Development of a Actuator for testing system of ceramic chips

세라믹칩 성능검사용 액튜에이터 개발

  • Bae, Jin-Ho (Department of Mechanical and Automotive Engineering, Kongju National University) ;
  • Kim, Yong-Tae (Department of Mechanical and Automotive Engineering, Kongju National University) ;
  • Kim, Sung-Gaun (Division of Mechanical & Automotive Engineering, Kongju National University)
  • 배진호 (공주대학교 기계공학과) ;
  • 김용태 (공주대학교 기계공학과) ;
  • 김성관 (공주대학교 기계자동차공학부)
  • Published : 2010.11.12

Abstract

최근 IT 및 반도체 산업이 발달함에 따라 많은 양의 반도체칩이 생산되어 그에 따른 반도체칩의 검사 요구가 급증하고 있다. 반도체칩의 전기적 특성을 검사하기 위해서는 리노핀을 이용한 탐침방법으로 통전검사를 통해 반도체칩의 이상유무를 판단하는 검사장비를 사용하고 있다. 많은 수의 반도체칩을 검사하기 위해서는 리노핀을 고속으로 구동할 수 있는 액튜에이터가 요구되는 바, 본 논문에서는 PZT 액튜에이터를 이용하여 리노핀을 고속으로 구동시키는 세라믹칩 성능검사용 액튜에이터를 개발했다.

Keywords