• Journal of Wetlands Research
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• v.12 no.3
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• pp.15-20
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• 2010

The contamination loadings generated in Changwon City are coming into Masan Bay through the Bongam tidal flat except the loadings collected and transferred by sewer lines to the wastewater treatment plant. The recovery of waterbirds, shellfishes, and fishes has been quite well recognized in recent years after the first implementation of Masan Bay TPLM (Total Pollution Loads Management) in Korea. This tidal flat has been conserved by the cooperation of several stakeholders and utilized as an ecosystem field site for in situ education. A large industrial complex has been operated since 1970's, therefore increasing the level of pollutants in estuary and costal sediments, especially by heavy metals. Zinc, copper, and lesd contamination of sediment was revealed at higher level by Clean-up guideline (MOMAF) or heavily polluted level by SQC (USEPA). There was a significant difference between two sites at the 95% confidence level, which implies no homogeneity in the processes of transport and deposition even at 500 m of distance. The heavy metal concentrations in the Bongam sediments have been gradually decreased with comparing the data of 2006, and 2009.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.20 no.3
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• pp.513-519
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• 2019

Typically, contaminated sediments cause clogging of the drain pipe, which increases the residual water pressure in the drain pipe; this study constructed a system for improving drainage efficiency of tunnels by reducing physical and chemical obstructions through ultrasonic energy generated by a PVDF film. The developed hybrid drainage system utilized a PVDF material film fused with an existing drainage tunnel and maintenance system resulting in the ability to initialize the reverse piezoelectric effect, which was evaluated through an on site application. In order to investigate the maintenance performance of the tunnel drainage system, contaminated sediments were simulated in a drainage pipe to test the effect of ultrasonic conditions on drainage efficiency in the laboratory. As a result of applying the developed portable equipment, the ultrasonic energy was generated for about 20 minutes resulting in a reduction of 74.62% of the contaminated sediments and improving drainage efficiency. From the tunnel, acoustic pressure measurements were taken to calculate the response rate while taking into account the laboratory results. In addition, PVDF film was attached to the transverse and longitudinal side of the drainage pipes where contaminated sediments occur most often in the field tunnel. these calculations show contaminant removal was 90% effective.

• Korean Journal of Soil Science and Fertilizer
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• v.38 no.5
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• pp.259-268
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• 2005

Most of the tailings have been left without any management in their mines and have become the main source of serious environmental problems in nearby groundwater, stream and cultivated lands. To compare fractionation and potential mobility of heavy metals in tailings and paddy soils near abandoned 10-metalliferous mines in Korea, the distribution and chemical fractions of heavy metal and their mobility in relation to chemical compositions were investigated. The pollution index of heavy metal in mine tailing calculated with the permissible levels were in the order Cheongyang>Dogok>Beutdeun>Baegwoul mine, which were considered sufficient to raise environmental problems. The rates of 0.1M-HCl extractable Cd, Cu, Pb, Zn, and Ni to total content in paddy soils were 49.1, 50.7, 26.8, 18.4 and 2.9%, respectively, and their rates of heavy metals in paddy soils were higher than that of mine tailing. Dominant chemical forms of heavy metals in tailings were sulfide and residual form (63-91%), specially, the exchangeable portion of Cd (21%) was relatively higher than that of other metals in paddy soils. The mobility factor of heavy metals in tailings and paddy soils was in the order Cd>Zn>Cu>Pb, and the mobility factor in tailing varied considerably among the mines. The potential mobility of heavy metals in tailings showed significant positive correlation with water-soluble $Al^{3+}$ and $Fe^{3+}$ contents, while in paddy soils, it correlated negatively with soil pH values.

