• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
• /
• pp.279.2-279.2
• /
• 2014

반도체 선폭이 20 nm급까지 감소함에 따라 기존에 수율에 문제를 끼치던 공정 외부 유입 입자뿐만 아니라, 공정 도중에 발생하는 수~수십 나노의 작은 입자도 수율에 악영향을 끼치게 되었다. 이에 따라 저압, 극청정 조건에서 진행되는 공정 중 발생하는 입자를 실시간으로 모니터링 할 수 있는 장비에 대한 수요가 발생하고 있다. Particle beam mass spectrometer (PBMS)는 이러한 요구사항을 만족할 수 있는 장비로 100 mtorr의 공정 조건에서 5 nm 이상의 입자의 직경별 수농도를 측정할 수 있는 장비이다. PBMS로 입자의 수농도를 측정하기 위해서는 PBMS 전단에서 입자를 중앙으로 집속할 필요가 있다. 공기역학렌즈는 PBMS 전단에서 입자를 집속시키기 위해 일반적으로 널리 사용되고 있는 장비로 여러 개의 오리피스로 이루어져 있다. 공기역학렌즈를 지나는 수송 유체와 입자는 이러한 연속 오리피스를 거치면서 팽창과 수축을 반복하며, 관성력의 차이로 인해 입자가 중앙으로 집속된다. 그러나 기존 공기역학렌즈는 고정된 직경의 오리피스를 사용하기 때문에 설계된 공정조건 이외에는 입자의 집속효율이 감소한다는 단점을 지닌다. 따라서 공정조건이 바뀔 경우 공기역학렌즈를 교체해야 되며, 진공이라는 환경하에서 이러한 교체는 많은 시간과 노력을 요구로 한다. 본 연구에서는 이러한 공기역학렌즈의 문제점을 해결하기 위해 다양한 공정조건에서 교체 없이 사용할 수 있는 새로운 형태의 공기역학렌즈인 조기래형 공기역학렌즈를 제안하였다. 각각의 오리피스가 중공의 직경을 변경할 수 있는 구조인 조리개의 형태로 설계되어 있어, 공정조건에 따라 중공의 직경을 변경함으로써 입자의 집속을 결정하는 요소인 Stokes number를 조절 할 수 있다. 이러한 조리개형 공기 역학 렌즈의 성능을 평가하기 위해 수치해석적인 방법을 이용하였다. 공기 역학 렌즈 전단의 압력을 0.1~10 torr까지 변화시켜가며 다양한 공정조건에서 오리피스의 직경만을 변경하여 입자 집속 가능 여부를 판단하였으며, 조리개 형태의 구조상 발생할 수 있는 leak로 인한 입자 집속 효율의 변화도 평가하였다.

• 한국토양환경학회지
• /
• 제3권2호
• /
• pp.79-88
• /
• 1998

본 연구는 공기를 주입하여 매립지가스를 치환하고자 할 때 공기공급방법이 매립지가스제거에 미치는 영향을 검토하고자 실시하였다. 공기공급방법으로는 공기를 직접 불어넣는 방법과 매립지가스를 추출함으로써 대기중의 공기가 내부로 유입되도록 하는 방법을 사용하였다. 또한 한 주입정에서 공기를 주입하고 동시에 다른 추출정에서 가스를 추출하는 공정도 실시하여 운전모드에 따른 매립지가스 제거 효율을 비교검토하였다. 공기주입 및 가스추출시 유량은 15$\textrm{m}^3$/min으로 동일하였다. 추출모드나 주입/추출모드로 운전하는 것보다 공기주입모드로 운전하는 것이 매립지가스 제거에 가장 효과적이었으며 추출모드는 매립지가스 제거에 가장 적합하지 못하였다. 공기주입과 추출을 동시에 실시하는 경우에도 주입모드에 비하여 매립지가스 제거효율을 크게 향상시키지는 못하였다.

