• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.12 no.2
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• pp.1020-1026
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• 2011

Seasonal characteristics of water soluble ions in atmospheric particles in Cheonan were studied between 2008 and 2009. $Na^+$, $NH_4^+$ and $NO_3^-$, $SO_4^{2-}$ were the principle cations and anions in both coarse and fine particles. Water soluble ions occupied 24.4%(spring), 33.2%(summer), 40.7%(fall), and 39.6%(winter) of the total mass of coarse particles. In fine particles, 43.0%(spring), 59.7%(summer), 55.4%(fall), and 53.2%(winter) of mass were occupied by water soluble ions. From the factor analysis, 2 and 4 factors were extracted for water soluble ions in coarse and fine particles, respectively. 70.33% of water ions in the coarse particles were estimated from the natural source, but 66.01% in the fine particles were from the anthropogenic source.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2000.04a
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• pp.335-336
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• 2000

도시 대기는 복잡한 성분을 가진 입자상 물질로 이루어져 있는데, 검댕 입자나 비산재(fly ash)등과 같이 일차오염물질과 복잡한 대기 화학반응에 의해 생성되는 이차오염물질이 혼재하고 있기 때문이다. 도시 대기 중의 입자상 물질은 대부분 황산염, 질산염, 암모늄염 입자상 물질과 유기 입자들로 구성되어 있는데, 탄소 입자는 도시의 미세 입자 중 거의 반 정도를 차지한다. (Ro et. el., 2000) 본 연구에서는 서울 대기에서의 입자상 물질에 대한 분석을 EPMA(Electron Probe X-ray Microanalysis)를 이용한 단일 입자 분석법(Single Particle Analysis)을 가지고 행하였다. (중략)

• The Journal of Korean Society of Virology
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• v.26 no.1
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• pp.107-114
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• 1996

본 연구는 인간면역결핍바이러스의 입자를 비이온성 계면활성제로 처리할 때 바이러스 입자구조에서 분리되어 방출되는 바이러스 구조단백질들의 분포를 sucrose gradient로 분석하여, 바이러스 입자를 구성하는 바이러스 구조단백질과 바이러스입자의 생물리학적 특성을 연구하였다. 바이러스입자들을 0.16% NP40 (Nonidet P-40)으로 처리할 때, 바이러스 capsid 단백질과 바이러스 막 단백질 (membrance protein)들은 다른 바이러스 구성성분들과 잘 분리되었다. 계면활성제처리에서 방출되지 않은 구성 성분들은 matrix 단백질, nucleocapsid 단백질, reverse transcriptase, integrase 및 바이러스 RNA genome로써, 이들은 subviral 구조를 형성한다. 이러한 결과는 상대적으로 다른 바이러스들의 capsid 단백질과 면역 결핍 바이러스의 capsid 단백질 (p24)를 비교할 때, 면역결핍바이러스의 capsid 단백질은 바이러스핵을 형성할 때, capsid 단백질 사이의 결합력이 매우 약한 것으로 추정된다. 또한 바이러스 조절단백질의 하나인 vpr 단백질을 함유하는 바이러스입자를 NP40 처리하여 분석하였을 때, vpr 단백질은 subviral 구조에 존재하는 것으로 나타났다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2003.05b
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• pp.320-321
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• 2003

대기중에 존재하는 입자상물질은 광범위한 입경역에 걸쳐서 다종다양한 미량화학성분으로 구성되는 분산체이고, 그 성상은 공간적으로도 시간적으로도 크게 변동한다. 입자상 물질의 화학분석법은 발생원 동정을 위한 자료로 적합하며 일반적으로는 습식의 파괴적인 원소분석으로 하는 경우가 많다. 일반적으로 화학적 분석법은 개별입자의 정보가 무시되며 필터에 포집된 bulk 시료에 의한 분석이 진행되므로 장시간 포집에 의한 단시간의 시간변동과 개개의 입자가 가지는 정보가 무시되고 평균화 되어버린다. (중략)

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.149-149
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• 2013

