The Effect of the Hydrophobicity of Silicon Surface on the Formation of the Water Marks during HF-last Wet Chemical Processing (반도체 습식 HF 최종 공정 중 실리콘 표면의 소수성이 Water Mark형성에 미치는 영향)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.7 no.10
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- pp.832-837
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- 1997