• Title/Summary/Keyword: 저온형

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ZnTe 완충층 두께에 따른 CdTe/ZnTe 양자점의 운반자 동역학

  • Kim, Su-Hwan;Lee, Ju-Hyeong;Choe, Jin-Cheol;Lee, Hong-Seok
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.305-305
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    • 2014
  • 양자점(Quantum dots)은 3차원적 운반자 구속과 낮은 전류와 높은 온도에서 작동하는 나노 크기의 전기적, 광학적 소자로 응용이 적합하기 때문에 그 특성을 이용한 단전자 트랜지스터, 적외선 검출기, 레이저, LED, 태양전지 등 반도체 소자로의 응용연구가 활발히 진행되고 있다. 특히 양자점의 낮은 임계전류밀도와 높은 차동 이득(differential gain), 그리고 고온에서 작동이 용이하여 양자점 레이저로 활용되고 있다. 이러한 분야에 양자점을 응용하기 위해서는 양자점의 운반자 동역학을 이해하고 양자점의 모양, 크기, 크기 분포와 같은 특성 조절이 필요하다. 또한 기존의 연구들은 III-V족 화합물 반도체 양자점에 대한 연구가 대부분이며, II-VI족으로 구성된 연구가 미흡한 상황이기 때문에 II-VI족 화합물 반도체 양자점에 대한 많은 연구가 필요한 상황이다. II-VI 족 화합물 반도체 양자점은 기존의 III-V 족 양자점보다 더 큰 엑시톤 결합에너지(exciton binding energy)를 가지고 있으며, 이러한 특성을 가지는 II-VI 족 화합물 반도체 양자점 중에서도 CdTe 양자점은 높은 엑시톤 결합에너지와 녹색 스펙트럼 영역을 필요로 하는 광학적 장치들에 응용 가능성이 높기 때문에 더욱 주목받고 있다. 본 연구에서는 분자 선속 에피 성장법(Molecular Beam Epitaxy; MBE)과 원자 층 교대 성장법(Atomic Layer Epitaxy; ALE)으로 CdTe/ZnTe 나노구조에서 ZnTe 완충층의 두께에 따른 운반자 동역학 및 광학적 특성을 연구 하였다. 저온 광루미네센스 측정(Photoluminescence; PL) 을 통하여 ZnTe 완충층 두께가 증가할수록 양자점의 광루미네센스 피크가 낮은 에너지로 이동함을 알 수 있었는데, 이는 ZnTe 완충층의 두께가 증가할수록 ZnTe 완충층과 CdTe 양자점의 격자 불일치(lattice mismatch)로 인한 구조 변형력이 감소하고 이에 따라 CdTe 양자점으로 가해지는 변형(Strain)이 감소하여 CdTe 양자점의 크기가 증가했기 때문이다. 그리고 ZnTe 완충층의 두께가 증가할수록 PL 세기가 증가함을 알 수 있었는데, 이는 ZnTe 완충층의 두께가 증가할수록 양자 구속 효과로부터 electronic state와 conduction band edge 사이의 에너지 차이의 증가 때문이다. 또한 시분해 광루미네센스 측정 결과 ZnTe의 두께가 증가할수록 양자점의 소멸 시간이 더 길게 측정되었는데, 이는 더 큰 양자점 일수록 엑시톤 오실레이터 강도가 감소하기 때문에 더 긴 소멸 시간을 나타내는 것을 확인할 수 있었다. 결과적으로 본 연구는 ZnTe 두께 변화를 통해 양자점의 에너지 밴드를 제어할 수 있으며, 양자점의 효율 향상을 할 수 있는 좋은 방법임을 제시하고 있다.

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Flow Characteristics, Mechanical Properties and Chemical Resistance of Polycarbonate/Polybutylene Terephthalate/Impact Modifier Blends (Polycarbonate/polybutylene Terephthalate/Impact Modifier 블렌드의 유동특성, 기계적 성질 및 내화학성)

