong-Bok (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Han, Seung-Ho (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Kim, Sang-Bum (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Lee, Byoung-Kab (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Oh, Sang-Woo (Department of Electrical Engineering, Korea University) ;
  • Yang, Sang-Sik (School of Electronics Engineering, Ajou University) ;
  • Pak, Jung-Ho (Department of Electrical Engineering, Korea University)
  • 송태은 (고려대학교 전기공학과) ;
  • 김동복 (고려대학교 전기공학과) ;
  • 한승오 (고려대학교 전기공학과) ;
  • 김상범 (고려대학교 전기공학과) ;
  • 이병갑 (고려대학교 전기공학과) ;
  • 오상우 (고려대학교 전기공학과) ;
  • 양상식 (아주대학교 전자공학부) ;
  • 박정호 (고려대학교 전기공학과)
  • Published : 2004.07.14
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Abstract

본 논문은 미세공정을 이용하여 다중전극을 배열하여 전압 인가에 의해 선택적으로 약물 방출이 가능한 구역화된 약물 저장용 구조물의 설계 및 제작에 관한 것이다. 두께 525${\mu}m$ 언 (100) Si wafer를 이용하여 TMAH 용액의 조성 및 온도에 따라 Si 식각 기초실험을 하고 그 결과를 이용하여 최적 식각조건을 설정하였다. 구조물 opening 크기를 다양하게 설계하여 미량의 약물을 선택적으로 방출할 수 있게 하고자 역 피라미드 형태의 약물 저장용 구조물을 제작하였다. 전압 인가에 의한 약물 방출시 Au 전극의 특성을 고찰하고자 저장 구조물 위에 anode의 면적과 anode 전극간 거리를 변화시켜서 설계 및 제작하였고, polyimide를 전극 사이의 절연막으로 이용하였다. 제작된 구조품의 전극 특성은 5V의 설정전압을 인가하였을 경우 2500s 동안 0.25mA로 안정적으로 유지되었으나 10V, 15V, 20V일 경우 전극의 산화현상으로 Au 전극이 부식이 되어 전류가 안정적으로 흐르지 않는 것을 알 수 있었으며, 약물전달시스템에서 안정적인 전류 공급을 위해서는 Au 전극이 산화 되지 않는 전압 인가 조건 및 시간은 설정해야 함을 알 수 있었다.

Keywords