• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.91-91
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• 2010

본 논문은 펄스 직류전원 (Pulse DC) 플라즈마 소스와 반응성 가스인 $CF_4$와 불활성 가스인 Ar를 혼합하여 산업에서 널리 사용되는 유기고분자인 Polymethylmethacrylate (PMMA), Polyethylene terephthalate (PET), 그리고 Polycarbonate (PC) 샘플을 건식 식각한 결과에 대한 것이다. 각각의 샘플은 감광제 도포 후에 자외선을 조사하는 포토레지스트 방법으로 마스크를 만들었다. 펄스 직류전원 플라즈마 시스템을 사용하면 다양한 변수를 줄 수 있다는 장점이 있다. 공정 변수는 Pulse DC Voltage는 300 - 500 V, Pulse DC reverse time $0.5{\sim}2.0\;{\mu}s$, Pulse DC Frequency 100~250 kHz 이었다. 변수 각각의 값이 높아질수록 고분자의 식각률이 높아졌다. 특히, PMMA의 식각률이 가장 높았으며 PET, PC 순이었다. 샘플 중 PC의 식각률이 가장 낮은 이유는 고분자 결합 중에 이중결합의 벤젠 고리 모양을 포함하고 있어 분자 결합력이 비교적 높기 때문으로 사료된다. 기계적 펌프만을 사용한 공정 전 압력은 30 mTorr이었다. 쓰로틀 밸브를 완전 개방한 상태에서 식각 공정 중 진공 압력은 $CF_4$ 가스유량이 늘어날수록 증가하였다. 식각률 역시 $CF_4$ 가스유량(총 가스 유량은 10 sccm)이 많을수록 증가함을 보여주었다 (PMMA: 10 sccm $CF_4$에서 330 nm/min, 3.5 sccm $CF_4$/6.5 sccm Ar에서 260 nm/min., PET: 10 sccm $CF_4$에서 260 nm/min, 3.5 sccm $CF_4$/6.5 sccm Ar에서 210 nm., PC: 10 sccm $CF_4$에서 230 nm, 3.5 sccm $CF_4c$/6.5 sccm Ar에서 160 nm). 이는 펄스 직류전원 플라즈마 식각에서 $CF_4$와 Ar의 가스 혼합비를 조절함으로서 고분자 소재의 식각률을 적절히 변화시킬 수 있다는 것을 의미한다. 표면 거칠기는 실험 후 표면단차 측정기와 전자 현미경 등을 이용하여 식각한 샘플의 표면을 측정하여 알 수 있었다. 실험전 기준 샘플 표면 거칠기는 PMMA는 1.53nm, PET는 3.1nm, PC는 1.54nm 이었다. 식각된 샘플들의 표면 거칠기는 PMMA는 3.59~10.59 nm, PET은 5.13~11.32 nm, PC는 1.52~3.14 nm 범위였다. 광학 발광 분석기 (Optical emission spectroscopy)를 이용하여 식각 공정 중 플라즈마 발광특성을 분석한 결과, 탄소 원자 픽 (424.662 nm)과 아르곤 원자 픽 (751.465 nm, 763.510 nm)의 픽의 존재를 확인하였다. 이 때 탄소 픽은 $CF_4$ 가스에서 발생하였을 것으로 추측한다. 본 발표를 통해 펄스 직류전원 $CF_4$/Ar의 고분자 식각 결과에 대해 보고할 것이다.

• Journal of Food Hygiene and Safety
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• v.27 no.4
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• pp.427-431
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• 2012

This study was conducted to monitor and evaluate microbial contamination during manufacturing process in 6 red pepper powder factories. Red pepper powder samples were taken from manufacturing facilitates, working area and workers' hands to determine sanitary indicator bacteria (SIB) such as aerobic bacteria and coliform group as well as pathogenic indicator bacteria (PIB) such as Staphylococcus aureus, E.coli, Salmonella spp., Listeria monocytogenes, and Bacillus cereus. The results indicated that SIB in primary materials was detected as low as 3 log units and E.coil and Staphylococcus aureus of PIB were detected. After grinding process, aerobic bacteria, fungi, and coliform group increased 52% and 108%, respectively. In final products, PIB was not detected except for one found Staphylococcus aureus by which workers' hands were contaminated. Moreover, UV detectors in all the manufacturers were not able to reduce bacteria. Thus, this data suggest that a stringent safety management be needed to prevent cross contamination, and also reconsider effectiveness of facility.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.29 no.3
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• pp.336-341
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• 2018

In general, the synthesis of poly(3-hexylthiophene)(P3HT)-based block copolymers requires at least a 4-5 step process. To control the molecular weight, molecular weight distribution, and block ratio, the reaction conversion and time should be monitored. In addition, the reaction scale usually limited to several mg to g was difficult to increase due to the limitations of living radical polymerizations. In this study, we synthesized P3HT-b-poly(4-vinylprydine) (P3HT-b-P4VP) with a final product quantity of > 19 g via a 2-step synthetic method with an anionic polymerization. In this method, the molecular weight and molecular weight distribution of P3HT-b-P4VP can be well controlled without monitoring the reaction conversion. We also studied physical properties of P3HT-b-P4VP depending on different solvent systems, which were investigated by UV-vis spectroscopy, atomic force microscopy, and ultraviolet photoelectron spectroscopy.