  • 류민영
    • Polymer(Korea)
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    • v.26 no.2
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    • pp.237-244
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    • 2002
  • Mechanical properties, flow characteristics and chemical resistance of polycarbonate (PC)/polybutylene terephthalate (PBT) /impact modifier (IM) blends were investigated over the various composition ranges of PC and PBT. Mechanical properties of the PC/PBT/IM blends for different IMs, butadiene based IM and butyl acrylate based IM, were studied for various compositions of the IMs. Impact strength at low temperature was also observed. For the study of chemical resistance of the PC/PBT/IM blends, the blonds were dipped in organic solvent, thinner, and then variations of mechanical properties were analyzed. Tensile and flexural strengths were increased linearly and heat distortion temperature (HDT) also increased as PC content in the blends increased. Impact strength increased drastically as PC content increased up to 50 wt% and stayed stable value. Flowability decreased as PC content increased. Impact strengths of the blend were various for different IMs. Butyl acrylate based IM showed slightly higher impact strength than butadiene based IM for the temperature above $0^{\circ}C$. However, butadiene based IM showed remarkably higher impact strength than butyl acrylate based IM for the temperature below $0^{\circ}C$. Through the experiment of chemical resistance it was observed that tensile and flexural strengths decreased, and impact strength increased as PC content in the blends increased. PC in the blend would become mild and ductile when it contacted with organic solvent. Thus the impact strength increased while tensile and flexural strength decreased.

Wear and corrosion coatings by MO-PACVD and dual plasma processes (MO-PACVD 및 복합 플라즈마 공정에 의한 내마모 내식성 코팅)

  • 김선규
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 1999.10a
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    • pp.3-4
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    • 1999
  • 최근 산업이 고속도화, 고능률화 및 고정멸화의 추세로 발전함에 따라 우수한 내마모성, 인성, 고온 안정성 및 내구성을 갖는 공구 및 금형을 요구하게 되었다. 그러나 이와같은 성질들은 어떤 단일 재료에서는 얻을 수 없으며 적당한 기판공구나 금혈위에 내마모성 보호피막을 coating함으로 비교적 저렴하게 얻을 수 있다. 화학증착법으로 TiC, TiN등을 증착시킬때에는 $1000^{\circ}C$정도의 반응온도가 필요하며 이러한 증착온도는 모재가 초경합금일때는 문제가 안되나 강재일 경우 모재의 연화와 칫수변화의 문제를 야기시킨다. 최근에는 플라즈마를 사용하여 증착반응온도를 $550^{\circ}C$ 이하로 낮추는 플라즈마 화학 증착볍(PACVD)이 대두되고 있다. 그러나 이 방법어서 는 뚱착하려는 금속원소가 TiCl4의 형태로 공급되고 있으므로 생성된 층이 염소를 포함하고 있다. 이 층에 잔존하는 염소는 층의 기계적 성질을 저하시키고 층내의 stress를 유발시킨다. 또한 HCI개스의 생성으로 인하여 펌프 및 장비의 부식이 촉진 된다 이러한 결점을 극복하기 위하여 금속유기화합물 전구체(metallo-organic precursor)로 $TiCl_4$를 대체하고자 하는 연구가 활발하게 진행되고 있으며 본 연구실에서 이에 대하여 연구한 결과를 소개하고자 한다. diethylamino titanium을 전구체로 사용하여 $H_2,\;N_2,\;Ar$분위기하에서 pulsed d.c.를 사용하는 MO-PACVD에 의하여 $150~250^{\circ}C$의 저온에서 Al 2024 기판에 TiCN층 형 성을 하였다. 전구체 증발온도는 $74~78^{\circ}C$의 온도범위어야 하며 고경도의 코탱층은 54% duty, 14.2kHz, 450V의 조건에서 얻어졌으며 duty, 주파수, 전압이 증가함에 따라 경도는 저하되었다. 이때의 표면 morphology를 SEM으로 조사한바 dome structure가 크게 발달되었음을 알 수 있었다. 본 실험의 온도 범위내에서 얻은 TiCN 증착반응의 활성화에너지는 7.5Kcal/mol이었다. 증착된 TiCN층은 우수한 내마모섣을 나타내었으며 스크래치테스트 결과 17N의 엄계하중을 나타내었다. 본 연구에서 변화 시킨 duty, 주파수, 전압의 범위에서는 층의 밀착력은 크게 변화하지 않았다. titanium isopropoxide를 전구체로 사용하여 Hz, Nz 분위기하에서 d.c.를 사용하는 MO-PACVD에 의하여 Ti(NCO) 코팅층을 SKDll, SKD61, SKH9 공구강에 형성시키는 공정을 개발하였다. 최적의 Ti(NCO) 코탱층을 얻기 위해 유입전구체 부피%의 양은 향착압력의 5%를 넘지 않아야 되고 수소와 젤소 가스비가 1:1일 때 가장 높은 코팅층의 경도값을 나타내었다. 수소와 질소 가스비가 3:7일 때 TiFeCr(NCO)의 복화합물 코팅층이 형성됨을 알 수 있었고 500t의 증착온도에서 얻은 Ti(NCO) 코팅층이 높은 경도값과 좋은 내식성을 나타내었다. 또한 이와같은 Ti(NCO) 코팅공정과 본 실험실에서 개발한 확산층만 형성시키는 plsma nitriding 공정을 결합하여 복합코탱층을 형성하였는데 이 복합코팅층은 고경도와 우수한 내마모성, 내식성 뿐만 아니라 10)N 이상의 뛰어난 밀착력을 나타내었다. 현재 많이 사용되고 있는 PVD법은 step coverage가 좋지 않은 점과 cost intensive p process라는 단점이 있다. MO-PACVD법은 이러한 문제를 해결할 수 있는 방법으로서 앞으로 지속적인 도전이 요구되는 분야이다.