반도체 공정 및 디스플레이 공정에서 발생하는 오염입자는 공정 불량을 일으키는 가장 큰 인 중의 하나이며, 수십 나노에서 수 백 나노의 크기를 갖는다. 최근 반도체 산업이 발전함에 따라 회로의 선폭이 점차 감소하고 있으며 오염입자의 임계 직경(critical diameter) 또한 작아지고 있다. 또한 디스플레이 산업에서는 패널이 대형화되고 공정이 발달함에 따라 입자에 의한 패널 오염이 이슈가 되고 있는 실정이다. 현재 반도체 및 디스플레이 산업에서 사용되는 측정방법으로는 레이저를 이용하여 공정 후 표면에 남아있는 오염입자를 측정하는 ex-situ 방법이 주를 이루고 있다. Ex-situ 방법을 이용한 오염입자의 제어는 웨이퍼 전체를 측정할 수 없을 뿐만 아니라 실시간 측정이 불가능하기 때문에 공정 모니터링 장비로 사용이 어려우며 오염입자와 공정 간의 상관관계 파악에도 많은 제약이 따르게 된다. 이에 따라 저압에서 in-situ 방법을 이용한 실시간 오염입자 측정 기술 개발이 요구되고 있다. 또한 입자의 크기 뿐 아니라 성분과 형상까지 측정할 수 있는 장치의 개발 요구가 높아지고 있는 실정이다. 이를 위해 입자의 크기 및 분포를 측정할 수 있는 Particle Beam Mass Spectrometer (PBMS)와 형상을 측정할 수 있는 Scanning Electron Microscope (SEM)의 기능을 통합하여 실시간으로 나노입자의 복합특성(크기, 성분, 형상)을 측정할 수 있는 장치를 개발하였다. 또한 기존 장치들의 문제점 중 하나가 실시간으로 교정이 불가능하다는 것이었는데 이 장치의 경우 실시간으로 측정되는 결과의 조합으로 실시간 교정까지도 가능한 장점을 가지고 있다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.91-91
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• 2015

반도체 공정의 발전에 의해 최근 생산되는 메모리 등은 십 수 나노미터까지 좁아진 선 폭을 갖게 되었다. 이러한 이유로, 기존에는 큰 문제를 발생시키지 않던 나노미터 영역의 입자들이 박막 증착 공정과 같은 반도체 제조공정 수율을 저감시키게 되었다. 따라서 오염입자의 유입을 막거나 제어하기 위해 transmission electron microscopy (TEM)나 scanning electron microscopy (SEM)과 같은 전자현미경을 활용한 비 실시간 입자 측정 방법 및 광원을 이용하는 in-situ particle monitor (ISPM) 및 전기적 이동도를 이용한 scanning mobility particle sizer (SMPS) 등 다양한 원리를 이용한 실시간 입자 측정방법이 현재 사용중에 있다. 이 중 진공 내 입자의 수농도를 측정하기 위해 개발된 particle beam mass spectrometer (PBMS) 기술은 박막 증착 공정 등 chemical vapor deposition (CVD) 방법을 이용하는 진공공정에서 활용 가능하여 개발이 진행되어 왔다. 본 연구에서는 PBMS의 한계점인 입자 밀도, 형상 등의 특성분석이 용이하도록 PBMS와 scanning electron microscopy (SEM), 그리고 energy dispersive spectroscopy (EDS) 기술을 결합하여 입자의 직경별 개수농도, 각 입자의 형상 및 성분을 함께 측정 가능하도록 하였다. 협소한 반도체 제조공정 내부 공간에 적용 가능하도록 기존 PBMS 대비 크기 또한 소형화 하였다. 각 구성요소인 공기역학 집속렌즈, electron gun, 편향판, 그리고 패러데이 컵의 설치 및 물리적인 교정을 진행한 후 입자발생장치를 통해 발생시킨 sodium chloride 입자를 상압 입자 측정 및 분류장치인 SMPS 장치를 이용하여 크기별로 분류시켜 압력차를 통해 PBMS로 유입시켜 측정을 진행하였다. 나노입자의 입경분포, 형상 및 성분을 측정결과를 토대로 장치의 측정정확도를 교정하였다. 교정된 장치를 이용하여 실제 박막 증착공정 챔버의 배기라인에서 발생하는 입자의 수농도, 형상 및 성분의 복합특성 측정이 가능하였으며, 최종적으로 실제 공정에 적용가능하도록 장치 교정을 완료하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.70.2-70.2
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• 2015

현재 반도체 및 디스플레이이 공정 분야는 1 um 이상의 입자에서부터 10 nm이하 크기의 오염입자를 제어해야 한다. 현재 오염원인을 파악하기 위해서 사용하는 방법은 공정 완료 후 대상물(웨이퍼 및 글래스)을 CD-SEM (Critical Dimension Scanning Electron Microscope)와 같은 첨단 분석장비를 사용하여 사후 (Ex-situ) 진행하고 있다. 이러한 방법은 오염원이 이미 공정 대상물을 오염시키고 난 후 그 원인을 분석하는 방법으로 그 원인을 찾기가 어려울 뿐만 아니라, 최근 공정관리가 공정 진행 중(In-situ) 행해져야 하는 추세로 봤을 때 합당한 방법이라 할 수 없다. 이를 해결하기 위해 진공공정 중 레이저를 이용하여 측정하고자 하는 여러 시도들이 있었지만, 여전히 긍정적인 답변을 보여주지 못하고 있다. 본 발표에서 소개하는 PCDS (Particle Characteristic Diagonosis System)은 PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer)와 SEM (Scanning Electron Microscope), 그리고 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)를 통합하여 만든 시스템으로 진공공정 중 (In-situ) 챔버 내부에서 발생하고 있는 입자의 크기 분포, 입자의 형상, 그리고 입자의 성분을 실시간으로 분석할 수 있는 방법을 제공한다. 이러한 방법 (PCDS)에 대한 개념과 원리, 그리고 현재까지 개발된 단계에서 얻어진 결과에 대해 소개할 것이다.