• Clean Technology
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• v.23 no.3
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• pp.294-301
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• 2017

Air pollution associated with the $NO_x$ emission from the ship engines is becoming one of the major environmental concerns these days. As the regulations on ship pollutants are strengthened, the wet absorption method, for controlling complex pollutants in a confined space, has the advantage of simultaneously removing various pollutants, but the low solubility of nitrogen monoxide is drawback. In this study, for improving existing denitrification scrubber system, NO oxidation process by hydroxyl radical produced from irradiating UV light on $H_2O_2$ is suggested and the $H_2O_2$ decomposition rates and hydroxyl radical quantum yields were measured to find the optimum condition of $H_2O_2$ photolysis reaction. As a result, the optimum quantum yield and photolysis rate of $H_2O_2$ were 0.8798, $0.6mol\;h^{-1}$ at 8 W, 2 M condition, and oxidation efficiency of 1000 ppm NO gas was 40%. In batch system, NO removal efficiency has a range of 65.0 ~ 67.3% according to input gas concentration of 100 ~ 1500 ppm. This results indicate that the scrubber system using hydrogen peroxide photolysis can be applied as air pollution prevention facility of ship engines.

• Korean Journal of Food Science and Technology
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• v.31 no.2
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• pp.368-374
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• 1999

This study was designed to investigate effects of pulsed electric field (PEF) treatment on physiological changes of microbial cells, using domestically fabricated pilot scale PEF device. The effect of non-thermal PEF treatment on physiological characteristics of microorganisms was determined by salt resistance, the amount of UV absorbents, cell staining, recovery rate of defected cells, and changes in structure of cell membrane. Salt resistance of Escherichia coli, Bacillus subtilis and Rhodotorula minuta was examined after PEF treatment at 40 kV/cm, 84 pulse, $10{\mu}s$ pulse duration. Approximately $1\;log_{10}$ cell number of viable microorganisms was decreased by addition of salt. PEF treatment significantly increased the amount of UV absorbents at 260 and 280 nm because of leakage from damaged cell membrane by PEF treatment. Although three kinds of microorganisms treated by PEF were difficult to be observed due to their cell membrane damage, untreated cells were clearly observed by a microscope. PEF-treated R. minuta was not stained by methylene blue due to cell membrane defect. When E. coli, B. subtilis and R. minuta were cultured after PEF treatment, they showed 5, 4, and 8 hr longer lag phase, respectively, compared to control, but growth rates were not affected.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.23 no.1
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• pp.12-16
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• 2012

In the paper, we fabricated a Ni master with $45^{\circ}$-mirror structures for flexible waveguide fabrication. The flexible waveguide films with embedded $45^{\circ}$-angled mirrors at the waveguide ends were successfully fabricated using a UV-imprint process. Next, in order to enhance the reflectivity of the mirrors, Ni(3 nm)-Au(200 nm) bilayers were evaporated on the $45^{\circ}$-angled facets through a locally opened thin mask using an electron beam evaporator. We measured propagation loss, bending loss, mirror loss and bending reliability of the fabricated waveguide.

• Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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• 1992.04b
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• pp.581-591
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• 1992