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Comparative Study of Prolonged Preservation Methods in Rabbit Heart for Transplantation (이식을 위한 가토심장의 장기 보존방법에 관한 비교 연구)

  • Jo, Hyeong-Gon;Kim, Su-Hyeon;Kim, Song-Myeong
    • Journal of Chest Surgery
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    • v.30 no.1
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    • pp.1-10
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    • 1997
  • The successful cardiac transplantation depends partly on the donor heart preservation by a solution that will ensure recovery of myocardial function. The purpose of this study was to perform the evaluation of various preservation solutions and to accumulate the data on the requisites for ideal preservation solution. The experimental setup was the constant pressure Langendorffs perfusion system. Isolated rabbit hearts were perfused for 20minutes with unarm Krebs-Henseleit solution, stored for 4 hours in cold preservation solution after cardioplegia, and then were reperfused for 20minutes. The 4 experimental groups were prepared Hartmann's solution group (group 1, control), modified Euro-collins solution group(group II. MEC), modified University of Wisconsin group (group n, MUW), and CK solution(made by the author) group (group W, CK). The parameters for assessing the preservation ability were levels of enzymes in freezed myocardial tissues (lactate, creatine kinase-MB and adenosine deaminase), coronary flow. left ventricular developing pressure and dpldt. In conclusion, the ability of preservation for isolated rabbit heart was excellent in CK solution and modified University of Wisconsin solution, and poor in modified Euro-collins solution, compared with Hartmann solution. CK solution has low potassium concentrations(34.2mEq/L) and includes various substrates to be salutary on myocardial preservation. This fact may indicates the necessity of further refinements in selection or composition of electrolytes and substrates.

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Development of rotor overlay welding process (로타 오버레이 용접공정 개발)

  • Lee, Kyong-Woon;Kim, Dong-Jin;Kang, Sung-Tae
    • Proceedings of the KWS Conference
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    • 2009.11a
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    • pp.12-12
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    • 2009
  • 터빈에서 핵심부품인 로터는 블레이드를 원심 운동시키는 대형 단조강이며, 고압의 증기 조건에서 고속회전하며 고온에서 운전과 저온에서 과속시험 동안 높은 원심력을 받는다. 또한 기동/정지 천이 동안 열응력을 받기 때문에, 이러한 운전조건에 부합되는 소재로서는 높은 Creep 강도 및 피로강도를 가지는 CrMoV type의 강종이 사용되어져 왔다. 발전소의 대용량화 및 고온화에 따라 종래의 증기조건에서 사용되어져 왔던 1%CrMoV강은 내산화성 및 내부식성이 문제가 되어 더 이상 사용이 불가하며, 고온/고압하에서도 우수한 소재 특성을 가지는 12%Cr강의 사용이 필수적이다. 그러나 12%Cr강으로 제작되는 로타는 Cr 양이 높기 때문에 저널부에 Galling 또는 Scuffing 이라 불리는 부적절한 마모현상과 사용 중 소착이 발생하기 쉬운 단점이 있기 때문에, 저널부에 Cr 함유량 2~3% 이하의 저합금강을 오버레이 용접하여 육성하는 일체형 가공구조의 로타 저널부가 주목되어 왔다. 따라서 본 연구에서는 Large scale 로타가 용접 도중 급열 및 급냉이 되지 않으면서 균일한 온도로 일정 시간 유지할 수 있는 열관리 장치 개발, 최적 오버레이 용접조건 선정 및 용접부 건전성 시험 평가를 통하여 12%Cr 로타 저널부의 최적 오버레이 용접공정을 확립하고자 하였다. 용접 열관리 장치는 전기저항 가열방식을 적용하고 있으며 용접이 최종 완료되기 전까지 로타 제품 전체는 $93^{\circ}C$이상의 온도로 유지 되어져야 하며, 규정 용접후열처리 온도는 $650^{\circ}C{\pm}14^{\circ}C$ 이다. 또한 로타 오버레이 용접은 모재 Set up $\Rightarrow$ 용접예열 $\Rightarrow$ GTA용접 $\Rightarrow$ SA용접 $\Rightarrow$ 용접후열(Post heating) $\Rightarrow$ 용접후열처리(PWHT) $\Rightarrow$ 정삭가공 $\Rightarrow$ NDE(UT) 순으로 수행 되어진다 실제 로타의 1/3 Scale로 시험편을 제작하여, 오버레이 mockup 시험을 수행한 후 화학성분, 경도 분포, 인장강도, 충격인성 및 굽힘시험을 수행한 결과, 오버레이 용접에서 요구되어지는 용접 물성값을 만족하는 것으로 확인되었다. 또한 균열 등의 선형 결함이나 기공, 슬라그 혼입과 같은 결함은 관찰되지 않았으며, 용접 시 아크의 안정성과 슬라그의 박리성은 양호하였으며 비드의 외관도 미려하여 용접 작업성도 양호하였다.

