• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.4 no.2
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• pp.135-141
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• 1994

With the variation of Cr content and $N_2$ flow ratio, the soft magnetic properties, corrosion resistance and reactivity of the sputtered nanocrystalline FeZrCrN thin flims were investigated. In case of FeZrCrN thin films, a saturation magnetization was decreased with increasing $N_2$ flow ratio. In addition, good soft magnetic properties were obtained at the flow ratio of 3% $N_2$. The $Fe_{64.9}Zr_{8.8}Cr_{5.8}N_{20.5}$ nanocrystalline thin film after annealing at $550^{\circ}C$ exhibited the saturation magnetization of 12.5kG, low coercivity of 0.4 Oe and high permeability of 2600 at 5 MHz. Films containing up to 7.5% Cr showed an enhanced corrosion resistance and reduced reactivity with the bonding glass without degradation of soft magnetic properties, although the saturation magnetization was decreased slightly with the Cr addtion.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.3 no.2
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• pp.87-93
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• 1993

Iron nitride (Fe-N) magnetic thin films were deposited using a DC magnetron sputtering system. Microstructures and magnetic properties were examined as a function of deposition power and nitrogen gas input ratio. The nitrogen content in the film was found to be the major factor determining the microstructure and the magnetic properties. The films deposited at low nitrogen input ratios have an $\alpha$-Fe structure of which the lattice is expanded due to the nitrogen atoms incorporated at the interstitial sites. As the nitrogen content in the film increases, the degree of lat-tice expansion increases and the value of saturation magnetization decreases linearly. The films with a high degree of lattice expansion give very low values of coercivity, which is attributed to the disturbance of colunmar growth and the decrease of surface roughness. Further increase in the nitrogen input ratio causes the phase transfonnation from $\alpha$-Fe to $Fe_{2-3}N$, resulting in the marked reduction in the saturation magnetization. The phase transformation occurs when, regardless of deposition conditions, the nitrogen content reaches at 15 at.% and the lattice is expanded by 5%.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.15 no.4
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• pp.241-245
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• 2005

CoFeNi alloys are some of the most studied soft magnetic materials because of their applications as write-head core materials in HDD and MEMS. Ternary CoFeNi films with high saturation magnetic flux density, Bs and low coercivity, He were successfully grown by electrodeposition. The optimal composition was $Co_{30}\;Fe_{34}\;Ni_{36}(at\%)$, and Bs and Hc were 1.9 T and 0.16 A/m, respectively. The XRD and TEM results show that the low Hc of the CoFeNi films was due to very fine crystal particles and mixed fcc and bcc phases.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.144-144
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• 1999

최근 국내 반도체 기술의 비약적인 발전으로 전자 기기 전반에 소형화, 고주파화, 고기능화 등이 진행되는데 반해, 반도체 소자등에 전원을 공급하거나 회로 전체를 운용하는 전기 신호를 변조.증폭시키는데 반해, 반도체 소자등에 전원을 공급하거나 회로 전체를 운용하는 전기신호를 변조.증폭시키는 인덕터, 트랜스 포머와 같은 수동 자기 소자는 아직도 3차원 벌크 형태로 사용되고 있다. 일본을 중심으로 각국에서는 자기 소자의 박막.소형화에 대한 다각도의 연구가 진행되었으나 국내서는 아직 미미한 실정이다. 따라서 고집적 전원 공급 장치나 지능 센서 등에 반도체와 자기 소자의 사용 주파수 대역과 크기가 통합된 반도체-자성체 IC(semiconductor-magnetic integrated circuit)의 필요성이 절실히 요구되고 있다. 현재 사용중인 벌크형 인덕터나, 트랜스 포머의 경우 10NHz이상의 고주파 대역에는 응용되지 못하고 있다. 이는 적용된 자성체가 페라이트(ferrite)로서 초투자율은 크지만 고주파대역에서의 공진 현상에 의해 저투자율을 나타내고, 포화 자속밀도가 낮기 때문이다. 이러한 페라이트 자성체의 대체품으로 주목받고 있는 것이 Fe, Co계 고비저항 자성마이다. 그러나 Co는 낮은 포화자속밀도를 나타내기 때문에 이러한 조건을 충족시키는 자성막으로 Fe계 미세 결정막을 사용하였다. 본 연구에서는 선택적 전기 도금법(selective electroplating method)과 LIGA like process를 이용하여 공시형 인덕터(air core inductor)의 라이브러리(library)를 구축한 뒤, 고주파 대역에서의 우수한 연자기 특성을 가지는 Ti/FeTaN막을 적용한 자기 박막 인덕터(magnetic thin film inductor)를 제작하여 비교.분석하였다. 제조된 인덕터의 특성 추정은 impedence analyzer를 이용하여 주파수에 따른 저항(resistance), 인덕턴스(inductance)를 측정, 계산한 성능지수(quality factor)로서 인덕터의 성능을 평가하였다. 제조된 박막 인덕터의 코일 형상은 5턴의 double rectangular spiral 구조였으며, 적용된 자성막의 유효 투자율9effective permeability)은 1500, 자성막, 절연막 그리고 코일의 두께는 각각 2$\mu\textrm{m}$, 1$\mu\textrm{m}$, 20$\mu\textrm{m}$이며 코일의 폭은 100$\mu\textrm{m}$, 코일간의 간격은 100$\mu\textrm{m}$였다. 제조된 박막 인덕터는 5MHz에서 1.0$\mu$H의 인덕턴스를 나타내었으며 dc current dervability는 100mA까지 유지되었다.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2010.07a
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• pp.446-447
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• 2010

