• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 1995.10a
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• pp.249-253
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• 1995

본 연구에서는 잠재적 응용성이 큰 ER유체와 압전필름을 액튜에이터로 하는 하이브리드형 지능구조물을 제안한 후 능동 진동제어를 실시하였다. 먼저 중공(hollow)의 샌드위치 형태 복합재료(glass/epoxy)보에 ER유체와 압전필름을 각각 삽입과 접착을 하여 하이브리드형 지능구조물을 제작하였다. 그리고 각 매체의 액튜에이팅 특성을 고려하여, ER유체 액튜에이터(ERFA)는 전장부하 함수로 도출되는 구조물의 주파수응답을 특징으로 하였고, 압전필름 액튜에이터(PFA)는 신경 슬라이딩 모드 제어기 (neuro sliding mode controller : NSC)를 적용하였다. 이 두 액튜에이터가 동시에 작동하는 능동 진동제어계를 실험적으로 구현한 후 과도응답과 강제 응답에 대한 진동제어 성능을 단일 액튜에이터 작동시와 비교 고찰하여 제시된 하이브리드 액튜에이팅의 효과를 입증하였다.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.10 no.7
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• pp.727-731
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• 1997

• Electrical & Electronic Materials
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• v.3 no.4
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• pp.271-278
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• 1990

본 논문에서는 내부전극 Pt를 갖는 적층형 압전액튜에이터의 제조와 적층수에 따른 압전액튜에이터 압전특성에 대해 조사 연구하였다. 먼저, Dr.blade방법을 사용하여 두께 ~220.mu.m의 PZT green sheet를 제작하였다. green sheet의 밀도는 결합제 양과 외부압력에 대해 크게 의존하였으며 소결체의 밀도는 green sheet의 밀도가 커질수록 더 높게 나타났다. 다음에는 적층수에 따른 압전정수의 변화에 대한 것으로써 압전정수(d$_{33}$)는 PZT세라믹스의 적층수가 증가할수록 매우 크게 증가되었으며 압전정수를 도입하여 계산된 변형량(.DELTA.l/l)은 10층 시편에 대해 2*$10^{6}$V/m의 전계에서 3*$10^{-3}$값을 얻었다. 이와같은 결과로써 적층형 압전액튜에이터는 저전압에서도 큰 변위를 나타내며 따라서 제어장치의 미세작동에 충분히 이용 될 수가 있다.다.

• Journal of the KSME
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• v.31 no.1
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• pp.51-59
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• 1991

본 글에서는 일반적인 공간 매니퓰레이터에 관한 가속도 이론을 서술하였다. 즉, 주어진 매 니퓰레이터에 대하여 액튜에이텨 토크집합 T에 대한 치역 $S_t$와 관절변수변화율집합 F에 대한 지역 $S_q$를 정의하였다. 또한 상태공간에서의 한 점 u에서의 상태가속도 집합 $S_u$를 정의하였다. 치역 $S_t$를 결정하고 그 성질인 최대가속도와 동방가속도를 결정하였다. 아울러, 가속도이론의 하나의 적용례로서 정해진 동방기동가속도를 얻을 수 있는 최소한의 액튜에이터 토크의 크기를 결정하는 방법을 도시하였다. 본 결과의 다양한 응용예는 기존연구를 참조하기 바란다.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2010.11b
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• pp.631-633
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• 2010

최근 IT 및 반도체 산업이 발달함에 따라 많은 양의 반도체칩이 생산되어 그에 따른 반도체칩의 검사 요구가 급증하고 있다. 반도체칩의 전기적 특성을 검사하기 위해서는 리노핀을 이용한 탐침방법으로 통전검사를 통해 반도체칩의 이상유무를 판단하는 검사장비를 사용하고 있다. 많은 수의 반도체칩을 검사하기 위해서는 리노핀을 고속으로 구동할 수 있는 액튜에이터가 요구되는 바, 본 논문에서는 PZT 액튜에이터를 이용하여 리노핀을 고속으로 구동시키는 세라믹칩 성능검사용 액튜에이터를 개발했다.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.14 no.1
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• pp.119-125
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• 1997