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Physico-mechanical Properties and Optimum Manufacturing Conditions of Bi-Sn Metal Alloy Impregnated Wood Composites (Bi-Sn 용융합금주입 목재복합체의 최적제조조건 및 물리·기계적 특성)

  • Park, Kye-Shin;Lee, Hwa-Hyoung;Kang, Seog Goo
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • v.42 no.6
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    • pp.691-699
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    • 2014
  • In order to improve the dimensional stability and durability of wood, this study attempted to impregnate bismuth (Bi) - tin (Sn) alloy metal with low melting temperature into solid woods of three species such as radiata pine, red oak and white oak, and investigated to determine an optimum condition of manufacturing the metal alloy-wood composites with natural wood grains. These Bi-Sn alloys were chosen for this study because they were harmless to human and melting at low temperatures. The composites resulted in high dimensional stability and low thickness swelling, and also showed much improved performance such as high bending strength, high hardness, high electric conductivity, and high thermal conductivity as floor materials. A proper impregnating condition of all specimens was determined as 10 minutes of the preliminary vacuum time, and $185^{\circ}C$ of the heating temperature. The proper processing condition for radiata pine wood was 2.5 minutes of the pressuring time at the pressure of $10kgf/cm^2$. For red oak wood, 10 minutes of the pressuring time at the pressure of $30kgf/cm^2$ were the proper condition. The proper manufacture conditions for white oak wood was determined as 10 minutes of the pressuring time at the pressure of $50kgf/cm^2$.

Effect of Combined Salts Addition on Physical and Sensory Properties of Kimchi (염혼합물의 첨가가 김치의 물리적 및 관능적 특성에 미치는 영향)

  • Ku, Kyung-Hyung;Kang, Kun-Og;Chang, Young-Sang;Kim, Woo-Jung
    • Korean Journal of Food Science and Technology
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    • v.23 no.2
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    • pp.123-128
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    • 1991
  • Addition of two different salt mixtures of sodium phosphates, Ca-EDTA, $NaNO_2$ and sodium citrate were investigated for their effects on relative viscosity, textrue, sensory properties of kimchi and solids contents of kimchi and kimchi liquid during fermentation at $4{\sim}3.5^{\circ}C$. The salt mixtures were added into half fermented kimchi with the concentration range of $0.001{\sim}0.01\;M$. The results showed that higher values in viscosity of kimchi liquids were obtained for those fermented at low temperature and with salts mixtures added. The hardness of Chinese cabbage was gernerally increased until pH 4.0 reached and then decreased thereafter for those fermented without salts mixture. However the salts added kimchi showed no decrease and a slightly harder texture measured at the late stage of fermentation. Soluble solids concentration steadly decreased in kimchi liquids for those salts mixture added while those without salts mixture were initially increased followed by slow decrease. Comparison of sensory properties showed that the degree of changes was reduced when salt mixture was added. Higher scores in fresh-sourness and acidic taste, hardness and chewiness in texture and lower moldy odor were obtained when the data was compared for those kimchi having the pH range of $4.0{\sim}4.2$.

