• Title/Summary/Keyword: 입자 방법

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A Study on CMP Characteristics According to Shape of Colloidal Silica Particles (콜로이달 실리카 입자 형상에 따른 CMP 특성에 관한 연구)

  • Kim, Moonsung;Jeong, Haedo
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.38 no.9
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    • pp.1037-1041
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    • 2014
  • Slurry used for polishing semiconductors processed by exchange, pressurization, and multi-step feeding has been studied to investigate the effect of the size and shape of slurry particles on the oxide CMP removal rate. First, spherical silica sol was prepared by the ion exchange method. The spherical silica particle was used as a seed to grow non-spherical silica sol in accordance with the multi-step feeding of silicic acid by the ion exchange and pressurization methods. The oxide removal rate of both non-spherical silica sol and commercially available slurry were compared with increasing average particle size in the oxide CMP. The more alkaline the pH level of the non-spherical silica sol, the higher was the removal rate and non-uniformity.

Reduction of Nitrate-Nitrogen by Zero-valent Iron Nanoparticles Deposited on Aluminum yin Electrophoretic Method (전기영동법으로 알루미늄에 침적된 영가 철 나노입자에 의한 질산성 질소의 환원)

  • Ryoo, Won
    • Clean Technology
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    • v.15 no.3
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    • pp.194-201
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    • 2009
  • Reductive reactivity of zero-valent iron nanoparticles was investigated for removal of nitrate-nitrogen which is considered one of the major water pollutants. To elucidate the difference in reactivity between preparation methods, iron nanoparticles were synthesized respectively from microemulsion and aqueous solution of ferric ions. Iron nanoparticles prepared from microemulsion were deposited on aluminum by electrophoretic method, and their reaction kinetics was compared to that of the same nanoparticles suspended in aqueous batch reaction. With an approximation of pseudo-first-order reaction, rate constants for suspended nanoparticles prepared from microemulsion and dilute aqueous solution were $3.49{\times}10^{-2}min^{-1}$ and $1.40{\times}10^{-2}min^{-1}$, respectively. Iron nanoparticles supported on aluminum showed ca. 30% less reaction rate in comparison with the identical nanoparticles in suspended state. However, supported nanoparticles showed the superior effectiveness in terms of nitrate-nitrogen removal per zero-valent iron input especially when excess amounts of nitrates were present. Iron nanoparticles deposited on aluminum maintained reductive reactivity for more than 3 hours, and produced nitrogen gas as a final reduction product of nitrate-nitrogen.

poly (methylmethacrylate)층에 분산되어 있는 CdTe-CdSe 코어-쉘 나노입자를 사용하여 제작한 비휘발성 메모리 소자의 메모리 메카니즘

  • Yun, Dong-Yeol;Son, Jeong-Min;Kim, Tae-Hwan;Kim, Seong-U;Kim, Sang-Uk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.272-272
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    • 2011
  • 무기물 나노입자를 포함하는 유기물/무기물 나노복합체는 차세대 전자 소자에 쉽게 적용이 가능하고 응용 잠재적 능력이 뛰어나기 때문에 차세대 비휘발성 메모리 소자에 응용하려는 연구가 세계적으로 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 poly (methylmethacrylate) (PMMA) 절연성 고분자 박막 안에 CdTe와 CdTe-CdSe 코어-쉘 나노입자를 각각 분산시켜 이를 전하의 저장 매체로 사용하는 메모리 소자를 제작하였다. 제작된 각각의 소자에 대한 메모리 메카니즘과 PMMA 박막 안에 분포되어 있는 CdTe-CdSe 코어-쉘 나노입자에서 CdSe 쉘의 전기적 영향에 대하여 연구하였다. 소자에 필요한 용액을 제작하기 위해 서로 다른 용매에 녹아 있는 CdTe-CdSe 나노입자와 PMMA를 혼합하였다. Al 금속을 하부 전극으로 증착한 p-Si (100) 기판 위에 나노입자와 PMMA가 혼합된 용액을 스핀 코팅 방법을 사용하여 박막을 형성한 후, 남아있는 용매를 제거하기 위해 열처리를 하였다. 용매가 모두 제거된 박막위에 금속 마스크를 사용하여 상부 Al 전극을 열증착 방법으로 형성하였다. 나노입자가 포함된 고분자 박막의 메모리 특성을 비교하기 위하여 나노입자가 없는 PMMA층만으로 형성된 소자도 같은 방법으로 제작하였다. 세 가지 종류의 소자에 고주파 정전용량-전압 (C-V) 측정을 한 결과 나노입자가 분산된 PMMA 층으로 제작된 소자에서만 평탄 전압 이동이 관찰되었으며, 이것은 나노입자를 전하 포획 장소로 사용할 수 있다는 것을 확인하였다. 정전용량-시간 (C-t) 측정을 하여 나노입자가 포함된 PMMA 층으로 제작된 메모리 소자의 안정성을 관찰하였다. C-V와 C-t 측정 자료를 바탕으로 제작된 메모리 소자의 메모리 메카니즘과 CdTe-CdSe 코어-쉘 나노입자에서 CdSe 쉘의 역할을 설명하였다.