최근 급속한 사무자동화와 함께 컴퓨터의 사용이 보편화되어 가지고 있다. 이에 따라 컴퓨터등 VDT에 매달려 일하는 사무직 근로자들이 시력장해, 두통, 어깨결림, 요통, 스트레스성 장애등 새로운 질병에 시달리고 있다. 이것은 "VDT증후군"(Visual Display Terminal Syndrome) 또는 "VDT병"이란 신종 직업병이다. 컴퓨터 수상기 화면을 계속해서 들여다보면 화면에서 나오는 자외선과 강한 빛으로 눈에 무리가 와 충혈되고 침침해지며 두통 증세가 나타난다. 이런 초기증상이 6개월이상 계속되면 시력이 떨어지고 만성피로를 느끼는가 하면, 때때로 독감과 비슷한 증상이 나타나며, 심하면 탈모현상까지 경험하게 된다. 요즘 시행되고 있는 초등 고교 컴퓨터교육의 의무화와 2천년대의 1가구 1단말기 설치를 목표로한 컴퓨터 영상단말기의 급속한 보급으로, 앞으로는 사무실뿐만 아니라 일반 가정에까지 컴퓨터 이용이 일상화될 전망이고 보면 VDT작업에 따른 건강장해 문제는 더이상 가볍게 볼 수 없는 문제이다. 이에 대해 선진국에서는 작업시간 규제, 회사가 종업원의 정기적인 시력검진 및 시력교정에 필요한 비용을 보조하도록 하는가하면 실작업환경 개선등 다각적인 대책을 마련하고 있다. 미국, 유럽, 일본등 선진국에서는 VDT작업 여성들의 유산 및 기형아 출산등 임신이상에 관한 실태보고서까지 나오고 있어 여성들에게 커다란 충격을 던져주고 있다. 그러나 우리나라에서는 VDT병 증상을 호소하는 근로자들의 직업병예방 및 대책에 큰 어려움을 겪고있다. 그러므로, VDT작업으로 인한 건강상의 문제, 작업환경 및 작업자세등을 조사하여 문제점과 예방대책을 살펴보고, 작업장을 인간공학적으로 설계하고 평가하여 사용자의 건강을 보호하고 생산성의 향상에 도움이 되고자 한다.생산성의 향상에 도움이 되고자 한다.Action Code를 계산처리부로 넘겨준다. 입력처리부에서는 Mouse와 Keyboard 어느것으로나 입력이 가능하도록 해준다. 출력처리부에서는 Action Code에 따라 계산처리부에서 계산된 결과를 화면에 보여주기 위한 각종 2D/3D Graphic Routine들이 포함되어있어 계산처리부에서 불러쓰도록 되어있다.에서는 전문가시스템 기법을 도입해서 사출금형 공정계획전문가의 지식과 경험을 획득하여 지식베이스를 구축하고, 전문가시스템 셀(shell)중 CLIPS를 이용하여 자동공정계획시스템인 Mold CAPP을 개발하였다.PP을 개발하였다.며 이와 상이한 결과도 보여주고 있다. 이상으로 볼 때 1) 가정하수의 질을 높이기 위하여 분뇨정화조 의 효율증대 2) 산업폐수의 공정별 폐수량의 조절 및 폐수성 상에 따른 총량규제에 대비한 효율증대 3) 하천의 오염부하와 자정능력 최대한 부여 4) 폐수처리를 위한 미생물제개발 및 오염지표 종 연구와 오염내성 생물의 연구등이 종합적 으로 수행되어야 한다. 5) 이상의 모든 조사와 연구결과를 객관적으로 표기할 수 있도록 하천의 이정표가 정해져야 하겠다.7%)에 비해 유의하게 낮았고 정상군과는 유의한 차이를 보이지 않았다.상고나성이 있었다. 혈중 호모시스테인 농도는 질병의 위험요인으로서 뿐 아니라 대사적으로 밀접하게 연관된 비타민 영양상태의 biomarker로서도 그 영향력이 크다고 할 수 있다. 따라서 성별에 다른 다양한 연령집단에서 건강한 일반인과 심혈관계 질환자 등을 대상으로 호모시스테인과 비타민 영양상태에 대한 연구가 체계적으로 이루어 져야 할 것이다.태를 보다 효율적으로 증진시킬 수 있는 대안이 마련되어져야 한다고 사료된다.$\ulcorner$순응$\lrcorner$의 범위를 벗어나지 않는다. 그렇기 때문에도

• Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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• v.32 no.7
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• pp.722-729
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• 2010

Over the last decades, much consideration has been given to microbiological and chemical risks, especially when wastewater was reclaimed as water resources for urban water, irrigation water and recreational water etc. We investigated the performance of UV-based processes such as UV and UV/$H_2O_2$ for both the removal of pharmaceuticals and personal care products (PPCPs) as an emerging chemical and the inactivation of pathogen with bench-scale experimental study. 38 kinds of PPCPs including antibiotics and analgesics were detected from secondary effluent used as tested water. Bench-scale experimental study showed that UV process would require considerable UV dose for the effective PPCPs removal. Contrarily, PPCPs removal efficiency significantly improved by the combination of $H_2O_2$ with UV even at a lower UV dose and, moreover, their removal efficiency increased with the increased initial $H_2O_2$ concentration. Besides naproxen (>89%), concentrations of all the investigated PPCPs decreased by more than 90% of their initial concentrations under $923\;mJ/cm^3$ of UV dose and 6.2 mg/L of $H_2O_2$. Previous studies showed that this operational condition could get 4~5 log inactivation for Total coliform, indicating that UV/$H_2O_2$ process will be appropriate to comply with the criteria of California Title 22 for Total coliform.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.309.1-309.1
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• 2014