• Proceedings of the Korean Society of Soil and Groundwater Environment Conference
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• 2002.04a
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• pp.191-194
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• 2002

토양증기추출(Soil Vapor Extraction)법을 이용하여 대표적 휘발성 NAPL (Non-aqueous phase liquid)인 TCE (trichloroethylene)와 toluene을 토양으로부터 제거하는 칼럼 실험을 실시하였다. 토양특성 및 증기추출 조건들이 정화효율에 미치는 영향을 규명하는데, 균질한 Ottawa sand와 실제 오염지역의 토양들을 직경 2.5cm, 길이 30cm인 유리 칼럼이 충진시켰으며, 빨갛게 염색된 TCE 또는 toluene 4 g이 주입되었다 공기 유량계를 설치하여 0.03L/min의 일정한 속도로 공기가 주입되도록 하고, 퍼지장치를 설치하여 주입 공기의 습윤도를 99% 이상으로 유지하였다. 가스크로마토그래피로 유출 가스 농도를 분석하였다. Ottawa sand로 충진된 칼럼실험에서는 매질의 입자크기, 함수율, 토양 내 오염물 체류시간 등을 변화시켜 실험을 반복하였다. TCE로 오염된 세립질 Ottawa sand 칼럼실험에서 유출 공기의 최대 농도는 조립질 Ottawa sand 칼럼의 유출 농도보다 약 20% 정도 감소하였고, 오염지역의 실제토양 칼럼실험에서는 최대유출농도가 조립질 Ottawa sand 칼럼의 농도보다 약 50% 감소하였으나, 20 liter공기 주입 후부터는 모두 비슷한 농도감소 현상을 나타내었으며, 초기 주입량의 90 % 이상이 제거되었다. 함수율증가에 따른 유출공기의 농도 감소는 거의 나타나지 않았으며, TCE 주입 후 7일 동안 방치하였다가 SVE를 실시한 칼럼 실험에서도 잔류하는 TCE의 양이 약간 증가하였지만 20 liter 공기 추출 후에는 초기 주입량의 90% 가, 40 liter공기 추출 후에는 98% 이상이 제거되었다. Toluene으로 오염된 칼럼 실험에서도 TCE와 비슷한 제거 경향을 나타냈으며 200 liter 공기 추출 후에는 오염물 초기 주입량의 98% 이상이 제거되었다. 본 실험 결과로부터 증기추출법을 이용한 TCE, toluene 정화 효율성이 규명되었으며, 휘발성 NAPL로 오염된 실제 토양을 복원하기 위한 SVE법의 적용가능성을 확인할 수 있었다.

• Journal of Korea Soil Environment Society
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• v.3 no.2
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• pp.53-60
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• 1998

The influence of venting on the leaching characteristics of pure gasoline and gasoline contaminated soil was studied. The change of leaching characteristics by venting of contaminated soil column could be characterized by two distinct trends : 1) the leaching concentration in TPH-GRO rapidly decreased with evaporation until the evaporation loss became 75% of the original volume. Afterwards, it gradually decreased. 2) the leaching concentrations of individual components showed initial increase followed by gradual decrease. In general, the relative increase of leaching concentration and the venting time to reach the maximum increased with the molecular weight of the components. It should be noted that the decrease of gasoline concentration in the vented air occurs faster than that in the leaching solution. This indicates that, after removing most of the gasoline by evaporation, the focus of the risk assessment for the residual contaminants should be on the groundwater contamination rather than air pollution.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1998.02a
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• pp.179-179
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• 1998