• 한국화재소방학회:학술대회논문집
• /
• 한국화재소방학회 2013년도 춘계학술대회 초록집
• /
• pp.148-149
• /
• 2013

• 대한기계학회:학술대회논문집
• /
• 대한기계학회 2005년도 창립60주년 기념 추계 학술대회
• /
• pp.61.2-61.2
• /
• 2005

• 한국산업안전학회:학술대회논문집
• /
• 한국안전학회 2003년도 춘계 학술논문발표회 논문집
• /
• pp.408-411
• /
• 2003

PPV(Positive Pressure Ventilation)란 화재진압시 송풍기를 이용하여 화염이 발생한 구조물 내부로 신선한 공기를 유입시켜 내부압력을 상승시키는 방식으로서, 구조물 내부의 전체 영역에 균일하게 열ㆍ연기 및 연소 생성물 등의 급속 배기 및 구조물 내부온도를 급속히 감소시킬 수 있는 것이 특징이다.(중략)

• 대한설비공학회:학술대회논문집
• /
• 대한설비공학회 2004년도 동계학술대회 논문집
• /
• pp.22-22
• /
• 2004

• 대한기계학회논문집
• /
• 제12권2호
• /
• pp.231-240
• /
• 1988

본 연구에서는 외압을 받는 공기윤활 저어널 베어링의 정적인 경우에 대해 증분법과 유한요소법을 적용하고 유량계수는 실험을 근거로 하여 포켓에서 베어링 내부로 유입될 때의 유압손실을 고려한 Pink와 Stout의 값을 이용하였다.

• 한국산학기술학회논문지
• /
• 제12권1호
• /
• pp.26-31
• /
• 2011

본 논문은 기존의 스파크 점화 방식이 아닌 bulk combustion 방식을 도입하여 별도의 점화장치 없이 상용 단기통 디젤기관에 유입되는 흡입공기를 가열 및 제어하여 흡기관에 분사되는 가솔린연료의 압축착화성을 향상시킴으로서 기관작동을 가능하게 하였다. 제동열효율의 최대값은 공기-연료비가 35부근에서 나타나며, 35이상의 영역에서는 급격히 감소하고 흡입공기 가열온도가 올라갈수록 제동열효율은 증가한다. 따라서 공기-연료비를 감소시키면서 흡입공기의 가열온도를 상승시키는 방식이 열효율 측면에서 효과적이라는 것을 알 수 있다.

• 한국추진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국추진공학회 2008년도 제31회 추계학술대회논문집
• /
• pp.153-156
• /
• 2008

고공 환경에서의 점화 연소 특성을 확인하기 위해 선행되어야 할 저압/저온 환경 모사 및 연료 유량 제어 실험을 수행하였다. 저압 환경을 모사하기 위하여 초음속 디퓨저를 이용하였고, 공기 유량 공급 및 디퓨저 1차 전단 노즐 압력에 따라 다양한 고도의 저압 환경을 조성할 수 있음을 확인하였다. 또한 저온 환경을 모사하기 위해 액체 질소를 이용한 열교환기를 활용하였고, 혼합 탱크로 유입되는 극저온/상온 공기 온도 조건을 일정하게 유지할 경우 다양한 공기 유량 조건에서 혼합 공기의 온도는 극저온/상온 공기의 혼합비에 의해 결정됨을 알 수 있었다. 이에 따라 본 연구에서 구축한 고고도 환경 모사 시스템을 활용하여 다양한 고도 조건에서의 점화 및 연소 특성 실험 수행이 가능함을 입증하였다.

• 에너지공학
• /
• 제9권2호
• /
• pp.123-129
• /
• 2000

Mg(OH)$_2$를 흡수제로 이용한 습식탈황에서 페슬러리에 대한 산화반응 특성을 고려하였다. SO3-2 전환율 (MgSO3 폐슬러리의 산화반응 전환율) 과 산소의 물질전달특성을 고찰하기 위해 회분식 및 연속식 실험을 수행하였따. 3리터 용량을 갖는 직사각형모양의 아크릴 반응기에서 공기/슬러리 공급비(20-60) , 수리학적 체류시간(HRT)(1-3hr), SO3-2 유입농도(1000-3000ppm)등의 변화조건에서 실험이 행하여졌다. 실험결과 SO3-2 전환율은 공기공급량과 체류시간에 비례하여 증가하였다. 또한 슬러리 공급에 대한 최적공기공급비 0.02ι/(ι.ppm)에서 MgSO3 폐슬러리는 90%이상 산화되었다.