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Annealing Effect of Surface Magnetic Properties in CoTi Thin Films (열처리 효과가 CoTi계 박막의 표면자기특성에 미치는 영향)

  • 김약연;백종성;이성재;임우영;이수형
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.7 no.1
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    • pp.38-43
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    • 1997
  • For amorphous $Co_{1-x}Ti_x$(X=0.13, 0.16, 0.21 at.%) thin films deposited by DC magnetron sputtering method ferromagnetic resonance experiments have been used to investigate the dependence of surface magnetic properties according to annealing temperature (150~225 $^{\circ}C$). Spin wave resonance spectra for all annealing temperatures consist of several volume modes and one(or two) surface mode. It is suggested that both surfaces of the film have a perpendicular hard axis to the film plane(negative surface anisotropy). Also, the surface anisotropy $K_{s2}$ at substrate film interface is varied slowly from -0.11 to -0.25 erg/ $\textrm{cm}^2$ and the surface anisotropy $K_{s1}$ at film-air interface is varied from 0.16 to -0.53 erg/ $\textrm{cm}^2$ with increasing annealing temperature. We conjecture that the variation of surface anisotropy $K_{s1}$ is due to the increase of Co concentration resulted from Ti oxidation for low temperature annealing(150~200 $^{\circ}C$) and the diffusion of Co atoms near the film surfaces for high temperature annealing(225~250 $^{\circ}C$).

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CdTe 두께에 따른 CdTe/ZnTe 나노구조의 운반자 동역학과 열적 활성화 에너지

  • Han, Won-Il;Lee, Ju-Hyeong;Choe, Jin-Cheol;Lee, Hong-Seok
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.298-299
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    • 2012
  • 현재 반도체 나노구조는 단전자 트랜지스터, 레이저, LED, 적외선 검출기 등과 같은 고효율 광전자 소자에서의 응용을 위해 활발한 연구가 진행 되고 있다. 이러한 응용 분야를 위한 다양한 종류의 나노구조 성장이 광범위하게 시도 되고 있지만 주로 III-V 족 화합물 반도체에 대한 연구가 주를 이룬 반면 II-VI 족 화합물 반도체에 대한 연구는 아직 미흡하다. 하지만 II-VI 족 화합물 반도체는 III-V 족 화합물 반도체와 비교했을 때 더 큰 엑시톤 결합에너지(exciton binding energy)를 가지는 우수한 특성을 보이고 있으며 이러한 성질을 가지는 II-VI 족 화합물 반도체 중에서도 넓은 에너지 갭을 가지는 CdTe 양자점은 녹색 영역대의 광전자 소자로서 활용되고 있다. 본 연구에서는 분자 선속 에피 성장법(molecular beam epitaxy; MBE)과 원자 층 교대 성장법(atomic layer epitaxy; ALE)으로 CdTe 두께에 따른CdTe/ZnTe 나노구조의 광학적 특성을 연구하였다. 광루미네센스(photoluminescence; PL)를 통해 CdTe/ZnTe 나노구조에서 CdTe 두께에 따른 에너지 밴드와 열적 활성화 에너지를 관찰하였다. 또한 시분해 광루미네센스(Time-resolved PL)를 통해 CdTe 두께에 따른 CdTe/ZnTe 나노구조의 운반자 동역학을 조사하였다. 저온 광루미네센스 측정 결과 CdTe 두께가 증가할수록 각 샘플의 피크는 더 낮은 에너지 영역대로 이동하는 것을 관찰할 수 있다. 1.2 에서 2.0 ML로 증가할 때 광 루미네센스의 작은 적색편이를 관찰할 수 있는데, 이는 CdTe 양자우물에서 양자점으로의 구조적인 전이가 일어남에 따라 구속효과가 증가하였기 때문이다. 또한 2.0 에서 3.6 ML까지 CdTe 두께가 증가할 때 측정된 적색편이 현상은 양자점의 사이즈 증가함에 따른 것이다. 마지막으로 3.6 에서 4.4 ML로 CdTe 두께가 증가할 때 큰 적색편이 현상을 볼 수 있는데 이는 CdTe 양자점에서 양자세선으로의 구조적 전이에 따라 구속효과가 증가하였기 때문이다. 온도 의존 광루미네센스(Temperature-dependent PL) 측정 결과 1.2 와 3.0 ML 두께의 CdTe/ZnTe 나노구조에서 구속된 전자의 열적 활성화 에너지가 18 과 35 meV로 관찰되었다. 3.0 ML CdTe/ZnTe 나노구조에서 가장 큰 열적 활성화 에너지를 갖는 것은 양자점의 균일도가 좋아지고 저차원 나노구조로의 구조적 전이가 일어나면서 운반자 구속효과에 다른 쿨롱 상호작용이 증가하였기 때문이다.