실리콘 집적회로 제조시 sub-micron 의 contact 형성 공정은 질연막 형성 후 이의 식각 및 세정, c contact 실리사이드, 획산방지막, 배선 금속층의 형성 과정올 거치게 된다. 본 연구팀에서는 C.F야f2 헬리 콘 플라즈마훌 이용한 고선택비 contact 산화막 식각공정시 형성된 잔류막충과 오염 손상올 관찰하고 산소 플라즈마 처리와 후속 열처리에 따른 이들의 제거 정도를 관찰하여 이에 대한 결과를 발표하였다. 본 연구메서는 식각 및 후처리에 따라 잔류하는 잔류막과 손상층이 후속 공정인 contact 실리사이드 형 섬에 미치는 영향올 관찰하였다. C C.F바f2 웰리콘 풀라즈마률 이용한 식각시 공정 변수로는 수소가스 첨가, bias voltage 와 과식각 시간 의 효과를 관찰하였으며 다른 조건은 일정하게 하였다 .. Contact 실리사이드로는 Ti, Co-싫리사이드를 선 택하였으며 Piranha cleaning, 산소 플라즈마 처리, 산소 풀라즈마+600 'C annealing으로 각각 후처리된 시 편을 후처리하지 않은 시펀돌과 함께 실리사이드 형성용‘시펀으로 이용하였다 각각 일정 조건에서 동 일 두께의 실리사이드훌 형성시킨 후 4-point probe룰 이용하여 면저황올 측정하였다 후처리하지 않은 시편의 경무 실리사이드 형성은 아주 시펀의 일부분에서만 형성되었으며 후속 세정 및 얼처리훌 황에 따라 실리사이드의 면저항은 감소하여 식각 과정을 거치지 않은 깨끗한 실리콘 웨이퍼위에 실리사이드 를 형성시킨 값(control 값)에 접근하였다. 실리사이드의 면저항값은 식각시 노훌된 실리콘 표면 위에 형 성된 손상충보다는 잔류막에 큰 영향을 받았으며 수소 가스가 첨가된 식각 가스로 식각한 시편으로 형 성한 실리사이드의 면저항값이 손상이 상대적으로 적은 것으로 관찰된 수소훌 첨가하지 않은 식각 가 스로 식각한 시펀 위에 형성된 실리사이드의 면저황에 비해 낮은 값을 나타내었다. 실리사이드의 전기적 륙성에 미치는 손상층의 영향올 좀더 면밀히 관찰하고자 bare 실리콘 wafer 에 잔류막이 거의 없이 손상층을 유발시키는 식각 조건들 (100% HBr, 100%H2, 100%Ar, Cl싸fz)에 대하여 실 리콘 식각을 수행한 후 Co-실리사이드률 형성하여 이의 면저황을 측정한 걸과 100% Ar 가스로 식각된 시편을 이용하여 형성한 실리사이드의 면저항은 control 에 기까운 면저항값올 지니고 따라서 손상층이 실리사이드 형섬메 미치는 영향은 크지 않음을 알 수 있었다. 이상의 연구 결과훌 통해 손상층이 실리사이드의 형성이나 전기적 톡섬에 미치는 영황은 잔류막층 에 의한 영향보다 적다는 것을 알 수 았으며 잔류막층의 두께보다는 성분이나 걸합상태, 특히 식각 및 후처리 후 잔류하는 탄소 싱분과 C-Si 결함에 큰 영향올 받는 것올 알 수 있었다.

• KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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• v.13 no.1
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• pp.213-220
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• 1993

The problem of disposing of huge quantities of used tires is of growing concern to every country. As an economical solid waste management, a gasification followed by incineration process was applied to scrap tires to recover heat and to reduce waste volume for final landfill disposal. The gasification temperature, combustible and non-combustible gasified products and possibly produced air pollutants were predicted by changing equivalent mole ratios of carbon to oxygen by a chemical equilibrium model. For a risk assessment of ash toxic pollutants including heavy metals and toxic organics were thoroughly analyzed. Gasification bottom ash contained much more toxic organic compounds than fly ash, whereas fly ash contained higher concentration of heavy metals such as Pb and Cd. Pretreatment or secure landfill technology is suggested for a safe management of ash produced from the gasification incinerators.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2007.06a
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• pp.76-80
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• 2007

반도체 제조공정에서 매엽식 습식 식각 공정은 기판을 회전하면서 상하 면에 약액을 분사하는 형태로 박막을 식각한다. 이 때 기판은 척을 이용하여 고정되는 데 기판과 척이 접촉하는 가장자리 부분에서 약액의 흐름이 정체되거나 일정하지 못해 잔류막질이 남게 되고, 후속 공정에서 기판 오염의 문제를 야기하게 된다. 본 논문에서는 이러한 문제를 해결하기 위해 기판을 파지하는 여러 개의 척을 2개조로 나누어 교대로 파지하도록 하는 기능을 제시하였다. 2개 조의 척들은 자성체를 사용하여 고속 회전 중에 비접촉 방식으로 구동하였고 실제 약액 처리론 수행하여 효과를 관찰하였다. 결과적으로 기존 고정형 파지 방식에 비해 교차형이 기판 베벨면이나 에지면에서의 잔류 막질 제거에 탁월한 효과가 있음을 확인하였다.