III-N계 기반의 광 반도체는 직접 천이형 넓은 밴드갭 구조를 갖고 있기 때문에 자외선에서 가시광을 포함한 적외선까지 포함한 폭 넓은 발광이 가능하여 조명 및 디스플레이 관련 차세대 광원으로 많은 관심을 받고 있다. 하지만 p형 GaN의 경우, 상온에서 도펀트로 사용되는 마그네슘(Mg)이 수소(H)와 결합하여 보상 효과를 나타내기 때문에 높은 정공농도를 갖기에 어려움이 있다고 알려져 있다. 따라서, 대부분의 연구 그룹에서는 GaN계 LED 소자를 성장 후 rapid thermal annealing 공정이 요구되고 있고, 최근에는 박막 성장 후 반응로 내에서 자체적으로 열처리를 진행하고 있는 실정이다. 하지만, 열처리 조건은 LED 소자의 발광특성에 큰 영향을 주기 때문에 본 연구에서는 반응로에서 열처리가 된 LED 샘플에 대해 추가적인 열처리 공정의 유무에 따른 GaN계 LED소자의 광학적 및 전기적 특성에 대해 알아보고자 하였다. 금속유기화학증착법을 이용하여 c-면 사파이어 기판에 저온 GaN 완충층 및 $2.0{\mu}m$두께의 GaN 박막을 성장한 후, $3.0{\mu}m$두께의 n-형 GaN에피층과 InGaN/GaN 5주기의 양자우물구조를 형성하고 $0.1{\mu}m$두께의 p형 GaN층을 성장하였다. P-형 GaN층 성장 후 온도를 내리면서 $750^{\circ}C$, N2 분위기에서 5분간 Mg 활성화를 위한 열처리를 반응로에서 in-situ로 진행하였다. 그 후 급속열처리 장비에 장입하여 $650^{\circ}C$, N2 분위기에서 5분간 추가적인 열처리를 진행하여 추가 열처리 유무에 따른 LED소자의 특성을 분석하였다. 추가적인 열처리 유무에 따른 LED소자의 레이저 여기에 의한 포토루미네선스 스펙트럼과 전계발광 스펙트럼을 조사한 바, 포토루미네선스 스펙트럼의 경우 추가적인 열처리를 진행하였을 경우, 이전보다 발광 세기가 감소함을 나타내었다. 이는 추가적인 열처리에 의해 InGaN/GaN 활성층이 손상되었기 때문이라고 추측된다. 그러나 전계발광 스펙트럼에서는 활성층이 손상되었음에도 불구하고 전계 발광세기가 3배 가량 증가한 것을 확인할 수 있었다. 또한, 20 mA 인가 시 4.2 V 에서 3.7 V로 전압이 감소하였다. 상기 결과로 미루어 볼 때 열처리에 의한 InGaN/GaN 활성층 손상에도 불구하고 광 세기가 크게 증가한 것은 금속유기화학증착장치의 in-situ 열처리에 의한 Mg가 충분히 활성화되지 못하였고, 추가적인 열처리에 의하여 p형 GaN에서 Mg-H 복합체의 분리로 인한 Mg 활성화가 더욱더 효과적으로 이루어졌기 때문이라고 추측된다.

• Membrane Journal
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• v.23 no.2
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• pp.159-169
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• 2013

The effect of humic acid (HA), and the roles of microfiltration (MF), PES (polyethersulfone) beads adsorption, and photo-oxidation were investigated in hybrid process of ceramic MF and PES beads loaded with titanium dioxide ($TiO_2$) photocatalyst for advanced drinking water treatment. The results of water and nitrogen back-flushing were compared in viewpoints of membrane fouling resistance ($R_f$), permeate flux (J), and total permeate volume ($V_T$). Because membrane fouling increased dramatically as increasing HA, Rf increased and J decreased, and finally $V_T$ was the highest at 2 mg/L HA. Average turbidity treatment efficiencies were almost same independent of HA concentration. Average organic matter treatment efficiency was the minimum 71.4% at 10 mg/L HA in water back-flushing, but those were almost constant in nitrogen back-flushing. The hybrid process of MF, PES beads, and UV (MF + $TiO_2$ + UV) have the lowest $R_f$, and the highest J and $V_T$ in both water and nitrogen back-flushing. The turbidity and organic matter treatment efficiencies were the maximum at MF + $TiO_2$ + UV independent of water and nitrogen back-flushing, and decreased sequently as simplifying the process to MF. However, adsorption performed the more important role than photo-oxidation in water back-flushing, and photo- oxidation was the more than adsorption in nitrogen back-flushing.