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Nanocatalyst Materials Prepared by Arc Plasma Deposition (아크플라즈마 증착을 이용한 나노촉매 재료 제작)

  • Kim, Sang Hoon
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.25 no.4
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    • pp.341-345
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    • 2014
  • Catalyst nanoparticles are prepared by arc plasma deposition (APD). First, overview of the APD technique is reviewed and second, some applications of the technique for nanocatalyst preparation are reviewed. Nanoparticles prepared by APD are typically 1~5 nm in size and their catalytic activity is generally better than that of conventional wet-chemically prepared nanocatalysts.

Trends of exhaust emission control technology for diesel vehicles (최근 디이젤자동차의 배출가스 대책기술 동향)

  • 조강래;한영출
    • Journal of the korean Society of Automotive Engineers
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    • v.8 no.2
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    • pp.1-12
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    • 1986
  • 입자상물질을 저감시키는 방법은 크게 두 가지로 나누어진다. 하나는 기관내에서 연소조건을 개 선하여 연소방응시 입자상물질이 가능한한 적게 생성되도록 하는 기관개량(Engine Modification) 방법 즉, 실린더 내에서의 저감기술(In Cylinder Control Techniques)이며, 다른 하나는 기관내에 서 생성된 입자상물질이 대기중에 배출되기 전에 배기관으로부터 직접 제거하는 기술이다. 보통 실린더 내에서의 저감기술이 가장 바람직한 방법으로 지금까지는 이 분야의 기술이 많이 개발 되어 왔으나 디이젤자동차에서 배출되는 입자상물질의 허용기준이 강화됨에 따라 기관 내에서의 저감기술만으로는 목표달성이 어렵기 때문에 그 후처리기술이 필요하게 되었다. 여기서는 최근 까지 연구된 저감장치에 관하여 간단히 소개하고 선진국에서 실제 자동차에 부착사용되고 있거나 가장 효율적이며 사용가능성이 높아 연구되고 있는 입자상물질 필터 및 트랩과 그 재생장치에 대하여 상세히 기술하고자 한다.

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Surface Plasmon Resonances of Metal Colloidal Particles Synthesized by a Photo-Chemical Process (광화학적 방법을 이용한 금속입자의 합성과 광학적 특성 연구)

  • Ko, Min-Jin;Plawsky, Joel
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.43 no.1
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    • pp.1-7
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    • 1999
  • Metal colloidal particles have been prepared by a photo-chemical process in an aqueous solution containing semiconductor nanocrystallites. Metal colloidal particles produced in CdS and AgBr exhibit different absorption spectra. Au particles produced in solution with CdS show typical Au plasmon resonance absorption spectra. On the other hand Ag particles in solution with AgBr shows surface plasmon resonance absorption spectra which are red-shifted, as compared to that of a dispersion of homogeneous Ag colloidal particles in the same host. The extent of red-shift depends on the UV illumination time. This phenomenon is interpreted within the context of effective medium theory for small volume fractions. From the theory, a metal coated particle predicts Ag plasmon resonance, red shifted with respect to 400 nm that would be associated with a silver particle in solution. The absorption peak position is very sensitive to the coating thickness.