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Poly-Si MFM (Multi-Functional-Memory) with Channel Recessed Structure

  • Park, Jin-Gwon;Jo, Won-Ju
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.156-157
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    • 2012
  • 단일 셀에서 비휘발성 및 고속의 휘발성 메모리를 모두 구동할 수 있는 다기능 메모리는 모바일 기기 및 embedded 장치의 폭발적인 성장에 있어 그 중요성이 커지고 있다. 따라서 최근 이러한 fusion기술을 응용한 unified RAM (URAM)과 같은 다기능 메모리의 연구가 주목 받고 있다. 이러한 다목적 메모리는 주로 silicon on insulator (SOI)기반의 1T-DRAM과 SONOS기술 기반의 비휘발성 메모리의 조합으로 이루어진다. 하지만 이런 다기능 메모리는 주로 단결정기반의 SOI wafer 위에서 구현되기 때문에 값이 비싸고 사용범위도 제한되어 있다. 따라서 이러한 다기능메모리를 다결정 실리콘을 이용하여 제작한다면 기판에 자유롭게 메모리 적용이 가능하고 추후 3차원 적층형 소자의 구현도 가능하기 때문에 다결정실리콘 기반의 메모리 구현은 필수적이라고 할 수 있겠다. 본 연구에서는 다결정실리콘을 이용한 channel recessed구조의 다기능메모리를 제작하였으며 각 1T-DRAM 및 NVM동작에 따른 memory 특성을 살펴보았다. 실험에 사용된 기판은 상부 비정질실리콘 100 nm, 매몰산화층 200 nm의 SOI구조의 기판을 이용하였으며 고상결정화 방법을 이용하여 $600^{\circ}C$ 24시간 열처리를 통해 결정화 시켰다. N+ poly Si을 이용하여 source/drain을 제작하였으며 RIE시스템을 이용하여 recessed channel을 형성하였다. 상부 ONO게이트 절연막은 rf sputter를 이용하여 각각 5/10/5 nm 증착하였다. $950^{\circ}C$ N2/O2 분위기에서 30초간 급속열처리를 진행하여 source/drain을 활성화 하였다. 계면상태 개선을 위해 $450^{\circ}C$ 2% H2/N2 분위기에서 30분간 열처리를 진행하였다. 제작된 Poly Si MFM에서 2.3V, 350mV/dec의 문턱전압과 subthreshold swing을 확인할 수 있었다. Nonvolatile memory mode는 FN tunneling, high-speed 1T-DRAM mode에서는 impact ionization을 이용하여 쓰기/소거 작업을 실시하였다. NVM 모드의 경우 약 2V의 memory window를 확보할 수 있었으며 $85^{\circ}C$에서의 retention 측정시에도 10년 후 약 0.9V의 memory window를 확보할 수 있었다. 1T-DRAM 모드의 경우에는 약 $30{\mu}s$의 retention과 $5{\mu}A$의 sensing margin을 확보할 수 있었다. 차후 engineered tunnel barrier기술이나 엑시머레이저를 이용한 결정화 방법을 적용한다면 device의 특성향상을 기대할 수 있을 것이다. 본 논문에서는 다결정실리콘을 이용한 다기능메모리를 제작 및 메모리 특성을 평가하였다. 제작된 소자의 단일 셀 내에서 NVM동작과 1T-DRAM동작이 모두 가능한 것을 확인할 수 있었다. 다결정실리콘의 특성상 단결정 SOI기반의 다기능 메모리에 비해 낮은 특성을 보여주었으나 이는 결정화방법, high-k절연막 적용 및 engineered tunnel barrier를 적용함으로써 해결 가능하다고 생각된다. 또한 sputter를 이용하여 저온증착된 O/N/O layer에서의 P/E특성을 확인함으로써 glass위에서의 MFM구현의 가능성도 확인할 수 있었으며, 차후 system on panel (SOP)적용도 가능할 것이라고 생각된다.

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