This paper deals with an experimental investigation on an active vibration control of ahybrid smart structure(HSS) via an electro-rheological fluid actuator(ERFA) and a piezoelectric film actuator(PFA). Firstly, an HSS is constructed by inserting a silicone oil-based electro-rheological fluid into a hollow can- tilevered beam and perfectly bonding piezoelectric films ofn the upper and lower surfaces of the beam as an actuator and a sensor, respectively. The control scheme of the ERFA tuning stiffness and damping charac- teristics of the HSS with imposed electric fields is formulated as a function of excitation frequencies on the basis of field-dependent respnses. On the other hand, as for the control scheme of the PFA permitting control voltages to generate axial forces or bending moments for suppressing deflections of the HSS, a neuro sliding mode controller(NSC) is employed. Furthermore, an experimental implementation activating the ERFA and the PFA independently is established to carry out an active vibration control in both the transient and forced vibrations. The experimental results exhibit a superior ability of the gtbrid actuation system to tailor elastodynamic response characteristics of the HSS rather than a single class of actuator system alone.

• Journal of the korean Society of Automotive Engineers
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• v.14 no.3
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• pp.12-25
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• 1992

본 연구에서는 우선 자동차 전장품 시장팽창의 배경과 요인을 추적함으로써 자동차 전장기능시스템과 센서의 중요성을 입증하고, 전장기능시스템 구성에 필요한 센서의 종류, 시장 및 요구특성을 분석한다. 그후, 자동차용 센서의 요구특성을 만족시킬수 있는 제작기술로써 두종류의 반도체 미세가공(micromachining) 기술을 소개하고, 이들 각각의 기술이 내포하고 있는 특성을 비교, 정리한다. 이어, 반도체 미세가공 기술에 의해 제작된 자동차용 반도체 센서와 마이크로 엑튜에이터들을 소개하고, 일련의 개발예를 통하여 각각의 형태와 기능면에서의 발전경향을 진단하며, 나아가 관련 핵심기술의 중요성과 기술발전의 방향의 전망을 통하여 조기기술 확보의 필요성과 관련업계의 역할, 그리고 기술 성숙요건을 제시한다.

• Journal of Industrial Technology
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• v.19
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• pp.9-14
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• 1999

The voice coil actuator uses the Lorentz force between the magnetic field of the permanent magnets and the electromagnets to the motions and positioning. The small size, light weight and fast dynamic response of the these type actuators lead to admit them in the micro-positioning apparatus of the micro-machining systems. In this paper, the linear motion voice coil actuator is developed for the driving and positioning the rotating electrode of the electric discharge machine (EDM). The analyzed and measured results for the actuator are compared and discussed.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2004.04b
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• pp.191-194
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• 2004

본 연구에서는 광 스케너 반사경(mirror)의 torsion bar모양을 변화시키고, 반사경 밑 양단에 magnet를 장착시켜 낮은 구동전압에서 동작되게 함으로써 Scanner의 효율을 개선하였다. torsion bar의 모양은 I형에서 S형 타입으로 변화시킴으로써 일반적인 광 스케너의 공진주파수(50Hz)보다 낮은 주파수(35.8Hz)에서 높은 반사각(약$10^{\circ}$)을 얻을 수 있었다. 또한 광 스케너에 일반적으로 사용되는 정전 액튜에이터 대신 자기 액튜에이터를 사용함으로써 공기 중의 먼지나 습기 등 외부요인을 감소시켰다.

• Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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• v.8 no.2
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• pp.44-49
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• 1999

This paper is concerned with the theoretical and experimental study on the force conrtrol of a miniature robotic gripper. The gripper is an uniform flexible cantilever equipped with a distributed set of compact force sensor. As an actuator piezoelectric acturator, piezoelectric acturator is fixed with cupper plate at which the beam is clamped. The mathematical model of the assembled electro-mechaincal system is developed. The force sensor is described by a set of concentrated mass-spring system. The formulated equations of motion are applied to he study of a control problem where the gripper is commanded to grip an object The usefulness of the PID control technique is verified by experiment.