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A Study on ONU OAM Processing in Ethernet-PON (Ethernet-PON ONU에서 운용관리방법연구)

  • 조광수;최수일;이형섭;이원돈
    • Proceedings of the IEEK Conference
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    • 2003.07a
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    • pp.593-596
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    • 2003
  • 최근 광역 데이터 처리에 대한 관심이 급증하면서 광가입자망 기술에 대한 관심이 증가하고 있다. 본 고에서는 FTTH(Fiber To The Home)기반 초고속 광가입자망에서 경제적 기술적인 장점을 갖고 있는 Ethernet-PON을 포함한 초고속 광가입자망 구성 기본개념과 Ethernet-PON구성요소중의 하나인 ONU의 주요기능 및 운용관리방법에 대하여 설명하고 장애관리측면에서의 구현방법 및 고려 사항에 대해서 기술하고 자 한다

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Nano-particle size detection by LII decay method (LII 감쇄법을 이용한 나노입자 크기측정)

  • 엄규섭;박성종;박철웅;한재원;최원호;정광화;신용현
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2002.07a
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    • pp.60-61
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    • 2002
  • Laser-induced incandescence (LII) 측정법은 조사된 레이저에 의하여 입자가 가열됨에 따라서, 그 온도에 상응하는 흑체복사의 시간적 감소추이가 입자의 크기에 따라서 달리 나타나는 것을 이용하여 입자의 크기를 측정하는 방법이다. LII 감쇄법은 레이저에 의하여 가열된 입자의 에너지 균형 상관식에서 입자의 크기가 클수록 신호의 감쇄속도가 느리고, LII 신호의 감쇄비가 실험적으로 입자의 크기에 비례한다는 사실을 이용하여 연소진단에 응용되어 왔다. (중략)

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Investigation of Fine Dust Agglomeration by Electrostatic Charge (미세분진에 대한 정전하 응집 효과 관찰)

  • 조은정;조영민
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.479-480
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    • 2003
  • 미세 입자의 포집효율을 향상시키고 집진필터의 수명을 연장시키기 위해 여과집진 장치에 전기집진 기술을 접목시켜 미세 입자의 제어 성능을 향상시키기 위한 다단계 집진장치에 대해 많은 연구가 진행되어 왔다(Hautanen, 1996). 그 가운데 전기장 내에서의 입자 응집을 이용한 미세입자의 제거는 전기집진기의 효율을 높이기 위한 방법의 하나로 제시되었고(Lehtinen, 1996), 교류 전기장 내에서의 입자들의 충돌로 인하여 미세입자의 크기가 성장하여 전기 집진 장치에서 미세입자의 제거효율이 상승한다는 연구결과가 발표되었다(Watanabe, 19950. (중략)

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A Simple Method for Synthesizing CdS Nanoparticles and Silver Coating of These particles (감마선을 이용한 CdS 나노입자합성과 간단한 은 코팅방법)

  • 이창열;박승한;최중길
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2003.02a
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    • pp.8-9
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    • 2003
  • 나노입자에 대한 연구는 최근 20여 년 동안 각광받는 연구주제가 되어오고있다. 이런 나노입자는 벌크와 분자 단위의 경계가 되며 또한 구속효과(confinement effect)에 의해서 입자의 크기에 의존하는 광학적 성질을 갖는다. 이런 나노 수준에서는 그 입자의 표면과 중심에 수백 또는 수천 개의 입자를 가지게 되고 이런 입자들이 보이는 새로운 화학적, 물리학적 성질들은 전자기학, 광학, 화학 또는 물리학 등의 다양한 분야에서 많은 응용의 가능성을 보이고 있다. (중략)

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