본 논문에서는 전동기의 고정자 권선 절연파괴 고장을 분석하고 자기 인덕턴스 변화의 비선형성을 고려하기 위해 FEM 시뮬레이션을 이용하여 고장 현상을 해석하고, 실험을 통해 검증하였다. 제안한 고장의 모델링을 통하여 고정자 권선에서 단락이 발생하면 단락된 권선의 순환전류에 의해 고정자에 자기 포화현상이 발생하고, 입력전류의 불평형에 의하여 평균토크가 감소하고, 토크리플이 증가함을 확인 하였다.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2004.11a
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• pp.320-323
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• 2004

본 논문에서는 통신서비스시장이 점차 포화되어감에 따라 필연적으로 발생하게 되는 자기잠식의 측정방법을 제시하고 있다. 본 논문에서 제시하는 방법은 실무적인 차원에서 쉽게 계산할 수 있는 것이며, 이를 통해서 서비스에 필요한 단말 및 장비를 생산하는 기업에서는 수요처인 서비스업체의 사업에 대한 적극성 정도를 파악함으로써 일반고객으로부터 직접 설문응답을 받아서 산출한 시장조사기관의 시장전망을 적절하게 보정하여 보다 현실적인 시장의 수요를 예측할 수 있을 것이다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.7 no.1
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• pp.69-75
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• 1997

Thin films of $Si0_2(1000{\AA})/CoNiCr(400{\AA})/Cr$ were fabricated as a function of Cr thickness by KF magnetron sputtering. The saturation magnetization, coercive force and squareness with annealing temperature for these films were investigated. The values of saturation magnetization of $SiO_2/CoNiCr/Cr$ thin films decreased as the thickness of Cr underlayer increased, whereas coercive force increased as the thickness of Cr underlayer increased. The value of Ms was 600 emu/cc and the maximum value of Hc was 550 Oe. Especially, the value of saturation magnetization was rapidly decreased $SiO_2/CoNiCr/Cr(1700{\AA})$ thin films as the annealing temperature increased And the coercive force increased as the annealing temperature increased When annealing temperature was $650^{\circ}C$, the Ms was reduced to 90 % of the as-deposited film. And the Hc was showed maximum 1600 Oe. It was thought that Cr diffusion into CoNiCr layer reduced the magnetic moment of CoKiCr layer. In addition. Hc might he increased due to grain growth perpendicular to the film plane.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.6 no.1
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• pp.28-35
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• 1996

Dispersion behavior was investigated as functions of species and arrount of addtives, binders, abrasives, lubricants, etc.. Dispersibilityand other various properties were affected by the fuctional groups of binders. Friction coefficient and surface roughness of tape were changed with lubricants, therefore duratility of magnetic tape was varied. As a result of above investigations, we concluded that dispersion behavior of particles was very sensitive for obtaining maximum properties of metal particle tape.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.10 no.2
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• pp.86-92
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• 2000

The spin wave absorption spectra are obtained by a simultaneous solution of the Maxwell equation and the Gilbert equation considering the boundary condition of electromagnetic wave and magnetization in the film surfaces. The physical parameters that influence the absorption energy are thickness, exchange stiffness constant, surface magnetic anisotropy, magnetization. damping factor, electric resistivity of the thin film. We investigated how these parameters affect the resonance field, the linewidth and the intensity of the spin wave spectrum.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.5 no.4
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• pp.439-445
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• 1992

최근 광자기 기록매체로 주목받고 있는 RE-TM계 비정질 박막을 T $b_{x}$ (F $e_{0.9}$ $Co_{0.1}$)$_{100-x}$ (x=14, 17, 20, 23, 27[at%])의 조성비를 갖는 모합금을 만든후 진공증착방법으로 합금박막을 제작하였다. 각시료의 조성에 따른 자기광학효과를 알아보기 위하여 80K부터 600K에서 포화자화( $M_{s}$ )와 보자력( $H_{c}$)에 대한 온도의존성과 자기이방성상수(Ku), Polar Kerr 이력곡선을 측정하였다. 또한 Curie 온도 근처에서 열처리 시간에 따른 자기 토크 곡선의 변화를 분석 함으로써 합금박막 표면의 산화정도를 정성적으로 평가할 수 있었다. 실험결과 T $b_{22.72}$(F $e_{68.78}$ $Co_{8.5}$)인 시료가 상온에서 8.4KOe의 보자력을 가졌으며 T $b_{x}$(x=23[at%])인 경우가 가장 큰 수직자기이방성을 나타냈다. Polar Kerr 이력곡선은 Tb함량 x=25~26[at%]에서 부호가 반전됨을 알 수 있었다.다.다.다.