• Korean Journal of Environmental Agriculture
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• v.21 no.1
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• pp.7-16
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• 2002

Contamination of groundwater by agrochemicals used in the regional-scale Is now a major environmental problem, and this is especially true for Cheju island where virtually all potable water is from groundwater. The objective of this study was to assess leaching potential of eight pesticides in soils of citrus orchards using groundwater ubiquity score (GUS), retardation factor (RF) and attenuation factor (AF). Considering GUS estimated in 30 citrus orchard soils, metribuzin and metolachlor were classified as leacher, alachlor in volcanic ash soils and linuron in non-volcanic soils were classified as leacher, but chlorothalonil and chlorpyrifos were classified as non-leacher. For RF values, metribuzin was classified to be mobile in soils of low organic carbon, metolachlor and alachlor were classified to be moderately immobile in most soils, but linuron, diuron, diniconazole, chlorothalonil and chlorpyrifos were all classified to be very immobile. For AF values, diniconazole, chlorothalonil, and chlorpyrifos were classified to be very unlikely leachable in all of the soils, metribuzin was classified to be likely leachable, and metolahclor, alachlor, linuron and diuron were classified to be leachable only in non-volcanic soils. Although there were some variations in the relative potential of teachability of pesticides estimated with the three different indices, the ranking was essentially determined on the base of the intrinsic properties of the chemicals and environmental properties. Among the eight pesticides, metribuzin, metolachlor, and alachlor, which have high water solubility and low $K_{oc}$ values, have a significant leaching potential especially in non-volcanic ash soils of low organic carbon. But diniconazole, chlorothalonil, and chlorpyrifos, which have low water solubility and high $K_{oc}$ values, were classified to be very immobile in all of the soils. Therefore, to lower the possibility of pesticide contamination of the groundwater in Cheju island, those pesticides which have high water solubility and low $K_{oc}$ values should be used with care in soils of low organic carbon including non-volcanic ash soils.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2009.06a
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• pp.56-56
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• 2009

반도체 device가 점점 고집적화, 다층화 되면서 막질의 평탄화를 위한 CMP (chemical mechanical planarization) 공정은 반도체 제작 공정에서 필수 요건이 되었다. 특히 pad conditioning은 CMP 공정 중, 막질의 제거율과 균일도를 유지시키기 위한 중요한 공정이다. 하지만, conditioner를 장시간 사용할 경우 slurry residue와 같은 잔류 오염물질들이 conditioner의 표면의 오염을 유발할 수 있고 이로 인해 conditioner의 수명이 단축되거나 웨이퍼 표면에 결함을 유발할 수도 있다. 본 연구에서는 이를 방지하기 위해 vapor SAM을 이용하여 Ni conditioner 표면에 소수성 박막을 증착하여 오염여부를 평가해 보았다. 먼저, Ni wafer를 이용하여 증착 온도와 압력에 따라 소수성 박막을 증착하여 표면특성을 평가해 보았다. 증착전과 후에 Ni wafer 표면의 접촉각은 contact angle analyzer (Phoenix 400, SEO, Korea)를 이용하여 측정하였다. 박막 표면 형상과 거칠기는 AFM (XE-100, PSIA, Korea)를 이용하여 평가되었고 묘면 성분 분석을 위해 FT-IR (Nicolet 6700, Thermo Scientific, USA)이 사용되었다. SEM (S-4800, Hitach, Japan)은 박막 증착 전과 후의 conditioner를 이용하여 실제 conditioning후 conditioner 표면의 particle 오염정도를 관찰하기 위해 사용되었다. 또한, conditioner 표면에 실제 오염되어있는 particle 개수를 평가하기 위해 particle size analyzer (Accusizer 780A, Particle Sizing Systems Co., USA)을 사용하였다. 본 실험을 통해 최적 증착 조건을 확립하였으며 실제 conditioner 표면에 소수성 박막을 증착 후 $100^{\circ}$ 이상의 높은 contact angle을 확인할 수 있었다. 또한, 소수성 박막이 증착된 conditioner의 경우 실제 conditioning후 표면 particle 오염이 현저히 감소되었음을 확인할 수 있었다.