• Journal of the Korean Recycled Construction Resources Institute
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• v.10 no.3
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• pp.293-299
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• 2022

Recently, various stakeholder are interested in microplastic to cause pollution of the marine's ecosystem and effort to conduct study of product's life cycle to reduce pollution of marine's ecosystem. The micorplastic refer to materials of the nano- to micro- sized units and it can be classified into primary and secondary. The primary microplastic mean the manufactured for use in the specific field such as the microbead of the cosmetic or cleanser. also, secondary mean the unintentionally generated during use of the product such as the textile crumb by the doing the laundry. Tire and Road Wear Particles(TRWPs) are also defined as secondary microplastic. Typically, TRWPs are created by friction between the tread compound's rubber of the tire and the surface of the road du ring the driving cars. Most of the generated TRWPs exist on the roadside and some of them were carried to marine by the rainwater. In this study, we perform the quantitative analysis of the TRWPs existed in fine dust at the roadside. So, we collected the dust from the roadside in Chungcheongnam-do's C site with a movement of 1,300 cars per the hour. The collected samples were separated according to size and density. And shape analysis was performed using the Scanning Electron Microscope(SEM). We were possible to discover a lot of TRWPs at the fine dust of the 100 ± 20 ㎛. And we analysis it u sing the Thermo Gravimetric Analysis(TGA) and Gas Chromatography/Mass Spectrometer(GC/MS) for the quantitative components from the tire. As a result, it was confirmed that TRWPs generated from the roadside fine dust were included the 0.21 %, and the tire and road components in the generated TRWPs consisted of the 3:7 ratio.

• Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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• v.22 no.10
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• pp.1881-1891
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• 2000

Cenosphere particles of different fly ash formed at the pulverized coal power plant were hollow sphere or filled with small particles inside solid particles. And size was relatively larger than other fly ash particles as well as specific gravity was small to suspend in the water. In this paper, it was demonstrated to contain a variety of morphological particle type, and the physical and chemical properties related to the cenosphere and fly ash particles. Furthermore it was estimated the possibility to reuse the cenosphere particles on the base of cenosphere properties. Cenosphere formation resulted from melting of mineral inclusion in coal, and then gas generation inside the molten droplet. As the aluminosilicate particle was progressively heated, a molten surface layer developed around the solid core. Further heating leaded to cause the formation of fine particles at the core. The mass median diameter(MMD) of cenosphere particles was $123.11{\mu}m$ and the range of size distribution was $100{\sim}200{\mu}m$ with single modal. It was represented that specific density was $0.67g/cm^3$ fineness was $1135g/cm^3$. The chemical components of cenosphere were similar to other fly ash including $SiO_2$, $Al_2O_3$, but the amount of the chemical component was different respectively. In the case of fly ash, $SiO_2$ concentration was 54.75%, and $Al_2O_3$ concentration was 21.96%, so this two components was found in 76.71% of the total concentration. But in the case of cenosphere, it was represented that $SiO_2$ concentration was 59.17% and $Al_2O_3$ concentration was 30.16%, so this two components was found in 89.33% of the total concentration. Glassy component formed by the aluminosilicate was high in the cenosphere, so that it was suitable to use insulating heat material.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.9 no.6
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• pp.1782-1786
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• 2008

To investigate the characteristics of elemental components of atmospheric particles in Cheonan, atmospheric particles were sampled using a high volume air sampler equipped with a 5-stage cascade impactor during 2006. 16 elemental concentrations in fine and coarse particles were determined using ICP-AES and ICP-MS. The total mass concentrations of fine and coarse particles were 33.23 and $20.66{\mu}g/m3$, respectively, and the total elemental concentrations were 1.27, $1.71{\mu}g/m3$, occupying 3.8 and 8.3% of the total mass. Fe, Al, Ti were the most abundant elements in both fine and coarse particles, and the total Pb concentration was 84.55ng/m3, below the National standard. Enrichment factor for Sc, Cr, Cu, Zn, As, Se, Sn, Pb in fine particles were above 1,000. This indicates that the elements in fine particles are mainly from the anthropogenic sources including automobiles.